一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，包括基台，所述试验台还包括样品座和可将样品座限位安装于基台斜面上的限位安装结构，所述样品座上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。该试验台可稳固固定大尺寸、较重试样在样品台上，不会出现试验过程中试样滑移，导致最终图像漂移。

A test bed for EBSD of SEM

【技术实现步骤摘要】
一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台
本技术属于扫描电镜
，具体涉及一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台。
技术介绍
扫描电镜是一种观察材料表面微观形貌的电子显微镜。近年来EBSD作为电镜的重要配件之一，在扫描电镜领域应用越来越广泛。电子背散射衍射(简称EBSD)技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出的衍射菊池带的分析确定晶体结构、取向及其相关信息的方法。EBSD与扫描电镜、能谱仪配合使用，可用于研究材料的基本性能及特征，如：织构、晶粒尺寸、相分析、相鉴定、晶界、变形及应变。EBSD作为目前常用的材料表征手段，测试过程中样品在垂直方向要倾斜70°，而且要求样品在水平方向不能倾斜。目前商用EBSD样品台，对于轻薄小样品适用，将样品用导电胶(或银胶)粘贴在样品台上,使样品水平方向尽量与探头平行即可。对于大尺寸、较重的镶嵌样品，如采用传统的固定方式，样品台垂直方向倾斜70°，在重力作用下，样品在测试过程中容易发生滑动，使原来设定好检测区域发生改变，导致图片发生偏折，使试验结果不准确甚至失败。
技术实现思路
本技术旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本技术提供一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，目的是便于对测试样品进行定位，避免在重力作用下出现移动。为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，包括基台，所述试验台还包括样品座和可将样品座限位安装于基台斜面上的限位安装结构，所述样品座上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。所述定位紧固机构包括设于样品座上端面边侧的第一定位块和第二定位块，所述第二定位块设有螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将样品固定于样品座上。所述样品座为圆形，所述第一定位块与第二定位块均为圆弧形定位挡块。所述第一定位块为一个，第二定位块为两个，两个第二定位块与一个第一定位块形成三点固定结构。所述两个第二定位块之间的连线平分样品座的上端面，且第一定位块位于两个第二定位块之间连线的垂直平分线上。所述限位安装结构包括螺栓、基台腿、样品座腿和设于基台斜面且垂直于基台斜面方向上的定位孔，所述样品座腿与定位孔定位连接。所述限位安装结构还包括设于基台侧面的螺栓孔，通过螺栓穿过螺栓孔对安装入定位孔内的样品座腿进行定位。本技术的有益效果：一、可稳固固定大尺寸、较重试样在样品台上，不会出现试验过程中试样滑移，导致最终图像漂移；二、基台稳固，头部可固定不同形状的样品座，如大尺寸较重的圆形镶嵌样品的样品座。样品座的三处圆弧形定位档块设计，可防止样品下滑，三点夹持样品更稳固。可以很好的解决了传统胶粘方法难以控制样品水平度及垂直度的问题。附图说明本说明书包括以下附图，所示内容分别是：图1是本技术基台的结构示意图；图2是本技术样品座的结构示意图；图3是基台与样品座装配后的结构示意图。图中标记为：1、基台，2、样品座，3、第一定位块，4、第二定位块，5、基台腿，6、样品座腿，7、定位孔，8、螺栓孔。具体实施方式下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本技术的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对技术的限制。在下述的实施方式中，所述的“第一”、“第二”和“第三”并不代表结构和/或功能上的绝对区分关系，也不代表先后的执行顺序，而仅仅是为了描述的方便。如图1至图3所示，一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，包括基台1，该试验台还包括样品座2和可将样品座2限位安装于基台1斜面上的限位安装结构，基台的斜面与底面之间的夹角为70°，样品座2上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。定位紧固机构包括设于样品座2上端面边侧的第一定位块3和第二定位块4，第二定位块4设有螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将样品固定于样品座2上。具体而言，第一定位块作为防滑定位块，第二定位块作为固定用定位块，第一定位块与第二定位块配合形成对样品的定位及紧固作用，避免样品发生滑动偏移。样品座2优选为圆形，第一定位块3与第二定位块4均为圆弧形定位挡块。具体设置时，第一定位块3为一个，第二定位块4为两个，两个第二定位块4与一个第一定位块3形成三点固定结构，增加样品的稳固定位效果。作为优选的，两个第二定位块4之间的连线平分样品座2的上端面，且第一定位块3位于两个第二定位块4之间连线的垂直平分线上。限位安装结构包括螺栓、基台腿5、样品座腿6和设于基台斜面且垂直于基台斜面方向上的定位孔7，样品座腿6与定位孔7定位连接。为了进一步保证基台与样品座装配后的稳固性，上述限位安装结构还包括设于基台侧面的螺栓孔8，通过螺栓穿过螺栓孔对安装入定位孔内的样品座腿进行定位。具体实施时，基台是70度预倾的EBSD样品台，直径15mm，高度30mm，头部70°斜面中部有定位孔可插入一个圆形样品座，侧面钻孔可上螺栓牢固固定样品座，基台腿长为8mm，可插在电镜样品台上，基台结构附图中的图1。基台材质为铜。样品座设计为可固定试样的。样品座可以根据试样形状来灵活设计。如设计的适合于镶嵌样品的圆形样品座，内径为30mm，外径为36mm，三处圆弧形定位档块，尺寸为长10mm×高10mm，间隔90度，一个第一定位块防止样品下滑，左右对称的第二定位块各有一螺钉孔可以用螺丝固定样品,三点式使样品固定更牢固，样品座腿长8mm，可以插入基台的头部70°斜面上。见附图中的图2。样品座材质为铝。将样品用螺丝固定在样品座上，再将样品座插在基台头部70°斜面上，并用螺丝固定，装配完成后，将基台固定在电镜样品台上即可进行EBSD试验。本技术着重解决大尺寸较重的圆形镶嵌样品的EBSD测试，还可以设计其他形状的样品座，用于其他形状试样的EBSD检测。样品台造价低廉，制作方便，操作简单，适用性强。以上结合附图对本技术进行了示例性描述。显然，本技术具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本技术的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，包括基台，其特征在于，所述试验台还包括样品座和可将样品座限位安装于基台斜面上的限位安装结构，所述样品座上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，包括基台，其特征在于，所述试验台还包括样品座和可将样品座限位安装于基台斜面上的限位安装结构，所述样品座上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。


2.根据权利要求1所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，其特征在于，所述定位紧固机构包括设于样品座上端面边侧的第一定位块和第二定位块，所述第二定位块设有螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将样品固定于样品座上。


3.根据权利要求2所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，其特征在于，所述样品座为圆形，所述第一定位块与第二定位块均为圆弧形定位挡块。


4.根据权利要求2或3所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台，其特征在于，所述第一定...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦红，方政，刘敏，刘志军，
申请(专利权)人：马鞍山钢铁股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34