具有挡板的气体注射器制造技术

本文中提供了用于提供均匀流体流的气体注射器。所述气体注射器包括充气主体。所述充气主体包括：凹口；凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体；及多个喷嘴，从所述充气主体的外表面侧向延伸。所述充气主体在所述充气主体的外壁中具有多个孔。各个喷嘴与所述充气主体的内部容积流体连通。通过引导流体流，所述气体注射器提供了均匀的沉积作用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有挡板的气体注射器
本文中所述的实施方式大致与提供均匀的流体流的气体注射器插件相关。
技术介绍
半导体制造处理一般是通过将前驱物气体或气体混合物引入到容纳基板的真空腔室中来完成的。腔室中的前驱物气体或气体混合物在添加热的情况下经历化学反应且沉积到基板上。处理气体在到达基板之前前行通过若干部件。从气体注射器引导气流且将气流引导通过风洞(tunnel)。风洞在处理气体进入处理腔室时朝向基板引导气流。处理气体通过匣的气体注射器高速进入风洞。气流的动量将处理气体承载到沉积发生的基板。气体从气体注射器向风洞及朝向基板流动。然而，处理条件上的任何变化影响了气流路径且因此影响了沉积均匀性。影响气流路径的一个此类处理条件是气体注射器的安装或气体注射器的制造上的变化。在气体与气体注射器接触时的流动上的改变造成了沉积上的变化且因此影响了均匀性。因此，存在着能够提供均匀的气流路径的改良气体注射器插件的需要。
技术实现思路
本文中所述的实施方式大致与提供均匀的流体流的气体注射器相关。在一或多个实施方式中，公开了一种气体注射器。所述气体注射器包括充气主体。所述充气主体包括：凹口；凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体；及多个喷嘴，从所述充气主体的外表面侧向延伸。所述充气主体在所述充气主体的外壁中具有多个孔。各个喷嘴与所述充气主体的内部容积流体连通。在其他实施方式中，公开了一种气体注射器。所述气体注射器包括充气主体。所述充气主体包括：凹口；及凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体。所述凸部具有多个孔及与所述多个孔相邻的挡板。所述多个孔提供了充气主体的内部容积与所述挡板之间的流体连通。在其他实施方式中，公开了一种气体注射器。所述气体注射器包括充气主体。所述充气主体包括：凹口；及凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体。所述凸部包括跨所述充气主体的内部容积而设置的分隔物，所述分隔物将所述内部容积分成与所述凹口相邻的第一容积、及第二容积。所述分隔物具有提供所述第一容积与所述第二容积之间的流体连通的多个孔。所述凸部亦包括与所述第二容积流体连通的开口。附图说明为了可以详细了解上文所载的本公开案特征所用的方式，可通过参照实施方式来拥有上文简要概述的本公开案的更具体描述，所述实施方式中的某些实施方式被绘示在附图中。然而，要注意，附图仅绘示此公开案的典型实施方式且因此并不要被视为范围限制，因为本公开案可容许其他同等有效的实施方式。图1示出依据本文中所述的一或多个实施方式的气体注射器的透视图。图2A-2B示出依据本文中所述的实施方式的气体注射器的截面图。图3A-3D示出依据本文中所述的实施方式的气体注射器的截面图。图4A-4B示出依据本文中所述的实施方式的气体注射器的截面图。图5A-5B示出依据本文中所述的实施方式的气体注射器的截面图。图6A示出依据本文中所述的实施方式的气体注射器的侧视图。图6B示出图6A的插塞的横截面图。图7示出依据本文中所述的一或多个实施方式的气体注射器的透视图。为了促进了解，已尽可能使用相同的参考标号来标志所述图共有的相同元件。预期的是，可在不另外重述的情况下有益地将一个实施方式的元件及特征并入其他实施方式。具体实施方式本文中所述的实施方式大致与提供均匀的流体流的气体注射器相关。在一或多个实施方式中，所述气体注射器包括：充气主体，具有：凹口；凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体；及多个喷嘴，从所述充气主体的外表面侧向延伸。所述充气主体在所述充气主体的外壁中具有多个孔。各个喷嘴与所述充气主体的内部容积流体连通。通过引导流体流，所述气体注射器提供了更均匀的沉积作用。图1示出依据本文中所述的一或多个实施方式的气体注射器100的透视图。可将本文中所述的各种气体注射器用在任何合适的沉积工艺(例如炉子、温度受控腔室或化学气相沉积(CVD)工艺)中。可使用的一个合适的腔室是可从加利福尼亚州圣克拉拉市的应用材料公司(AppliedMaterials,Inc.)取得的RADOXTMRTP腔室。另一合适的腔室可为亦可从加利福尼亚州圣克拉拉市的应用材料公司取得的CVD腔室。来自其他制造商的其他系统亦可受益于本文中所述的气体注射器。气体注射器100被安插到处理腔室中且具有让流体形成在所述气体注射器中的通路。在一或多个实施方式中，气体注射器100具有充气主体105及附接到充气主体105的凸部120。本文中所述的各种气体注射器可以是机械加工或3D印刷的。本文中所述的各种气体注射器可为单个部件或可为接合在一起的各种部件。充气主体105包括第一表面125、第二表面150、第三表面130、第四表面145、第五表面135及第六表面140。第一表面125可为凸缘。第一表面125可为顶面。第二表面150可为底面。第三表面125、第四表面145、第五表面135及第六表面140中的各者可为侧面。在一或多个实施方式中，主体105是具有圆边的矩形。充气主体105包括圆角及定位在中心的凹口115。第一表面125与第二表面150相反。第三表面130与第一表面125正交且与第四表面相反。第五表面135与第六表面140相对且与第一表面125正交。第三表面130及第四表面145可具有大约相等的长度。第五表面135及第六表面140可具有大约相等的长度。第三表面130的长度可大于第五表面135的长度。在一或多个实施方式中，第三表面130的长度是在约12英寸到约16英寸的范围中。第五表面135的长度是在从约1英寸到约3英寸的范围中。多个孔110被设置在充气主体105的第一表面125中。所述多个孔110被设置为朝向第一表面125的外缘，且在一侧上延伸到第三表面130中且在相反侧上延伸到第四表面145中。因此，所述多个孔110被形成于充气主体105的外壁中且延伸到充气主体105的两个表面中。在一或更多个实施方式中，所述多个孔是沿着第一表面125的长度设置的。在一或更多个实施方式中，在第一表面125与第四表面145的交线处存在着较在第一表面125与第三表面130的交线处更大数量的孔。孔110的数目可从约10个到约15个而变化。孔110中的各者的形状可为半圆形。例如，孔110中的各者可延伸通过主体105的两个表面而形成「D」形。气体注射器100用通过所述多个孔110的一或更多个固定器附接到处理腔室。固定器可为螺钉、螺栓、夹子等等。在一或更多个实施方式中，气体注射器100用通过所述多个孔110的螺钉附接到处理腔室中的基部板。凹口115设置在充气主体105的第一表面125内的中心。图1的凹口115的形状是具有圆角的矩形。在其他实施方式中，凹口115可为椭圆形或长椭圆形的。凹口的长度可在从约11英寸到约13英寸的范围中。凹口的宽度可在从约0.15英寸到约0.25英寸的范围中。操作时，处理气体从气体注射器(未示出)流过凹口115。凹口115延伸通过凸部120的内部。凸部120从第二表面150延伸。图2A示出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体注射器，包括：/n充气主体，其中所述主体包括：/n凹口；/n凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体；及/n多个喷嘴，从所述充气主体的外表面侧向延伸，其中所述充气主体在所述充气主体的外壁具有多个孔，且各个喷嘴与所述充气主体的内部容积流体连通。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171009 IN 2017410357051.一种气体注射器，包括：
充气主体，其中所述主体包括：
凹口；
凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体；及
多个喷嘴，从所述充气主体的外表面侧向延伸，其中所述充气主体在所述充气主体的外壁具有多个孔，且各个喷嘴与所述充气主体的内部容积流体连通。


2.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴被设置在所述充气主体的相反侧上。


3.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴被设置在所述充气主体的仅一侧上。


4.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴具有变化的尺寸。


5.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴指向各种不同的仰角方向。


6.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴指向各种不同的侧向方向。


7.如权利要求1所述的气体注射器，其中所述喷嘴沿着所述充气主体用变化的距离彼此隔开。


8.一种气体注射器，包括：
充气主体，其中所述充气主体包括：
凹口；及
凸部，与所述凹口相邻且侧向延伸远离所述充气主体，其中所述凸部包括：
多个孔；及
挡板，与所述多个孔相邻，其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：维希瓦·库马尔·帕迪，劳拉·哈夫雷查克，庄野贤一，卡尔蒂克·萨哈，克里斯托弗·S·奥尔森，赛拉朱·泰拉瓦尔尤拉，凯拉什·普拉丹，雷内·乔治，约翰内斯·F·斯温伯格，斯蒂芬·莫法特，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US