一种放置TEM试片用移动式真空箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种放置TEM试片用移动式真空箱，包括底座、设于底座下部的万向轮、用于制动万向轮的制动组件、真空泵、箱体和用于带动箱体上下移动的驱动组件，其中驱动组件与底座固定连接，所述箱体内设有连通真空泵的真空腔室，所述箱体的侧壁设有用于拿放TEM试片的取样口和启闭取样口的封闭门，能够将TEM试片暂时处于真空状态并输送至透射电镜内，以减少TEM试片在大气环境下的停留时间，从而确保TEM试片检测的准确性。

A mobile vacuum box for TEM specimen placement

【技术实现步骤摘要】
一种放置TEM试片用移动式真空箱
本技术涉及一种试验辅助设备
，尤其涉及一种放置TEM试片用移动式真空箱。
技术介绍
透射电子显微镜（Transmissionelectronmicroscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来，另外，由于电子束的穿透力很弱，因此用于电镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片。一些薄片的TEM试片的含金层如Cu和Ag等在大气环境下将快速氧化或扩散，从而会影响检测的准确性，现有的解决方法一般为：当聚焦式离子束(FIB)或手动研磨薄化TEM试片后，立即将TEM试片送入透射电镜内进行分析，但是这将导致以下问题，首先由于FIB机和透射电镜之间有一定距离，即便快速来回输送TEM试片也会造成TEM试片在大气环境下停留一定的时间，且操作人员自身可能无法做到快速输送，从而一定程度上影响了TEM试片的检测结果。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种放置TEM试片用移动式真空箱，能够将TEM试片暂时处于真空状态并输送至透射电镜内，以减少TEM试片在大气环境下的停留时间，从而确保TEM试片检测的准确性。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种放置TEM试片用移动式真空箱，包括底座、设于底座下部的万向轮、用于制动万向轮的制动组件、真空泵、箱体和用于带动箱体上下移动的驱动组件，其中驱动组件与底座固定连接，所述箱体内设有连通真空泵的真空腔室，所述箱体的侧壁设有用于拿放TEM试片的取样口和启闭取样口的封闭门。采用上述技术方案，将当聚焦式离子束(FIB)或手动研磨薄化TEM试片后，立即将TEM试片通过取样口放入真空腔室内，关上封闭门启动真空泵抽取真空腔室内的空气，从而使TEM试片处于真空状态，然后移动真空箱至透射电镜处，通过制动组件使整体装置停止移动，然后启动驱动组件使箱体上升至尽可能靠近透射电镜的水平位置，然后取出TEM试片放入透射电镜进行检测；通过将TEM试片放置于可移动式的真空腔室，既减少TEM试片的含金层快速氧化或扩散，又实现处于真空状态下的TEM试片在不同设备之间的输送，尽可能缩短TEM试片在大气环境中的停留时间，从而确保TEM试片检测的准确性。本技术进一步设置为：所述驱动组件包括支撑板和至少一个液压缸，所述支撑板的上端面与所述箱体的下端固定连接，所述液压缸的缸体与所述底座固定连接，所述液压缸的活塞杆竖直向上且液压缸的活塞杆一端与所述支撑板的下部固定连接。采用上述技术方案，通过液压缸的进给回退可以实现支撑板的上升下降，从而实现带动箱体的上下移动。本技术进一步设置为：所述液压缸设置为四个，且各所述液压缸沿真空腔室的周向等距排布。采用上述技术方案，可以使箱体的上下移动更加稳定。本技术进一步设置为：所述制动组件包括连杆一、连杆二、固定于连杆一一端的制动杆和固定于制动杆一端的制动片，其中连杆二的一端与所述底座上端面固定连接，连杆二的另一端与连杆一的中端铰接，所述制动片随连杆一转动的移动路径上抵触于所述万向轮的轮体，所述连杆一与所述底座之间固定连接有迫使所述制动片远离所述万向轮的弹簧。采用上述技术方案，通过上提或下压连杆一的自由端，带动制动片移动并抵触于万向轮，从而实现对万向轮的制动，从而固定真空箱与透射电镜之间的相对位置，以避免拿取TEM试片时的晃动。本技术进一步设置为：所述支撑板的下部竖直向下固定有至少一个固定条，连杆一远离制动杆的一端固定有抵触于所述固定条侧壁的滑块，所述固定条的侧壁开设有供所述滑块上下滑移的滑槽，所述滑块为圆柱状且所述滑块的半径大于所述滑槽的深度。采用上述技术方案，将真空箱移动至指定位置时，启动液压缸带动支撑板上移，固定条上移过程，滑块则相对固定条向下滑移，滑块先于滑槽内滑移，然后滑块的下部抵触于滑槽的侧壁棱边，该抵触力迫使滑块脱离滑槽，而滑块因连杆一受弹簧力作用而始终抵触于固定条侧壁上，此过程中，连杆一的一端向上偏转一定的角度，则连杆一的另一端向下偏移，则带动那端的制动片下移抵触于万向轮的轮体上，从而实现制动；通过滑块与固定条之间的配合，从而实现驱动组件与制动组件的联动，在抬升箱体的同时完成对整体装置的制动，提供操作安全性，从而提高操作的便捷性。本技术进一步设置为：所述滑块的外周壁开设有环形的凹槽，所述固定条的侧壁开设有嵌接于凹槽的凸起，所述凸起的上端低于所述滑槽的最低处。采用上述技术方案，当滑块抵触于固定条侧壁时，凸起和凹槽的配合可以确保滑块不会相对固定条宽度方向滑动，提高滑块与固定条之间的连接稳定性。本技术进一步设置为：所述底座上表面的一侧设有把手。采用上述技术方案，便于对真空箱进行移动操作。本技术进一步设置为：所述真空泵固定于所述支撑板上端面，且真空泵相对箱体靠近所述把手。采用上述技术方案，实现整体装置的重心靠近把手处，从而便于对真空箱进行移动操作。综上所述，本技术具有以下有益效果：1、通过将TEM试片放置于可移动式的真空腔室，既减少TEM试片的含金层快速氧化或扩散，又实现处于真空状态下的TEM试片在不同设备之间的输送，尽可能缩短TEM试片在大气环境中的停留时间，从而确保TEM试片检测的准确性；2、通过滑块与固定条之间的配合，从而实现驱动组件与制动组件的联动，在抬升箱体的同时完成对整体装置的制动，提供操作安全性，从而提高操作的便捷性。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是图1中A处的局部放大图。图中，1、底座；2、万向轮；3、制动组件；4、真空泵；5、箱体；6、驱动组件；7、固定条；8、把手；31、连杆一；32、连杆二；33、制动杆；34、制动片；35、弹簧；36、滑块；37、凹槽；51、真空腔室；52、取样口；53、封闭门；61、支撑板；62、液压缸；71、滑槽；72、凸起。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。一种放置TEM试片用移动式真空箱，如图1所示，包括底座1、设于底座1下部的万向轮2、用于制动万向轮2的制动组件3、真空泵4、箱体5和用于带动箱体5上下移动的驱动组件6，其中底座1上表面的一侧设有把手8，驱动组件6与底座1固定连接，箱体5内设有连通真空泵4的真空腔室51，箱体5的侧壁设有用于拿放TEM试片的取样口52和启闭取样口52的封闭门53。如图1所示，驱动组件6包括支撑板61和四个液压缸62，其中液压缸62的缸体与底座1固定连接，四个液压缸62沿真空腔室51的周向等距排布；液压缸62的活塞杆竖直向上，且液压缸62的活塞杆一端与支撑板61的下部固定连接，支撑板61的上端面与箱体5的下端固定连接，真空泵4固定于支撑板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放置TEM试片用移动式真空箱，其特征是：包括底座(1)、设于底座(1)下部的万向轮(2)、用于制动万向轮(2)的制动组件(3)、真空泵(4)、箱体(5)和用于带动箱体(5)上下移动的驱动组件(6)，其中驱动组件(6)与底座(1)固定连接，所述箱体(5)内设有连通真空泵(4)的真空腔室(51)，所述箱体(5)的侧壁设有用于拿放TEM试片的取样口(52)和启闭取样口(52)的封闭门(53)。/n

【技术特征摘要】
1.一种放置TEM试片用移动式真空箱，其特征是：包括底座(1)、设于底座(1)下部的万向轮(2)、用于制动万向轮(2)的制动组件(3)、真空泵(4)、箱体(5)和用于带动箱体(5)上下移动的驱动组件(6)，其中驱动组件(6)与底座(1)固定连接，所述箱体(5)内设有连通真空泵(4)的真空腔室(51)，所述箱体(5)的侧壁设有用于拿放TEM试片的取样口(52)和启闭取样口(52)的封闭门(53)。


2.根据权利要求1所述的放置TEM试片用移动式真空箱，其特征是：所述驱动组件(6)包括支撑板(61)和至少一个液压缸(62)，所述支撑板(61)的上端面与所述箱体(5)的下端固定连接，所述液压缸(62)的缸体与所述底座(1)固定连接，所述液压缸(62)的活塞杆竖直向上且液压缸(62)的活塞杆一端与所述支撑板(61)的下部固定连接。


3.根据权利要求2所述的放置TEM试片用移动式真空箱，其特征是：所述液压缸(62)设置为四个，且各所述液压缸(62)沿真空腔室(51)的周向等距排布。


4.根据权利要求2或3所述的放置TEM试片用移动式真空箱，其特征是：所述制动组件(3)包括连杆一(31)、连杆二(32)、固定于连杆一(31)一端的制动杆(33)和固定于制动杆(33)一端的制动片(34)，其中连杆二(32)的一端与所述底座(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡荣志，黄丞佑，
申请(专利权)人：闳康技术检测上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31