单晶炉组合用安全登高平台制造技术

本实用新型专利技术提供单晶炉组合用安全登高平台，包括一登高平台，所述登高平台包括左右镜像对称设置的两个子平台拼接构成；两个子平台均包括支撑板以及设置在支撑板下方的支撑架，所述支撑板上开设有半圆形缺口，两个子平台拼接时，两个子平台的支撑板相连，且两个子平台的半圆形缺口拼合构成一用于容纳单晶炉炉筒的通孔；所述支撑架上焊接固定有扶梯；两个子平台除开设有半圆形缺口侧均设置有围栏。本专利将登高平台改良为左右拼接构成，和单晶炉紧密结合，不会出现工人坠落的情况。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉组合用安全登高平台
本技术涉及半导体加工设备领域，具体涉及登高平台。
技术介绍
单晶炉在现场组立装配时，由于场地的限制，以及本身结构的限制，用标准的登高梯或者升降梯只能安装在单晶炉的一侧，无法对单晶炉某一高度下周向上的检查。而且由于单晶炉的作业区在离地面2.5米的地方，采用登高梯或者升降梯，安全度不高，对工作人员的防护措施不佳。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供单晶炉组合用安全登高平台，以解决现有的登高梯的以上至少一个技术问题。本技术的技术方案是：单晶炉组合用安全登高平台，包括一登高平台，其特征在于，所述登高平台包括左右镜像对称设置的两个子平台拼接构成；两个子平台均包括支撑板以及设置在支撑板下方的支撑架，所述支撑板上开设有半圆形缺口，两个子平台拼接时，两个子平台的支撑板相连，且两个子平台的半圆形缺口拼合构成一用于容纳单晶炉炉筒的通孔；所述支撑架上焊接固定有扶梯；两个子平台除开设有半圆形缺口侧均设置有围栏。本专利将登高平台改良为左右拼接构成，和单晶炉紧密结合，不会出现工人坠落的情况。进一步优选的，所述通孔的内径大于所述单晶炉炉筒外径，且差值为4-6mm。保证安全性，避免工作人员从平台与炉筒的间隙处掉落。进一步优选的，所述围栏的高度为0.9m-1.2m。通过控制围栏的高度，避免工作人员掉落的情况。进一步优选的，所述围栏包括固定在所述支撑架上的固定围栏以及活动设置在所述支撑架上的活动围栏；所述活动围栏设置在所述支撑架固定有扶梯处的上方；所述活动围栏的一端与所述固定围栏铰接，所述活动围栏的另一端与所述活动围栏通过一锁闩可拆卸连接。保证安全性。进一步优选的，两个子平台的支撑板的前后两侧均通过一连接板以及螺丝固定相连。便于两个子平台的连接稳定性。进一步优选的，所述支撑架包括两个角部支撑组件以及两个中间支撑杆；两个角部支撑组件分别设置在所述子平台远离所述半圆形缺口处的两个角部，每个角部支撑组件均包括三个竖直设置的角部支撑杆，三个角部支撑杆中相邻的角部支撑杆通过一连接杆相连；两个中间支撑杆分别设置在所述子平台靠近所述圆形缺口处的两个角部；两个中间支撑杆分别与邻近的角部支撑组件中最邻近的角部支撑杆通过一连接杆相连。便于保证支撑强度。进一步优选的，所述支撑架的底部安装有至少四个带有刹车结构的万向轮；所述支撑架的底部安装有至少四个可调节高度的支撑脚；所述支撑脚处于最长状态下，所述万向轮的底部高于所述支撑脚的底部；所述支撑脚处于最短状态下，所述万向轮的底部低于所述支撑脚的底部。便于实现子平台的移动。进一步优选的，所述支撑架上还安装有挂壁式伸缩楼梯。该种楼梯展开时有一定的坡度，工人在上下时，不会有陡峭感，更加人性化。在不使用的情况下，可以将扶梯折叠起来，减少空间的占用率。进一步优选的，所述支撑板的高度为2.4m-2.6m。便于工作人员在2.5米的作业区进行操作。进一步优选的，所述支撑板邻近所述半圆形缺口处的角部开设有矩形缺口；两个子平台拼接时，两个子平台的支撑板的矩形缺口对接构成总缺口。减小支撑板的面积。附图说明图1为本技术的一种结构示意图；图2为本技术的一种俯视图；图3为本技术的一种侧视图；图4为本技术连接板处的局部放大图。图中：1为子平台，2为通孔，3为连接板，5为扶梯，7为支撑架，11为左侧支撑板，12为右侧支撑板，61为固定围栏，62为活动围栏，71为角部支撑杆，72为中间支撑杆，73为连接杆，81为万向轮，82为支撑脚。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的说明。具体实施例1：参见图1至图4，单晶炉组合用安全登高平台，包括一登高平台，登高平台包括左右镜像对称设置的两个子平台1拼接构成；两个子平台1均包括支撑板以及设置在支撑板下方的支撑架7，支撑板上开设有半圆形缺口，两个子平台1拼接时，两个子平台1的支撑板相连，且两个子平台1的半圆形缺口拼合构成一用于容纳单晶炉炉筒的通孔2；支撑架7上焊接固定有扶梯5；两个子平台1除开设有半圆形缺口侧均设置有围栏。本专利将登高平台改良为左右拼接构成，和单晶炉紧密结合，不会出现工人坠落的情况。两个子平台1上的支撑板分别为左侧支撑板11以及右侧支撑板12。通孔2的内径大于单晶炉炉筒外径，且差值为4-6mm。保证安全性，避免工作人员从平台与炉筒的间隙处掉落。围栏的高度为0.9m-1.2m。通过控制围栏的高度，避免工作人员掉落的情况。围栏包括固定在支撑架7上的固定围栏61以及活动设置在支撑架上的活动围栏62；活动围栏62设置在支撑架7固定有扶梯5处的上方；活动围栏62的一端与固定围栏61铰接，活动围栏62的另一端与活动围栏62通过一锁闩可拆卸连接。保证安全性。两个子平台1的支撑板的前后两侧均通过一连接板3以及螺丝固定相连。便于两个子平台1的连接稳定性。连接板的右端通过螺钉与一个子平台转动连接。另一个子平台上安装有另一个螺丝。连接板上设有用于钩入螺丝的卡勾。支撑架7包括两个角部支撑组件以及两个中间支撑杆72；两个角部支撑组件分别设置在子平台1远离半圆形缺口处的两个角部，每个角部支撑组件均包括三个竖直设置的角部支撑杆71，三个角部支撑杆71中相邻的角部支撑杆71通过一连接杆73相连；两个中间支撑杆72分别设置在子平台1靠近圆形缺口处的两个角部；两个中间支撑杆72分别与邻近的角部支撑组件中最邻近的角部支撑杆71通过一连接杆相连。便于保证支撑强度。支撑架7的底部安装有至少四个带有刹车结构的万向轮81；支撑架7的底部安装有至少四个可调节高度的支撑脚82；支撑脚82处于最长状态下，万向轮81的底部高于支撑脚82的底部；支撑脚处于最短状态下，万向轮81的底部低于支撑脚82的底部。便于实现子平台1的移动。支撑架7上还安装有挂壁式伸缩楼梯。该种楼梯展开时有一定的坡度，工人在上下时，不会有陡峭感，更加人性化。在不使用的情况下，可以将扶梯5折叠起来，减少空间的占用率。支撑板的高度为2.4m-2.6m。便于工作人员在2.5米的作业区进行操作。支撑板邻近半圆形缺口处的角部开设有矩形缺口；两个子平台1拼接时，两个子平台1的支撑板的矩形缺口对接构成总缺口。减小支撑板的面积。以上仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶炉组合用安全登高平台，包括一登高平台，其特征在于，所述登高平台包括左右镜像对称设置的两个子平台拼接构成；/n两个子平台均包括支撑板以及设置在支撑板下方的支撑架，所述支撑板上开设有半圆形缺口，两个子平台拼接时，两个子平台的支撑板相连，且两个子平台的半圆形缺口拼合构成一用于容纳单晶炉炉筒的通孔；/n所述支撑架上焊接固定有扶梯；/n两个子平台除开设有半圆形缺口侧均设置有围栏。/n

【技术特征摘要】
1.单晶炉组合用安全登高平台，包括一登高平台，其特征在于，所述登高平台包括左右镜像对称设置的两个子平台拼接构成；
两个子平台均包括支撑板以及设置在支撑板下方的支撑架，所述支撑板上开设有半圆形缺口，两个子平台拼接时，两个子平台的支撑板相连，且两个子平台的半圆形缺口拼合构成一用于容纳单晶炉炉筒的通孔；
所述支撑架上焊接固定有扶梯；
两个子平台除开设有半圆形缺口侧均设置有围栏。


2.根据权利要求1所述的单晶炉组合用安全登高平台，其特征在于：所述通孔的内径大于所述单晶炉炉筒外径，且差值为4-6mm。


3.根据权利要求1所述的单晶炉组合用安全登高平台，其特征在于：所述围栏的高度为0.9m-1.2m。


4.根据权利要求1所述的单晶炉组合用安全登高平台，其特征在于：所述围栏包括固定在所述支撑架上的固定围栏以及活动设置在所述支撑架上的活动围栏；
所述活动围栏设置在所述支撑架固定有扶梯处的上方；
所述活动围栏的一端与所述固定围栏铰接，所述活动围栏的另一端与所述活动围栏通过一锁闩可拆卸连接。


5.根据权利要求1所述的单晶炉组合用安全登高平台，其特征在于：两个子平台的支撑板的前后两侧均通过一连接板以及螺丝固定相连。


6.根据权利要求1所述的单晶炉组合用安全登高...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱雅婧，贺贤汉，王宇，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31