正型光敏组合物以及使用其的固化膜制造技术

本发明专利技术涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。在所述组合物中，通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，所述组合物能够形成固化膜，所述固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。

【技术实现步骤摘要】
正型光敏组合物以及使用其的固化膜
本专利技术涉及一种能够形成在敏感性、分辨率和膜保留率方面优异的固化膜的正型光敏树脂组合物，以及一种由其制备的待用于液晶显示器、有机EL显示器等中的固化膜。
技术介绍
一般来说，需要较少加工步骤的正型光敏树脂组合物广泛用于液晶显示装置、有机EL显示装置等中。然而，使用常规正型光敏树脂组合物的平坦化膜或显示元件具有比使用负型光敏树脂组合物的平坦化膜和显示元件更低的敏感性。因此，前者的敏感性需要得到改进。同时，常规正型光敏树脂组合物通常包含作为粘合剂树脂的碱溶性树脂(如硅氧烷聚合物和丙烯酸类聚合物)连同光敏剂(如基于醌二叠氮的化合物、芳族醛等)(参见日本公开专利公开号1996-234421)。然而，当使用此种正型光敏树脂组合物形成固化膜时，在显影步骤期间由显影剂引起的固化膜厚度损失率是大的，并且实现足够令人满意的膜保留率、敏感性、分辨率等存在限制。
技术实现思路
技术问题因此，本专利技术的目的在于提供一种正型光敏树脂组合物，其包含两种粘合剂树脂并且能够形成在敏感性和分辨率方面优异的固化膜(由于在显影期间适当控制显影速率而具有光滑表面)，以及一种由其制备的待用于液晶显示器、有机EL显示器等中的固化膜。问题的解决方案为了实现以上目的，本专利技术提供了一种正型光敏树脂组合物，其包含(A)硅氧烷共聚物；(B)丙烯酸类共聚物；以及(C)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：[式1]<br>在上式1中，A1和A2各自独立地是氢、羟基、酚基、C1-4烷基、C6-15芳基、或C1-4烷氧基，R1是氢或并且n是3至15的整数。为了实现另一个目的，本专利技术提供了一种使用所述正型光敏树脂组合物制备的固化膜。本专利技术的有益效果在根据本专利技术的正型光敏树脂组合物中，通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，所述组合物能够形成固化膜，所述固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。附图说明图1示出了通过光学显微镜由实例和对比实例的组合物获得的固化膜的表面上形成的图案的每张照片。图2示出了通过扫描电子显微镜由实例和对比实例的组合物获得的固化膜的表面的每张照片。实施本专利技术的最佳方式本专利技术提供了一种正型光敏树脂组合物，其包含(A)硅氧烷共聚物；(B)丙烯酸类共聚物；以及(c)光活性化合物。所述组合物可任选地进一步包含(D)环氧化合物；(E)表面活性剂；(F)粘附补充剂；和/或(G)溶剂。在下文中，将详细解释正型光敏树脂组合物的各组分。如本文中使用的，术语“(甲基)丙烯酰基”是指“丙烯酰基”和/或“甲基丙烯酰基”，并且术语“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”和/或“甲基丙烯酸酯”。通过凝胶渗透色谱法(GPC，洗脱液：四氢呋喃)参照聚苯乙烯标准品测量如下所述的各组分的重均分子量(克/摩尔，Da)。(A)硅氧烷共聚物包含硅氧烷共聚物(硅氧烷聚合物；A)的光敏树脂组合物可以通过进行从曝光至显影的方法形成为正型图案。硅氧烷聚合物(A)是在显影步骤中实现显影性的碱溶性树脂，并且还起到涂覆时用于形成膜的基材和用于形成最终图案的结构和粘合剂的作用。硅氧烷聚合物(A)包含硅烷化合物和/或其水解产物的缩合物。在此种情况下，硅烷化合物或其水解产物可以是单官能至四官能的硅烷化合物。结果，硅氧烷聚合物可以包含选自以下Q、T、D、和M型的硅氧烷结构单元：-Q型硅氧烷结构单元：包含硅原子和相邻的四个氧原子的硅氧烷结构单元，其可以衍生自例如四官能硅烷化合物或具有四个可水解基团的硅烷化合物的水解产物。-T型硅氧烷结构单元：包含硅原子和相邻的三个氧原子的硅氧烷结构单元，其可以衍生自例如三官能硅烷化合物或具有三个可水解基团的硅烷化合物的水解产物。-D型硅氧烷结构单元：包含硅原子和相邻的个氧原子的硅氧烷结构单元(即，线性硅氧烷结构单元)，其可以衍生自例如双官能硅烷化合物或具有两个可水解基团的硅烷化合物的水解产物。-M型硅氧烷结构单元：包含硅原子和一个相邻氧原子的硅氧烷结构单元，其可以衍生自例如单官能硅烷化合物或具有一个可水解基团的硅烷化合物的水解产物。具体地，硅氧烷聚合物(A)可以包含衍生自由以下式2表示的硅烷化合物的结构单元：[式2](R2)mSi(OR3)4-m在上式2中，m是0至3的整数，R2各自独立地是C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、3元至12元杂烷基、4元至10元杂烯基、或6元至15元杂芳基，并且R3各自独立地是氢、C1-6烷基、C2-6酰基、或C6-15芳基，其中所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地具有至少一个选自由O、N和S组成的组的杂原子。化合物可以是四官能硅烷化合物(其中m是0)、三官能硅烷化合物(其中m是1)、双官能硅烷化合物(其中m是2)、或单官能硅烷化合物(其中m是3)。硅烷化合物的具体实例可以包括，例如，作为四官能硅烷化合物，四乙酰氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丁氧基硅烷、四苯氧基硅烷、四苄氧基硅烷、和四丙氧基硅烷；作为三官能硅烷化合物，甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三异丙氧基硅烷、甲基三丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三异丙氧基硅烷、乙基三丁氧基硅烷、丁基三甲氧基硅烷、五氟苯基三甲氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、d3-甲基三甲氧基硅烷、九氟丁基乙基三甲氧基硅烷、三氟甲基三甲氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、正丁基三乙氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、癸基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、对羟基苯基三甲氧基硅烷、1-(对羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(对羟基苯基)乙基三甲氧基硅烷、4-羟基-5-(对羟基苯基羰基氧基)戊基三甲氧基硅烷、三氟甲基三乙氧基硅烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]丙基三甲氧基硅烷、[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基]丙基三乙氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：/n(A)硅氧烷共聚物；/n(B)丙烯酸类共聚物；以及/n(C)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：/n[式1]/n

【技术特征摘要】
20181228 KR 10-2018-01718641.一种正型光敏树脂组合物，其包含：
(A)硅氧烷共聚物；
(B)丙烯酸类共聚物；以及
(C)光活性化合物，所述光活性化合物包含含有由以下式1表示的重复单元的化合物：
[式1]



在上式1中，
A1和A2各自独立地是氢、羟基、酚基、C1-4烷基、C6-15芳基、或C1-4烷氧基，
R1是氢或并且
n是3至15的整数。


2.如权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其中，所述硅氧烷聚合物(A)包含衍生自由以下式2表示的硅烷化合物的结构单元：
[式2]
(R2)mSi(OR3)4-m
在上式2中，
m是0至3的整数，
R2各自独立地是C1-12烷基、C2-10烯基、C6-15芳基、3元至12元杂烷基、4元至10元杂烯基、或6元至15元杂芳基，并且
R3各自独立地是氢、C1-6烷基、C2-6酰基、或C6-15芳基，
其中所述杂烷基、所述杂烯基、和所述杂芳基各自独立地具有至少一个选自由O、N和S组成的组的杂原子。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗钟昊，许槿，申佳姬，李垠泳，梁钟韩，
申请(专利权)人：罗门哈斯电子材料韩国有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR