【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】核苷酸定序元件、芯片及定序分析方法
本专利技术是有关于一种定序元件、芯片及定序分析方法,且特别是有关于一种核苷酸定序元件、芯片及定序分析方法。
技术介绍
去氧核醣核酸(deoxyribonucleicacid,DNA)的定序是指分析特定DNA片段的碱基序列,也就是分析腺嘌呤(A)、胸腺嘧啶(T)、胞嘧啶(C)与鸟嘌呤的(G)的排列方式。DNA定序已被广泛运用,范围大致分为六大项目:基础研究(基因结构,基因功能)、基因体研究、生命的起源、人种或物种的差异、特定基因变异与疾病、以及检验试剂与新药开发。目前DNA定序已经改良至次世代定序,其中一种为以IonTorrent公司为主的定序方法,采用集成电路芯片直接将化学信号转换为数字信号。IonTorrent公司的设计是以累积电荷对场效晶体管(field-effecttransistor,FET)截止电压(thresholdvoltage)变化为基础的感测。然而,因定序过程中产生电荷(氢离子),纵使定时以缓冲液清洗芯片孔槽仍无法完全清除。由于芯片孔槽电荷累积造成噪声升高,最终使得DNA序列仅能读取约为200碱基对(basepair,bp)的长度。再者,当技术上面临当芯片制程微缩时,芯片孔槽若残留有电荷将更易产生噪声的影响。有鉴于此,如何提供更快速且精准的DNA定序芯片与方法,现有技术实有待改善的必要。
技术实现思路
本揭示内容的目的在于提供一种核苷酸定序元件、芯片及定序分析方法,以清除定序时产生的电荷,避免电荷累积造成噪声升高。本揭示内容提供了一种核
【技术保护点】
一种核苷酸定序元件,包含:/n一半导体基板;/n一晶体管,设于该半导体基板上;/n一介电层,覆盖该晶体管;/n一环状电极组,位于该介电层上方,并具有一开口露出该介电层,且该环状电极组与该介电层形成一孔槽,其中该环状电极组包含:/n至少一第一环状电极;/n一第二环状电极,位于该第一环状电极之上;以及/n一第三环状电极,位于该第二环状电极之上;以及/n一导体,配置于该介电层中,该导体的一端连接该晶体管的一源极或一漏极,该导体的另一端连接该环状电极组的该第一环状电极或该第二环状电极。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】一种核苷酸定序元件,包含:
一半导体基板;
一晶体管,设于该半导体基板上;
一介电层,覆盖该晶体管;
一环状电极组,位于该介电层上方,并具有一开口露出该介电层,且该环状电极组与该介电层形成一孔槽,其中该环状电极组包含:
至少一第一环状电极;
一第二环状电极,位于该第一环状电极之上;以及
一第三环状电极,位于该第二环状电极之上;以及
一导体,配置于该介电层中,该导体的一端连接该晶体管的一源极或一漏极,该导体的另一端连接该环状电极组的该第一环状电极或该第二环状电极。
根据权利要求1所述的核苷酸定序元件,其中各该第一环状电极、第二环状电极及第三环状电极具有一环形轮廓,且该第一、该第二、及该第三环状电极彼此对准。
根据权利要求1所述的核苷酸定序元件,其中各该第一环状电极、第二环状电极及第三环状电极具有一多边形轮廓,且该第一、该第二、及该第三环状电极彼此对准。
根据权利要求1所述的核苷酸定序元件,其中该环状电极组还包含:
至少一第一环状间隔层,位于该介电层与该第一环状电极之间;
一第二环状间隔层,位于该第一环状电极与该第二环状电极之间;以及
一第三环状间隔层,位于该第二环状电极与该第三环状电极之间。
根据权利要求4所述的核苷酸定序元件,其中该至少一第一环状电极包含复数个第一环状电极,该至少一第一环状间隔层包含复数个第一环状间隔层,
其中该些第一环状电极与该些第一环状间隔层彼此交错堆叠,且该些第一环状电极电性连接该导体。
根据权利要求1所述的核苷酸定序元件,还包含:
至少一凸电极,位于该孔槽中,且该凸电极具有一凸出部凸出该介电层,且电性连接该导体。
根据权利要求6所述的核苷酸定序元件,其中该凸出部具有高宽比为约0.125至约7.5。
根据权利要求6所述的核苷酸定序元件,其中该凸出部凸出该介电层的上表面约0.01微米至约0.5微米。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:连俊龙,萧正辉,
申请(专利权)人:连俊龙,萧正辉,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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