陶瓷烧结法、烧结炉、陶瓷电子零件制法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种可烧结出良好的陶瓷的陶瓷的烧结方法、隧道式烧结炉、陶瓷电子零件的制造方法及装置、陶瓷电子零件的烧结用收纳体。当利用隧道式烧结炉来烧结含陶瓷原料的尚未烧结的处理品时，对于通过隧道的处理品的行进方向，从侧方将炉内气相环境用气体经由供给管供给到炉内，并且从炉的底部将炉内的气体经由排出管排出。如此一来，可产生从处理品朝向炉的底部的稳定气流，所以可一直对处理品供给新鲜的炉内气相环境用气体。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是涉及对于含陶瓷原料的各种处理品以做成陶瓷电子零件等的陶瓷制品的陶的烧结处理。举例来说，叠层型陶瓷电容器、闸极体、磁铁铁心、压电体等的利用了陶瓷的陶瓷电子零件或者其它的陶瓷制品，是先将陶瓷原料成型成预定的形状之后，再藉由对于这个成型体进行烧结而得的。传统上，使用于烧结陶瓷电子零件的烧结炉是具备隧道构造的炉本体；和被设在炉本体上的发热体；和向着炉内的收纳体从侧面供给炉内气相环境用气体的炉内气相环境用气体供给管；和从炉的侧面排出炉内的气相环境气体的气相环境气体排出管；和将收纳着许多尚未烧结的陶瓷电子零件的收纳体从隧道的入口运送到出口的推送装置。如图6所示，收纳体100是重叠数个在上面呈开口状且在侧面上部的中央部呈开口的盒状的承盘101，并且在最上层的承盘101的上面又叠上一个盖子102。这种收纳体100是在被放置于支承板103上的状态下，被导入到隧道式烧结炉内。尚未烧结的陶瓷电子零件则收纳在各承盘101内。在进行陶瓷的烧结时，制品为了要获得所期望的特性，必须将炉内气相环境气体的浓度、流量、炉内的内压等等调整成预定的条件。例如必须将进行烧结时所产生的不必要的气体(N2气相环境中的CO2气体等)迅速地排出。传统的烧结炉虽然是从炉的侧面排出气体，但是仍然有人提出“希望能够更迅速地排出气体”的需要。此外，以传统的方式进行陶瓷电子零件的烧结时，必须对于收纳在收纳体100内的尚未烧结的陶瓷电子零件充分地供给炉内气相环境用气体，因此，也有人提出“希望有能够比传统的收纳体100具有更佳的透气性的收纳体”的需要。此外，就收纳体100本身而言，最好是能够具有良好的温度分布且与炉内气相环境用气体之间不易发生反应。本专利技术就是有鉴于上述情事而开发完成的，其目的在于提供可烧结出良好的陶瓷的陶瓷的烧结方法、隧道式烧结炉、陶瓷电子零件的制造方法及装置、陶瓷电子零件的烧结用收纳体。为了达成上述目的，本申请人提出一种技术方案，其特征为当利用隧道式烧结炉来烧结含陶瓷原料的尚未烧结的处理品时，对于通过隧道的处理品的行进方向，从侧方将炉内气相环境用气体供给到炉内，并且从炉的底部将炉内的气体排出。根据本专利技术，从处理品的侧方所供给的炉内气相环境用气体，在进行烧结时被使用过后，随即就从炉的底部排出。也就是说，可产生从处理品朝向炉的底部的稳定气流，所以可一直对处理品供给新鲜的炉内气相环境用气体。尤其是，因与处理品发生反应而产生的不必要的气体的比重较所供给的炉内气相环境用气体的比重更大的时候，能够更迅速地将该不必要的气体排出。因此，根据本专利技术，可在气相环境中烧结出良好的陶瓷。此外，本专利技术所提出的另一个技术方案的特征为从隧道的入口侧的底部排出炉内的气体。根据本专利技术，能够防止因与处理品发生反应而产生的不必要的气体侵入到正在进行烧结的区域，所以可提高正在进行烧结的区域的气相环境的稳定性，其结果可防止烧结出品质不一的陶瓷。此外，本专利技术所提出的另一个技术方案是在于被供给炉内气相环境用气体的烧结炉中烧结尚未烧结的陶瓷电子零件所使用的陶瓷电子零件的烧结用收纳体，其特征为该陶瓷电子零件的烧结用收纳体具备互相隔着间隔重叠设置的复数个第一板体；和被配置于各第一板体的上面侧与该第一板体隔着间隔，且在上面供放置尚未烧结的陶瓷电子零件的第二板体。根据本专利技术，不仅是在于被放置在第二板体上面的尚未烧结的陶瓷电子零件的上方空间，就连第二板体与第一板体之间的间隙也形成气相环境气体的通路，所以气相环境气体的透气性变得很好。如此一来，可降低陶瓷电子零件的烧结品质的不一。兹佐以图面，说明本专利技术的第一实施形态如下。附图说明图1是隧道式烧结炉的纵剖面图。图2是沿着图1中的A-A剖面线而从箭头方向观察时的横剖面图。图3是陶瓷电子零件的烧结用收纳体的分解结构图。图4是陶瓷电子零件的烧结用收纳体的剖面图。图5是用来说明其它例子的陶瓷电子零件的烧结用收纳体的配置的上表面图。图6是传统的陶瓷电子零件的烧结用收纳体的分解结构图。此处的含陶瓷原料的处理品，是举出叠层型陶瓷电容器、叠层型电感器、闸极体等的陶瓷电子零件为例加以说明。首先，说明本实施形态中作为烧结处理的对象品也就是尚未烧结的陶瓷电子零件。例如叠层型陶瓷电容器这一类的陶瓷电子零件是以下面说明的方式来制造的。因此，在以下的说明中，是举叠层型陶瓷电容器为例加以说明。首先，将添加物及有机结合剂以及有机溶剂或水依预定比例混入陶瓷原料粉内，进行搅拌而获得陶瓷浆液。至于陶瓷原料粉，可举例出钛酸钡系；钛酸钙系；钛酸镁系等。此外，有机结合剂则可举例出聚乙烯醇缩丁醛。有机溶剂则可举例出乙醇。接下来，将这个陶瓷浆液，采用“布雷德博士法”等来制作成薄片状的胚片。其次，在这个胚片上，因应必要来形成通孔之后，使用网版印刷法等，涂敷上将会成为零件的内部电极的导电性金属膏。用来构成内部电极的金属是采用Pa、Ag等的贵金属；Ni、Cu等的一般金属，或者这些金属的合金。而在本实施形态中，内部电极是使用Ni。接下来，以预定的顺序对于胚片进行叠层压合以制作成薄片叠层体。其次，将这种薄片叠层体裁断成单位零件的大小，而形成尚未烧结的陶瓷电子零件。其次，在这个尚未烧结的陶瓷电子零件上，涂敷用来形成外部电极的导电性金属膏。用来构成外部电极的金属是采用Pa、Ag等的贵金属；Ni、Cu等的一般金属，或者这些金属的合金。而在本实施形态中，外部电极是使用Ni。接下来，使用后述的隧道式烧结炉将这种尚未烧结的陶瓷电子零件在于气相环境中进行烧结，以制作出经过烧结后的陶瓷电容器。此处的烧结处理是同时包含用来去除掉结合剂成分的脱结合剂处理(预烧结处理)以及陶瓷的烧结处理(真正烧结处理)的两者。此外，在这个烧结处理中，在于烧结出陶瓷部分的同时，也烧结出内部电极以及外部电极。在本实施形态中，因为是采用Ni作为内部电极以及外部电极，所以是采用N2弱还原性气相气体。最后，再对于外部电极实施电镀处理而制得叠层型陶瓷电容器。接下来，参考图1和图2来说明上述烧结处理所用的隧道式烧结炉。图1是隧道式烧结炉的纵剖面图；图2是沿着图1中的A-A剖面线而从箭头方向观察时的横剖面图。如图1和图2所示，隧道式烧结炉是具备具有被炉壁2所围绕而形成的隧道3的隧道炉本体1；在隧道3的上部与下部，被设置成贯穿过炉壁2的发热体4；和用来对于隧道3供给炉内气相环境用气体的复数个供给管5；和用来将隧道3内的气体排出到炉外的排出管6。尚未烧结的陶瓷电子零件是被收纳在放置在台板7上的收纳体20，该台板7受到推送装置(省略其图标)的推送而在地板8上面从入口移动到出口。供给管5是被配置成对收纳体20的行进方向从左右侧方喷吹炉内气相环境用气体。此外，供给管5是相对于具有多层结构的收纳体20(容后详述)，而被上下配置复数个以对应于收纳体20的各层。复数个供给管5分别经由阀5a连接到集合管9。集合管9又经由流量计10而连接到炉内气相环境用气体供给装置(省略其图标)。这个供给管5，是在于隧道3的入口至出口的范围内，隔着间隔设置在复数个地方。各供给管5的前端部的喷嘴部是前头尖细的形状，可提高从炉内气相环境用气体供给装置所供给的炉内气相环境用气体的流速，供给到收纳体20的方向。又，由供给管5所供给的气体的流速是可藉由依据流量计10的侦知结果来控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陶瓷的烧结方法，系在被供给气相环境气体的隧道式烧结炉内烧结含陶瓷原料的处理品的陶瓷的烧结方法，其特征在于： 对于通过炉内的处理品的行进方向，从侧方将气相环境气体供给到炉内，并且从炉的底部将炉内的气体排出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中西春夫，斋藤直树，大盐稔，小泉胜男，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]