一种电子枪蒸发镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开一种电子枪蒸发镀膜机，该新型电子枪蒸发镀膜机包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，蒸发组件与转台固定连接，转台与基座可转动连接，转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，电极的两侧设有磁极，基座的一侧设有总开关与控制开关，转台、磁极与电极设在壳体内，壳体在总开关的一侧设有真空泵，壳体上设有气压阀，壳体的顶部设有冷却喷头；该新型电子枪蒸发镀膜机镀膜冷却效率高，壳体内真空气压可调，且转台自动旋转增大蒸发镀膜效率，使用简单方便。

【技术实现步骤摘要】
一种电子枪蒸发镀膜机
本技术涉及一种电子枪蒸发镀膜机，属于真空镀膜

技术介绍
对于采用电子蒸发方式的真空镀膜机，其原理是镀膜机内通过电极产生电子束打到镀膜药剂上从而使镀膜药剂蒸发附着在被镀膜产品上。对于大批量及多膜层的镀膜作业中，需要大量的镀膜药剂以及不同种类的镀膜药剂，目前的电子枪蒸发镀膜机可体内气压不可调镀膜效率低，冷却慢，不利于推广使用。为解决上述所提出的现有技术的问题，本技术公开一种电子枪蒸发镀膜机，该新型电子枪蒸发镀膜机包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，蒸发组件与转台固定连接，转台与基座可转动连接，转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，电极的两侧设有磁极，基座的一侧设有总开关与控制开关，转台、磁极与电极设在壳体内，壳体在总开关的一侧设有真空泵，壳体上设有气压阀，壳体的顶部设有冷却喷头；该新型电子枪蒸发镀膜机镀膜冷却效率高，壳体内真空气压可调，且转台自动旋转增大蒸发镀膜效率，使用简单方便。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，一种电子枪蒸发镀膜机，包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，所述蒸发组件与转台固定连接，所述转台与基座可转动连接，所述转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，所述电极的两侧设有磁极，所述基座的一侧设有总开关与控制开关，所述转台、磁极与电极设在壳体内，所述壳体在总开关的一侧设有真空泵，所述壳体上设有气压阀，所述壳体的顶部设有冷却喷头。优选的，所述蒸发组件均匀的设在转台的顶部周围。优选的，所述壳体与基座密封连接。本技术公开一种电子枪蒸发镀膜机，该新型电子枪蒸发镀膜机包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，蒸发组件与转台固定连接，转台与基座可转动连接，转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，电极的两侧设有磁极，基座的一侧设有总开关与控制开关，转台、磁极与电极设在壳体内，壳体在总开关的一侧设有真空泵，壳体上设有气压阀，壳体的顶部设有冷却喷头；该新型电子枪蒸发镀膜机镀膜冷却效率高，壳体内真空气压可调，且转台自动旋转增大蒸发镀膜效率，使用简单方便。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术电子枪蒸发镀膜机的结构示意图；图2是本技术电子枪蒸发镀膜机的内部结构示意图；其中:1、基座；2、转台；3、蒸发组件；4、靶体；5、磁极；6、电极；7、总开关；8、控制开关；9、真空泵；10、冷却喷头；11、壳体；12、气压阀。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。具体实施例一，请参阅图1-2一种电子枪蒸发镀膜机，包括转台2，蒸发组件3，磁极5和真空泵9，所述蒸发组件3与转台2固定连接，所述转台2与基座1可转动连接，所述转台2上竖直设有靶体4，所述基座1上设有电极6，所述电极6的两侧设有磁极5，所述基座1的一侧设有总开关7与控制开关8，所述转台2、磁极5与电极6设在壳体11内，所述壳体11在总开关7的一侧设有真空泵9，所述壳体11上设有气压阀12，所述壳体11的顶部设有冷却喷头10，所述蒸发组件3均匀的设在转台2的顶部周围，所述壳体11与基座1密封连接。本技术公开一种电子枪蒸发镀膜机，该新型电子枪蒸发镀膜机包括转台，蒸发组件，磁极和真空泵，蒸发组件与转台固定连接，转台与基座可转动连接，转台上竖直设有靶体，所述基座上设有电极，电极的两侧设有磁极，基座的一侧设有总开关与控制开关，转台、磁极与电极设在壳体内，壳体在总开关的一侧设有真空泵，壳体上设有气压阀，壳体的顶部设有冷却喷头；该新型电子枪蒸发镀膜机镀膜冷却效率高，壳体内真空气压可调，且转台自动旋转增大蒸发镀膜效率，使用简单方便。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术创造的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子枪蒸发镀膜机，包括转台（2），蒸发组件（3），磁极（5）和真空泵（9），其特征在于：所述蒸发组件（3）与转台（2）固定连接，所述转台（2）与基座（1）可转动连接，所述转台（2）上竖直设有靶体（4），所述基座（1）上设有电极（6），所述电极（6）的两侧设有磁极（5），所述基座（1）的一侧设有总开关（7）与控制开关（8），所述转台（2）、磁极（5）与电极（6）设在壳体（11）内，所述壳体（11）在总开关（7）的一侧设有真空泵（9），所述壳体（11）上设有气压阀（12），所述壳体（11）的顶部设有冷却喷头（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子枪蒸发镀膜机，包括转台（2），蒸发组件（3），磁极（5）和真空泵（9），其特征在于：所述蒸发组件（3）与转台（2）固定连接，所述转台（2）与基座（1）可转动连接，所述转台（2）上竖直设有靶体（4），所述基座（1）上设有电极（6），所述电极（6）的两侧设有磁极（5），所述基座（1）的一侧设有总开关（7）与控制开关（8），所述转台（2）、磁极（5）与电极（6）设在壳体（11）内...

【专利技术属性】
技术研发人员：常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32