一种固持装置，适用于固持晶圆，并包含承载盘及多个支臂单元。承载盘适用于承载并吸附晶圆，并能以中心轴为轴心旋转。支臂单元连接于承载盘并与承载盘连动。每个支臂单元包括轨道架、传动模块及限位模块。轨道架连接于承载盘周缘并界定出轨道空间。传动模块设置于轨道空间，并具有可受承载盘旋转时产生的离心力牵引而朝远离中心轴的方向移动的传动件。限位模块连接于传动模块与轨道架，并具有可受传动件带动而往接近或远离中心轴方向转动的限位机构，限位机构具有用于容置晶圆的侧缘的卡扣槽，卡扣槽对接于晶圆的外周缘，防止晶圆飞脱离承载盘，并降低晶圆表面产生裂痕或受损的风险。
Holding device
【技术实现步骤摘要】
固持装置
本专利技术涉及一种固持装置，特别是涉及一种晶圆的固持装置。
技术介绍
参阅图1与图2，现有晶圆的微影制程中，会通过承载装置8带动晶圆9旋转进行光阻涂布、显影、光阻去除和蚀刻等制程。承载装置8包括一真空吸盘81，及多个设置于真空吸盘81周缘的限位机构82。真空吸盘81用于吸附晶圆9。各限位机构82具有一重锤821及一压制件822。所述重锤821垂吊于所述真空吸盘81周侧，所述压制件822连接于所述重锤821且可相对于所述真空吸盘81枢转。在真空吸盘81旋转的过程中，所述重锤821受所述真空吸盘81旋转时产生的离心力带动而朝斜上方偏移，以连动所述压制件822扣压于所述晶圆9顶面，达到晶圆9定位的效果。然而，以重锤821来带动压制件822定位晶圆9，较难以控制压制件822下压的应力，容易因为真空吸盘81旋转时需要猛烈加速，重锤821才能大幅度偏摆，却也造成压制件822瞬间下压于晶圆9的顶面，容易于晶圆9表面产生裂痕或受损。
技术实现思路
本专利技术之其中一目的在于提供一种能减少对晶圆伤害的固持装置。本专利技术的固持装置在一些实施态样中，适用于固持晶圆，所述晶圆具有位于相反侧的顶面与底面，及连接于所述顶面与所述底面的外侧面。所述固持装置包含承载盘，及多个支臂单元。所述承载盘适用于承载并吸附所述晶圆的所述底面，并能以中心轴为轴心旋转。所述支臂单元间隔分布地连接于所述承载盘周缘并与所述承载盘连动，且与所述承载盘共同界定与所述晶圆尺寸相对应的晶圆置放区。所述支臂单元适用于在所述承载盘旋转时共同将所述晶圆限位于所述承载盘上。每个支臂单元包括轨道架、传动模块及限位模块。所述轨道架连接于所述承载盘周缘并朝远离所述中心轴的方向在所述承载盘的径向延伸，所述轨道架界定出轨道空间。所述传动模块设置于所述轨道空间，并具有受所述承载盘旋转时产生的离心力牵引而朝远离所述中心轴的方向移动的传动件。所述限位模块连接于所述传动模块与所述轨道架，并具有受所述传动件带动而往接近或远离所述中心轴方向转动的限位机构。所述限位机构具有用于容置所述晶圆的侧缘的卡扣槽，且所述限位机构受所述传动件带动而在常态位置及固持位置间转动，当所述限位机构位于所述常态位置，所述卡扣槽离开所述晶圆置放区，而当所述限位机构转动至所述固持位置，所述卡扣槽进入所述晶圆置放区以容置所述晶圆的侧缘。在一些实施态样中，每个传动件具有板体，及形成于所述板体表面的齿状部，每个限位机构还具有对应啮合于所述齿状部的齿状结构。在一些实施态样中，所述齿状结构为齿轮，每个限位模块还具有连接于所述轨道架的端框件，及两端枢设于所述端框件的枢轴，每个限位机构还具有限位件，所述限位件具有所述卡扣槽，所述齿状结构与所述限位件套设于所述枢轴。在一些实施态样中，每个支臂单元的所述轨道架具有侧壁部，所述侧壁部具有与所述轨道架同向延伸呈长条形的限位槽，每个支臂单元的所述传动模块还具有连接于所述传动件并穿过所述限位槽的限位杆，所述限位杆的移动范围受限于所述限位槽，进而限制所述传动件的移动距离。在一些实施态样中，每个支臂单元的所述轨道架具有相对的底壁部与顶壁部，所述底壁部具有面向所述顶壁部的第一导槽，所述顶壁部具有面向所述底壁部的第二导槽，每个支臂单元的所述传动模块还具有多个连接于所述传动件且能在所述第一导槽与所述第二导槽中滚动的导轮。在一些实施态样中，每个支臂单元还包括连接于所述轨道架及所述传动件以提供所述传动件恒朝向所述中心轴的弹性回复力的复位模块。在一些实施态样中，所述复位模块具有连接于所述轨道架的固定件、连接于所述传动件的连接件，及两端分别抵接于所述固定件与所述连接件以提供所述传动件恒朝向所述中心轴的弹性回复力的弹性件。本专利技术的有益的效果在于：通过承载盘绕中心轴旋转时产生的离心力带动传动件在轨道空间中朝远离所述中心轴的方向移动，同时传动件带动限位机构往靠近所述中心轴的方向旋转，使所述限位机构的卡扣槽对接于所述晶圆的外周缘，防止晶圆飞脱离承载盘，并降低晶圆表面产生裂痕或受损的风险。附图说明本专利技术之其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是现有的晶圆承载装置的一示意图；图2是一示意图，说明现有的晶圆承载装置旋转时，所述晶圆承载装置的一压制件容易瞬间下压于晶圆表面，造成晶圆受损；图3是本专利技术固持装置的一实施例的一立体图；图4是所述实施例夹持一晶圆的一侧视图，；图5是图4的一局部放大图，说明所述实施例的一支臂单元；图6是图5的一立体分解图；图7是所述支臂单元的一侧视示意图，说明所述支臂单元的一限位机构位于一常态位置；图8是一侧视示意图，说明晶圆在其他的实施态样中也可能因为封装制程后具有翘曲的周缘；及图9是所述支臂单元的一侧视示意图，说明所述限位机构位于一固持位置。具体实施方式参阅图3与图4，本专利技术固持装置100之一实施例，适用于固持一晶圆9，并带动所述晶圆9旋转进行光阻涂布、显影、光阻去除和蚀刻等制程。所述晶圆9具有位于相反侧的一顶面91与一底面92，及一连接于所述顶面91与所述底面92的外侧面93。于本实施例中，所述晶圆9是以平整的外观为例说明，但并不以此外观的晶圆9为限，也可以是周缘呈些微翘曲的晶圆9。所述固持装置100包含一承载盘1，及四个支臂单元2。所述承载盘1适用于承载并吸附所述晶圆9的所述底面92，并能以一中心轴C1为轴心旋转。详细的说，所述承载盘1包括一盘体11、一连接于所述盘体11底侧的转轴12，及一沿所述中心轴C1贯穿所述盘体11与所述转轴12的吸气通道13。所述盘体11外观呈圆形并以所述中心轴C1为圆心。所述盘体11适用于供所述晶圆9置放，并具有多个呈同心圆状地自顶侧下凹而成的第一沟槽111，及一呈十字状并交叉于所述盘体11的圆心的第二沟槽112。所述第一沟槽111、所述第二沟槽112与所述吸气通道13相连通。所述转轴12适用于连接一驱动装置(未图示)及一真空泵(未图示)。所述驱动装置能驱动所述转轴12转动，进而带动盘体11绕所述中心轴C1旋转。所述真空泵能产生一吸力使所述晶圆9的所述底面92与所述盘体11之间的气体同时经由所述第一沟槽111、所述第二沟槽112导入所述吸气通道13，再使气体从吸气通道13导出至所述真空泵，达到所述承载盘1真空吸附所述晶圆9的功效。通过所述第一沟槽111与所述第二沟槽112的设计，增加所述晶圆9的所述底面92被吸附的面积，加强真空吸附的效果。所述支臂单元2等距间隔分布地连接于所述承载盘1周缘并与所述承载盘1连动，且与所述承载盘1的盘体11共同界定一与所述晶圆9尺寸相对应的晶圆置放区3。所述支臂单元2适用于在所述承载盘1旋转时共同夹持所述晶圆9，以将所述晶圆9限位于所述承载盘1上，防止所述晶圆9飞脱离所述承载盘1。另配合参阅图5与图6，详细的说，每个支臂单元2包括一轨道架4、一传动模块5、一限位模块6，及一复位模块7。所述轨道架4连接于所述承载盘1周缘并朝远离所述中心轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固持装置，适用于固持晶圆，所述晶圆具有位于相反侧的顶面与底面，及连接于所述顶面与所述底面的外侧面，其特征在于：所述固持装置包含：/n承载盘，适用于承载并吸附所述晶圆的所述底面，并能以中心轴为轴心旋转；及/n多个支臂单元，间隔分布地连接于所述承载盘周缘并与所述承载盘连动，且与所述承载盘共同界定与所述晶圆尺寸相对应的晶圆置放区，所述支臂单元适用于在所述承载盘旋转时共同将所述晶圆限位于所述承载盘上，每个支臂单元包括/n轨道架，连接于所述承载盘周缘并朝远离所述中心轴的方向在所述承载盘的径向延伸，所述轨道架界定出轨道空间；/n传动模块，设置于所述轨道空间，并具有受所述承载盘旋转时产生的离心力牵引而朝远离所述中心轴的方向移动的传动件；及/n限位模块，连接于所述传动模块与所述轨道架，并具有受所述传动件带动而往接近或远离所述中心轴方向转动的限位机构，所述限位机构具有用于容置所述晶圆的侧缘的卡扣槽，且所述限位机构受所述传动件带动而在常态位置及固持位置间转动，当所述限位机构位于所述常态位置，所述卡扣槽离开所述晶圆置放区，而当所述限位机构转动至所述固持位置，所述卡扣槽进入所述晶圆置放区以容置所述晶圆的侧缘。/n...
【技术特征摘要】
1.一种固持装置，适用于固持晶圆，所述晶圆具有位于相反侧的顶面与底面，及连接于所述顶面与所述底面的外侧面，其特征在于：所述固持装置包含：
承载盘，适用于承载并吸附所述晶圆的所述底面，并能以中心轴为轴心旋转；及
多个支臂单元，间隔分布地连接于所述承载盘周缘并与所述承载盘连动，且与所述承载盘共同界定与所述晶圆尺寸相对应的晶圆置放区，所述支臂单元适用于在所述承载盘旋转时共同将所述晶圆限位于所述承载盘上，每个支臂单元包括
轨道架，连接于所述承载盘周缘并朝远离所述中心轴的方向在所述承载盘的径向延伸，所述轨道架界定出轨道空间；
传动模块，设置于所述轨道空间，并具有受所述承载盘旋转时产生的离心力牵引而朝远离所述中心轴的方向移动的传动件；及
限位模块，连接于所述传动模块与所述轨道架，并具有受所述传动件带动而往接近或远离所述中心轴方向转动的限位机构，所述限位机构具有用于容置所述晶圆的侧缘的卡扣槽，且所述限位机构受所述传动件带动而在常态位置及固持位置间转动，当所述限位机构位于所述常态位置，所述卡扣槽离开所述晶圆置放区，而当所述限位机构转动至所述固持位置，所述卡扣槽进入所述晶圆置放区以容置所述晶圆的侧缘。
2.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于：每个传动件具有板体，及形成于所述板体表面的齿状部，每个限位机构还具有一对应啮合于所述齿状部的齿状结构。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓志明，
申请(专利权)人：亿力鑫系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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