一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，涉及磁控电源技术领域，包括电源箱，电源箱的内部底面固定连接有导轨，导轨的上表面两端均滑动连接有滑块，滑块的顶部固定连接有电源总成，电源总成的一端固定连接有支撑块，电源总成的另一端固定连接有操作面板，操作面板远离电源总成的一侧固定连接有手把，电源箱远离手把的一侧表面开设有通孔。该非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，通过采用磁吸的方式，改变传统数据插接口的连接方式，使数据插接口工作更加稳定，拆装更加方便，通过箱体与导轨结合的方式，利用锁止机构代替传统螺丝，实现对箱体的快速拆装，使维修和安装更加方便快捷，提高了维修和安装的工作效率。

A fast disassembling structure of asymmetrical bipolar pulsed magnetron sputtering power supply

【技术实现步骤摘要】
一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构
本技术涉及磁控电源
，具体为一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构。
技术介绍
脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，双极性脉冲输出，正反脉冲宽度互补调节，中频建设电源以连个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率，从而控制两种不同材质靶材的溅射比例，用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。目前，现有的非对称双极脉冲磁控溅射电源箱体用螺丝进行组装，螺丝数量较多，这样使得安装和维修时比较麻烦，浪费工作时间，拆装效率较低，而且在拧生锈螺丝时有可能会损坏安装座，使用不便，不利于推广使用。因此，提出一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
（一）解决的技术问题本技术的目的在于提供一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的非对称双极脉冲磁控溅射电源箱体拆装不方便，维修和安装工作效率低的问题。（二）技术方案为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，包括电源箱，所述电源箱的内部底面固定连接有导轨，所述导轨的上表面两端均滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有电源总成，所述电源总成的一端固定连接有支撑块，所述电源总成的另一端固定连接有操作面板，所述操作面板远离电源总成的一侧固定连接有手把，所述电源箱远离手把的一侧表面开设有通孔，所述支撑块远离电源总成的一侧固定连接有固定板，所述固定板的表面开设有限位孔，所述通孔的内部活动连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有卡块，所述转轴的另一端固定连接有挡片，所述挡片的表面固定连接有旋转块，所述转轴的表面套接有螺旋弹簧，所述固定板的侧面固定连接有数据接口，所述数据接口的表面活动连接有螺帽，所述螺帽的一侧固定连接有柱状磁铁，所述数据接口的内部活动连接有插针，所述插针的一端固定连接有数据插口，所述数据插口的表面套接有环形磁铁，所述数据插口远离插针的一侧固定连接有数据传输线。优选的，所述导轨有两条，所述滑块的底面与导轨相适配。优选的，所述螺旋弹簧的一端与挡片固定连接，所述螺旋弹簧的直径大于通孔的孔径。优选的，所述转轴贯穿通孔和限位孔。优选的，所述通孔有四个，四个所述通孔在电源箱的后底面呈矩形排列，所述限位孔有四个，四个限位孔的位置均与通孔相对应，所述通孔与限位孔均为长方形孔且大小一致。优选的，所述卡块为长方形，所述卡块与限位孔相适配。优选的，所述数据接口的表面开设有螺纹，所述螺帽与数据接口的表面螺纹相适配，所述柱状磁铁套接在数据接口的表面。（三）有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，具备以下有益效果：1、该非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，通过采用磁吸的方式，改变传统数据插接口的连接方式，使数据插接口工作更加稳定，拆装更加方便。2、该非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，箱体与导轨结合的方式，利用锁止机构代替传统螺丝，实现对箱体的快速拆装，使维修和安装更加方便快捷，提高了维修和安装的工作效率。附图说明图1为本技术结构的示意图；图2为本技术结构的剖面示意图；图3为本技术锁止结构的示意图；图4为本技术数据插接口结构的示意图。图中：1、电源箱；2、手把；3、导轨；4、滑块；5、操作面板；6、电源总成；7、通孔；8、固定板；9、限位孔；10、转轴；11、卡块；12、旋转块；13、挡片；14、螺旋弹簧；15、支撑块；16、数据接口；17、螺帽；18、柱状磁铁；19、数据插口；20、环形磁铁；21、数据传输线；22、插针。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4所示，一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，包括电源箱1，电源箱1的内部底面固定连接有导轨3，导轨3的上表面两端均滑动连接有滑块4，导轨3有两条，滑块4的底面与导轨3相适配，通过两者滑动连接，拆卸电源总成6时，电源总成6可从导轨3滑出电源箱1，方便而且省力，滑块4的顶部固定连接有电源总成6，电源总成6的一端固定连接有支撑块15，电源总成6的另一端固定连接有操作面板5，操作面板5远离电源总成6的一侧固定连接有手把2，通过手把2的设置，使电源总成6拿出时更加方便高效，同时有利于电源箱1的搬运，电源箱1远离手把2的一侧表面开设有通孔7，支撑块15远离电源总成6的一侧固定连接有固定板8，固定板8的表面开设有限位孔9，通孔7有四个，四个通孔7在电源箱1的后底面呈矩形排列，限位孔9有四个，四个限位孔9的位置均与通孔7相对应，通孔7与限位孔9均为长方形孔且大小一致，方便转轴10通过，减少通过时的阻力，通孔7的内部活动连接有转轴10，转轴10的一端固定连接有卡块11，卡块11为长方形，卡块11与限位孔9相适配，通过旋转转轴10带动卡块11，完成或松开对电源总成6的约束，转轴10的另一端固定连接有挡片13，挡片13的表面固定连接有旋转块12，转轴10的表面套接有螺旋弹簧14，转轴10贯穿通孔7和限位孔9，螺旋弹簧14的一端与挡片13固定连接，螺旋弹簧14的直径大于通孔7的孔径，通过螺旋弹簧14的弹力，使电源总成6牢牢的固定在电源箱1的内部，利用锁止机构代替传统螺丝，实现对箱体的快速拆装，使维修和安装更加方便快捷，提高了维修和安装的工作效率，固定板8的侧面固定连接有数据接口16，数据接口16的表面活动连接有螺帽17，螺帽17的一侧固定连接有柱状磁铁18，数据接口16的表面开设有螺纹，螺帽17与数据接口16的表面螺纹相适配，柱状磁铁18套接在数据接口16的表面，拆卸电源总成6时，只需将螺帽17取下，数据接口16即可从通孔7中拔出，方便快捷，数据接口16的内部活动连接有插针22，插针22的一端固定连接有数据插口19，数据插口19的表面套接有环形磁铁20，通过采用磁吸的方式，改变传统数据插接口的连接方式，使数据插接口工作更加稳定，拆装更加方便，数据插口19远离插针22的一侧固定连接有数据传输线21。工作原理：拆卸电源箱1时，先拔下数据插口19，转动螺帽17，螺帽17带动柱状磁铁18转动，螺帽17和柱状磁铁18一起被卸下，然后转动旋转块12，旋转块12带动挡片13，挡片13带动转轴10旋转，转轴10带动卡块11，卡块11旋转并摆脱固定板8的约束，在螺旋弹簧14的弹力作用下，从限位孔9和通孔7中弹出，随后依次取下剩余三个锁止机构，拉动手把2，手把2带动操作面板5，操作面板5带动电源总成6，电源总成6带动支撑块15和固定板8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，包括电源箱（1），其特征在于：所述电源箱（1）的内部底面固定连接有导轨（3），所述导轨（3）的上表面两端均滑动连接有滑块（4），所述滑块（4）的顶部固定连接有电源总成（6），所述电源总成（6）的一端固定连接有支撑块（15），所述电源总成（6）的另一端固定连接有操作面板（5），所述操作面板（5）远离电源总成（6）的一侧固定连接有手把（2），所述电源箱（1）远离手把（2）的一侧表面开设有通孔（7），所述支撑块（15）远离电源总成（6）的一侧固定连接有固定板（8），所述固定板（8）的表面开设有限位孔（9），所述通孔（7）的内部活动连接有转轴（10），所述转轴（10）的一端固定连接有卡块（11），所述转轴（10）的另一端固定连接有挡片（13），所述挡片（13）的表面固定连接有旋转块（12），所述转轴（10）的表面套接有螺旋弹簧（14），所述固定板（8）的侧面固定连接有数据接口（16），所述数据接口（16）的表面活动连接有螺帽（17），所述螺帽（17）的一侧固定连接有柱状磁铁（18），所述数据接口（16）的内部活动连接有插针（22），所述插针（22）的一端固定连接有数据插口（19），所述数据插口（19）的表面套接有环形磁铁（20），所述数据插口（19）远离插针（22）的一侧固定连接有数据传输线（21）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种非对称双极脉冲磁控溅射电源快速拆装结构，包括电源箱（1），其特征在于：所述电源箱（1）的内部底面固定连接有导轨（3），所述导轨（3）的上表面两端均滑动连接有滑块（4），所述滑块（4）的顶部固定连接有电源总成（6），所述电源总成（6）的一端固定连接有支撑块（15），所述电源总成（6）的另一端固定连接有操作面板（5），所述操作面板（5）远离电源总成（6）的一侧固定连接有手把（2），所述电源箱（1）远离手把（2）的一侧表面开设有通孔（7），所述支撑块（15）远离电源总成（6）的一侧固定连接有固定板（8），所述固定板（8）的表面开设有限位孔（9），所述通孔（7）的内部活动连接有转轴（10），所述转轴（10）的一端固定连接有卡块（11），所述转轴（10）的另一端固定连接有挡片（13），所述挡片（13）的表面固定连接有旋转块（12），所述转轴（10）的表面套接有螺旋弹簧（14），所述固定板（8）的侧面固定连接有数据接口（16），所述数据接口（16）的表面活动连接有螺帽（17），所述螺帽（17）的一侧固定连接有柱状磁铁（18），所述数据接口（16）的内部活动连接有插针（22），所述插针（22）的一端固定连接有数据插口（19），所述数据插口（19）的表面套接有环形磁铁（20），所述数据插口（19）远离插针（22）的一侧固定连接有数据传输线（21）。


2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志鹏，范玮力，
申请(专利权)人：四川省海创电气有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川;51