一种样品架传动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种样品架传动机构，包括真空室上盖，所述真空室上盖的上端右部固定连接有传动机构，所述真空室上盖的中心固定连接有第二空心轴磁流体，所述第二空心轴磁流体的外表面中部固定连接有固定板，所述固定板的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖上端，所述第一空心轴磁流体的上端固定安装有膜厚仪探头，所述真空室上盖的下端固定连接有抓取机构。本实用新型专利技术所述的一种样品架传动机构，通过电机的驱动皮带轮的传动方式，可以很大程度的减小齿轮传动带来的震动，同时通过双空心轴磁流体密封，使膜厚仪探头位于样品架中心固定不动，提高设备可靠性，降低了磁流体内部对轴承的要求，无需选用真空高温轴承，节约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种样品架传动机构
本技术涉及样品架领域，特别涉及一种样品架传动机构。
技术介绍
在常用的超高真空测量设备中，多用平板样品架(托)进行对产品的转运，传入设备中进行测量，很多测量设备的样品加热台、旋转台等也都是基于平板样品架进行设计制作的。现有的样品架传动机构以内部齿轮加轴承的形式样品架的传动运动，轴承的工作温度高而且相邻的齿轮磨损造成的杂质及碎屑较多，影响机构的使用寿命，增加维修成本，同时轴承的要求高，容易磨损价格昂贵，而电机的安装位置也要求很高，对安装上面存在一定的难度。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种样品架传动机构，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种样品架传动机构，包括真空室上盖，所述真空室上盖的上端右部固定连接有传动机构，所述真空室上盖的中心固定连接有第二空心轴磁流体，所述第二空心轴磁流体的外表面中部固定连接有固定板，所述固定板的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖上端，所述第二空心轴磁流体的轴心转动连接有连接轴，所述连接轴的下端螺纹连接有连接套，所述连接套的下端固定连接有样品架本体，所述连接轴的外表面上部固定连接有第一空心轴磁流体，所述第一空心轴磁流体的上端固定安装有膜厚仪探头，所述真空室上盖的下端固定连接有抓取机构。优选的，所述第二空心轴磁流体的内部固定连接有内芯，所述内芯的下端内部固定安装有磁性液体，所述内芯的内部开设有冷却槽，所述冷却槽的左端固定连接有注水管，所述冷却槽的右端固定安装有出水管，且注水管、出水管均贯穿内芯和第二空心轴磁流体。优选的，所述传动机构主要结构有电机，所述电机的输出轴上固定安装有第一皮带轮，所述第一空心轴磁流体的外表面中部固定连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮传动连接。优选的，所述电机的下端固定连接在真空室上盖的上端右部，所述第一皮带轮和第二皮带轮的水平高度一致。优选的，所述抓取机构主要结构有固定套和旋转套，所述固定套的内部固定连接有弹簧，所述弹簧的下端固定连接有抓取杆，所述抓取杆的表面上部滑动连接在固定套内部，所述抓取杆的下端固定连接有吸盘，所述旋转套的表面开设有波浪槽，所述旋转套的上端固定连接在连接轴的下端，所述固定套的上端固定连接在真空室上盖的下端。优选的，所述抓取杆的外表面右端固定连接有连接杆，所述连接杆的右端滑动连接在波浪槽的内壁。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、通过电机的驱动皮带轮的传动方式，可以很大程度的减小齿轮传动带来的震动，减轻震动带来的转动影响，同时通过双空心轴磁流体密封，使膜厚仪探头位于样品架中心，且固定不动，提高设备可靠性，降低了磁流体内部对轴承的要求，无需选用真空高温轴承，节约生产成本。2、通过连接轴带动旋转套旋转，而波浪槽将带动着抓取杆进行上下位移的抓取动作，实现对样品架上方的物体的抓取，而该装置可应用于同类带有转盘的电子束镀膜、蒸发镀膜及磁控镀膜设备，适用范围广。附图说明图1为本技术一种样品架传动机构的整体结构示意图；图2为本技术一种样品架传动机构的整体剖面结构示意图；图3为本技术一种样品架传动机构的传动机构示意图；图4为本技术一种样品架传动机构的抓取机构示意图。图中：1、真空室上盖；2、第二空心轴磁流体；3、固定板；4、传动机构；41、电机；42、第一皮带轮；43、第二皮带轮；44、皮带；5、第一空心轴磁流体；6、连接轴；7、膜厚仪探头；8、抓取机构；81、固定套；82、弹簧；83、抓取杆；84、吸盘；85、旋转套；86、波浪槽；87、连接杆；9、样品架本体；10、连接套；11、内芯；12、磁性液体；13、冷却槽；14、注水管；15、出水管。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-4所示，一种样品架传动机构，包括真空室上盖1，真空室上盖14的上端右部固定连接有传动机构4，真空室上盖1的中心固定连接有第二空心轴磁流体2，第二空心轴磁流体2的外表面中部固定连接有固定板3，固定板3的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖1上端，第二空心轴磁流体2的轴心转动连接有连接轴6，连接轴6的下端螺纹连接有连接套10，连接套10的下端固定连接有样品架本体9，连接轴6的外表面上部固定连接有第一空心轴磁流体5，第一空心轴磁流体5的上端固定安装有膜厚仪探头7，真空室上盖1的下端固定连接有抓取机构8。第二空心轴磁流体2的内部固定连接有内芯11，内芯11的下端内部固定安装有磁性液体12，内芯11的内部开设有冷却槽13，冷却槽13的左端固定连接有注水管14，冷却槽13的右端固定安装有出水管15，且注水管14、出水管15均贯穿内芯11和第二空心轴磁流体2，通过对冷却槽13的注水来实现对内部的降温效果，进一步提高了设备的性能；传动机构4主要结构有电机41，电机41的输出轴上固定安装有第一皮带轮42，第一空心轴磁流体(5)的外表面中部固定连接有第二皮带轮43，第二皮带轮43通过皮带44与第一皮带轮42传动连接，通过皮带44的传动，来很大程度的减小震动来对样品架本体9所造成的影响；电机41的下端固定连接在真空室上盖1的上端右部，第一皮带轮42和第二皮带轮43的水平高度一致，避免皮带44斜度偏移，对皮带44的损伤；抓取机构8主要结构有固定套81和旋转套85，固定套81的内部固定连接有弹簧82，弹簧82的下端固定连接有抓取杆83，抓取杆83的表面上部滑动连接在固定套81内部，抓取杆83的下端固定连接有吸盘84，旋转套85的表面开设有波浪槽86，旋转套85的上端固定连接在连接轴6的下端，固定套81的上端固定连接在真空室上盖1的下端；抓取杆83的外表面右端固定连接有连接杆87，连接杆87的右端滑动连接在波浪槽86的内壁。需要说明的是，本技术为一种样品架传动机构，通过电机41驱动第一皮带轮42转动再经过皮带44的传动，皮带44另一端带动第二空心轴磁流体2和第一空心轴磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品架传动机构，包括真空室上盖(1)，其特征在于：所述真空室上盖(1)的上端右部固定连接有传动机构(4)，所述真空室上盖(1)的中心固定连接有第二空心轴磁流体(2)，所述第二空心轴磁流体(2)的外表面中部固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖(1)上端，所述第二空心轴磁流体(2)的轴心转动连接有连接轴(6)，所述连接轴(6)的下端螺纹连接有连接套(10)，所述连接套(10)的下端固定连接有样品架本体(9)，所述连接轴(6)的外表面上部固定连接有第一空心轴磁流体(5)，所述第一空心轴磁流体(5)的上端固定安装有膜厚仪探头(7)，所述真空室上盖(1)的下端固定连接有抓取机构(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种样品架传动机构，包括真空室上盖(1)，其特征在于：所述真空室上盖(1)的上端右部固定连接有传动机构(4)，所述真空室上盖(1)的中心固定连接有第二空心轴磁流体(2)，所述第二空心轴磁流体(2)的外表面中部固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的下端通过螺栓固定连接在真空室上盖(1)上端，所述第二空心轴磁流体(2)的轴心转动连接有连接轴(6)，所述连接轴(6)的下端螺纹连接有连接套(10)，所述连接套(10)的下端固定连接有样品架本体(9)，所述连接轴(6)的外表面上部固定连接有第一空心轴磁流体(5)，所述第一空心轴磁流体(5)的上端固定安装有膜厚仪探头(7)，所述真空室上盖(1)的下端固定连接有抓取机构(8)。


2.根据权利要求1所述的一种样品架传动机构，其特征在于：所述第二空心轴磁流体(2)的内部固定连接有内芯(11)，所述内芯(11)的下端内部固定安装有磁性液体(12)，所述内芯(11)的内部开设有冷却槽(13)，所述冷却槽(13)的左端固定连接有注水管(14)，所述冷却槽(13)的右端固定安装有出水管(15)，且注水管(14)、出水管(15)均贯穿内芯(11)和第二空心轴磁流体(2)。


3.根据权利要求1所述的一种样品架传动机构，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜寰，
申请(专利权)人：沈阳中科汉达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21