本实用新型专利技术公开了一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型专利技术包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道，本实用新型专利技术具有结构简单、可直接对工件盘快速降温、以满足特殊镀膜工艺需求的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置
本技术涉及镀膜机
，更具体的是涉及一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前镀膜机通过工件盘夹取固定工件时，大都通过冷却箱体或者加热箱体来实现对镀膜过程的温度控制，但是由于热量在高真空环境下传输较慢，所以效果不是很明显，且反应滞后，无法快速有效地对工件盘进行降温，以满足特殊镀膜工艺的需求。故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决现有镀膜机中工件盘的温度无法快速降温的技术问题，本技术提供一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置。本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道。进一步地，冷却液通道顶部连接有进液管，循环冷却通道末端连接有出液管。进一步地，出液管上设置有温度检测探头。进一步地，循环冷却通道呈旋涡状。进一步地，工件盘底部两侧设置有对称的L型板，L型板下端的水平板上设置有弹簧压紧机构，工件盘底部通过弹簧压紧机构固定若干工件，工件位于两L型板之间。进一步地，弹簧压紧机构包括设置在L型板下端水平板上的弹簧座，弹簧座上开设有凹槽，凹槽内设置有压缩弹簧，压缩弹簧顶部设置有缓冲垫块，缓冲垫块贴合在工件底部。本技术的有益效果如下：1、本技术直接在工件盘内开设循环冷却通道，再通过冷却液通道注入冷却液，使冷却液流经循环冷却通道时能直接对工件盘进行冷却，冷却效果好，起到快速降温作用，从而满足特殊镀膜工艺的需求。2、工件盘底部通过两个L型板和弹簧压紧机构可固定多个工件，当镀膜加工完成后，取下最底层工件后，在压缩弹簧作用下使缓冲垫块自动抵紧上一块工件，然后继续对该工件进行镀膜处理，改变传统一次加工一件后再更换新的工件的加工方式，减少了更换次数，提高了加工效率。附图说明图1是本技术一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置的结构示意图；图2是图1中A-A处的剖视结构示意图。附图标记：1-回转轴，2-工件盘，3-冷却液通道，4-循环冷却通道，5-进液管，6-出液管，7-温度检测探头，8-L型板，9-弹簧压紧机构，9.1-弹簧座，9.2-压缩弹簧，9.3-缓冲垫块。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。以下结合实施例对本技术的特征和性能作进一步的详细描述。实施例1如图1到2所示，本实施例提供一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴1，回转轴1底部连接有工件盘2，回转轴1内开设有冷却液通道3，工件盘2内开设有与冷却液通道3连通的循环冷却通道4。直接在工件盘2内开设循环冷却通道4后，再通过冷却液通道3注入冷却液，使冷却液流经循环冷却通道4时能直接对工件盘2进行冷却，冷却效果好，起到快速降温作用，从而满足特殊镀膜工艺的需求。作为本技术的一种优选技术方案：冷却液通道3顶部连接有进液管5，循环冷却通道4末端连接有出液管6，出液管6上设置有温度检测探头7，通过进液管5往回转轴1内加入冷却液，冷却液流经循环冷却通道4后从出液管6排出，从而不断通入冷却液，保证冷却效果，同时通过温度检测探头7可方便掌握温度变化情况，从而精确控制降温到合适温度。作为本技术的一种优选技术方案：循环冷却通道4呈旋涡状，增大冷却液在工件盘2的行程和冷却面积，提高冷却效果。作为本技术的一种优选技术方案：工件盘2底部两侧设置有对称的L型板8，L型板8下端的水平板上设置有弹簧压紧机构9，工件盘2底部通过弹簧压紧机构9固定若干工件，工件位于两L型板8之间，弹簧压紧机构9包括设置在L型板8下端水平板上的弹簧座9.1，弹簧座9.1上开设有凹槽，凹槽内设置有压缩弹簧9.2，压缩弹簧9.2顶部设置有缓冲垫块9.3，缓冲垫块9.3贴合在工件底部。当最底层工件镀膜处理完成后，直接将其取出，然后在压缩弹簧9.2作用下使缓冲垫块9.3自动抵紧上一块工件，缓冲垫块9.3的作用是避免对工件造成损伤，然后继续对该工件进行镀膜处理即可，操作方便快捷，改变传统一次加工一件后再更换新的工件的加工方式，减少了更换次数，提高了加工效率。以上所述，仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，本技术的专利保护范围以权利要求书为准，凡是运用本技术的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴(1)，回转轴(1)底部连接有工件盘(2)，其特征在于，回转轴(1)内开设有冷却液通道(3)，工件盘(2)内开设有与冷却液通道(3)连通的循环冷却通道(4)。/n
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴(1)，回转轴(1)底部连接有工件盘(2)，其特征在于，回转轴(1)内开设有冷却液通道(3)，工件盘(2)内开设有与冷却液通道(3)连通的循环冷却通道(4)。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，其特征在于，冷却液通道(3)顶部连接有进液管(5)，循环冷却通道(4)末端连接有出液管(6)。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，其特征在于，出液管(6)上设置有温度检测探头(7)。
4.根据权利要求1或2所述的一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟，周立庆，宁提，张坚，
申请(专利权)人：成都南光机器有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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