样品托制造技术

本发明专利技术提供一种样品托，样品托包括：第一单元，第一单元包括第一表面及与第一表面相对的第二表面，第一单元包括贯穿第一表面及第二表面的第一通孔；第一单元的传递方式包括水平传递；固定单元，固定单元位于第一单元的第一表面上，并与第一单元相连接，固定单元包括第二通孔，第二通孔与第一通孔相贯通；第二单元，第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，样品部用以承载样品，固定部与所述固定单元相连接；第二单元的传递方式包括垂直传递。本发明专利技术通过样品托可实现样品在大型互联真空系统中的传递操作，包括水平传递及垂直传递，保证样品在超高真空互联系统中的原位生长和原位多重表征测试，避免大气下杂质污染等问题。

【技术实现步骤摘要】
样品托
本专利技术属于真空设备领域，涉及一种样品托。
技术介绍
分子束外延(MBE)是新发展起来的在超高真空环境下制备高质量单晶薄膜的新技术，分子束外延生长可实现原子逐层沉积的单晶生长，制备人工调制的二维薄膜材料，通过精确控制膜层组分、掺杂浓度等手段获得量子阱、超晶格、拓扑超导等量子新材料而受到越来越多的科学研究工作者的青睐。拓扑超导材料研究是量子计算和量子通讯的研究基础。角分辨光电子能谱(ARPES)是在超高真空环境下利用光电效应直接观测固体材料的电子结构的方法，被誉为“一个可以看见电子结构的显微镜”，是观察电子结构的最佳利器，可以在动量空间直观获得样品表面的能带结构。扫描隧道显微镜(STM)因为具有原子级高分辨率，可以实时得到实空间样品表面形貌和原子结构，且可对单原子进行成像，因而在表面分析领域获得广泛应用。分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)由于其可以解决在材料生长、器件工艺环节、测试分析过程中由于在样品转移过程中导致的杂质污染等问题，以及可实现原位生长原位测试的独特的优势而应用越来越广泛。配合扫描隧道谱，则可以得到表面电子结构信息，如电荷密度波、能隙结构等。所以在新材料研究中，使用包括超高真空扫描隧道显微镜(STM)在内的联合系统，以进行样品的原位生长和原位多重表征测试手段，越来越受到人们的重视。目前，商业化的分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)多采用旗帜型样品托，在水平方向上进行传递；而扫描隧道显微镜(STM)因液氦杜瓦和超导磁体设计的要求，描隧道显微镜样品托采用竖直向下传递方式，同时保持样品面朝下(磁场方向垂直于样品表面)，因此，分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)与扫描隧道显微镜(STM)所使用的样品托具有兼容性的问题。当分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)与低温强磁场的扫描隧道显微镜(STM)进行互联时，为保证样品在超高真空互联系统中的原位生长和原位多重表征测试，避免大气下杂质污染等问题，须考虑传递方式的兼容性，实现样品在大型互联真空系统中的传递操作。因此，设计一种新型的样品托，使其既可以适用于分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)，同时又可适用于扫描隧道显微镜(STM)，以实现样品在大型互联真空系统中的传递操作，实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种样品托，用于解决现有技术中分子束外延/角分辨光电子能谱的集成系统(MBE/ARPES)与扫描隧道显微镜(STM)中的样品托不兼容的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种样品托，所述样品托包括：第一单元，所述第一单元包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一单元包括贯穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一单元的传递方式包括水平传递；固定单元，所述固定单元位于所述第一单元的第一表面上，并与所述第一单元相连接，所述固定单元包括第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相贯通；第二单元，所述第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，所述样品部用以承载样品，所述固定部与所述固定单元相连接；所述第二单元的传递方式包括垂直传递。可选地，所述固定单元包括位于顶部的盖板、位于底部的限位固定块及位于所述盖板与所述限位固定块之间的弹簧片。可选地，所述弹簧片包括钽弹簧片。可选地，所述固定部与所述固定单元的连接方式包括旋转式卡固连接、卡扣连接、螺纹连接中的一种或组合。可选地，所述固定单元与所述第一单元的连接方式包括旋转式卡固连接、卡扣连接、螺纹连接、销连接、铆连接、焊连接中的一种或组合。可选地，所述连接部的中心与所述第一通孔及所述第二通孔的中心相重合；所述连接部的端面位于所述第二通孔及所述第一通孔中的一种或组合。可选地，所述样品部凸出于所述第二通孔。可选地，所述样品托的传递方式包括水平传递及垂直传递中的一种或组合。可选地，所述样品托应用的温度范围包括20℃～1000℃。可选地，上述样品托包括应用于分子束外延、角分辨光电子能谱及扫描隧道显微镜中的一种或组合中的样品托。如上所述，本专利技术的样品托，通过固定单元连接水平传递的第一单元及垂直传递的第二单元，并通过相贯通的第一通孔及第二通孔显露第二单元的连接部，从而可使得样品托兼容水平传递及垂直传递；通过固定单元，可提高第二单元拆装的便捷性；通过弹簧片，可使得第二单元与固定单元的连接操作顺滑，从而可进一步提高第二单元拆装的便捷性，且可避免第二单元产生振动，提高稳定性；样品托可适用于高温环境，从而使得样品托可适用于分子束外延、角分辨光电子能谱及扫描隧道显微镜中的一种或组合，从而实现样品在超高真空互联系统中的原位生长和原位多重表征测试，避免大气下杂质污染等问题。附图说明图1显示为本专利技术中的第一单元的结构示意图。图2a～图2c显示为本专利技术中的固定单元的结构示意图。图3显示为本专利技术中的第二单元的结构示意图。图4a～图4b显示为本专利技术中的样品托的装配结构示意图。元件标号说明100第一单元101样品承载部102手柄103抓取孔104第一单元螺孔105第一通孔200固定单元201盖板211盖板螺孔221盖板凹槽231盖板通孔202限位固定块212限位固定块螺孔222限位固定块凸起部232限位固定块通孔203弹簧片213弹簧片通孔204第二通孔300第二单元301样品部302固定部303连接部具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1～图4b。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。本专利技术提供一种样品托，所述样品托包括：第一单元，所述第一单元包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一单元包括贯穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一单元的传递方式包括水平传递；固定单元，所述固定单元位于所述第一单元的第一表面上，并与所述第一单元相连接，所述固定单元包括第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相贯通；第二单元，所述第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，所述样品部用以承载样品，所述固定部与所述固定单元相连接；所述第二单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品托，其特征在于，所述样品托包括：/n第一单元，所述第一单元包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一单元包括贯穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一单元的传递方式包括水平传递；/n固定单元，所述固定单元位于所述第一单元的第一表面上，并与所述第一单元相连接，所述固定单元包括第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相贯通；/n第二单元，所述第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，所述样品部用以承载样品，所述固定部与所述固定单元相连接；所述第二单元的传递方式包括垂直传递。/n

【技术特征摘要】
1.一种样品托，其特征在于，所述样品托包括：
第一单元，所述第一单元包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一单元包括贯穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一单元的传递方式包括水平传递；
固定单元，所述固定单元位于所述第一单元的第一表面上，并与所述第一单元相连接，所述固定单元包括第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相贯通；
第二单元，所述第二单元包括样品部、固定部及连接部；其中，所述样品部用以承载样品，所述固定部与所述固定单元相连接；所述第二单元的传递方式包括垂直传递。


2.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于：所述固定单元包括位于顶部的盖板、位于底部的限位固定块及位于所述盖板与所述限位固定块之间的弹簧片。


3.根据权利要求2所述的样品托，其特征在于：所述弹簧片包括钽弹簧片。


4.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于：所述固定部与所述固定单元的连接方式包括旋转式卡固连接、卡扣连接、螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅红萍，李昂，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31