压力传感器以及具有压力传感器的移动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压力传感器以及具有压力传感器的移动装置，抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度的下降。本压力传感器的特征在于，具有：检测压力变化的检测元件、以及收纳所述检测元件且具有第一贯通孔与第二贯通孔的盖部件，所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置。

Pressure sensor and mobile device with pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器以及具有压力传感器的移动装置
本专利技术涉及压力传感器以及具有压力传感器的移动装置。
技术介绍
检测压力的压力传感器已被应用。压力传感器具有检测压力变化的压力检测元件与保护压力检测元件的封装部件。在压力传感器的封装部件设有向封装部件的内部导入压力的导入孔，封装部件外部的气压经由导入孔被导入封装部件的内部，压力检测元件对导入的压力进行检测。例如，专利文献1已经公开一种半导体压力传感器，其具有压力检测元件、支承压力检测元件的基座、以及具有用于向压力检测元件导入被测量压力的导入孔且固定基座并收纳压力检测元件及基座的封装体，在将基座与封装体之间接合的粘接剂中混入了具有弹性的缓冲部件。专利文献1的半导体压力传感器能够利用混入有缓冲部件的粘接剂来吸收外力及形变，所以能够抑制向封装体施加了外力等的情况下的压力测量的精度下降。现有技术文献专利文献专利文献1：(日本)特开平10-325769号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题当在压力传感器中风经由导入孔而进入压力传感器内时，进入压力传感器内的风按压压力检测元件，或者压力传感器内的气压升高，由此，通过压力检测元件进行的压力的检测精度下降。本公开的技术的一个侧面的目的在于抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度的下降。用于解决技术问题的技术方案本公开的技术的一个侧面由如下的压力传感器来例示。本压力传感器的特征在于，具有：检测压力变化的检测元件、以及收纳所述检测元件且具有第一贯通孔与第二贯通孔的盖部件，所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置。本公开的技术的压力传感器是对从第一贯通孔及第二贯通孔的至少一方导入的外部压力进行检测的传感器。作为压力传感器测量目标的压力例如是盖部件周围的气压。第一贯通孔与第二贯通孔因为在正面观察下设置在与检测元件不重合的位置，所以，能够抑制由从第一贯通孔或第二贯通孔流入盖部件内部的风直接按压检测元件。从第一贯通孔及第二贯通孔的一方流入盖部件内部的风从第一贯通孔及第二贯通孔的另一方排出，所以，能够抑制盖部件内部的压力升高。其结果是，根据本公开的技术，能够抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度下降。此外，通过如上所述配置第一贯通孔及第二贯通孔，与在导入孔的正面观察下和检测元件重合的区域设有导入孔的压力传感器相比，能够减少由污垢及灰尘等例示的尘土附着于检测元件。因此，根据本公开的技术，能够抑制因尘土的附着而引起的压力的错误检测。本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔相互正对而配置。根据上述技术，因为第一贯通孔及第二贯通孔的另一方位于从第一贯通孔及第二贯通孔一方流入压力传感器内的风的行进方向前方，所以，能够容易地将流入的风从第一贯通孔及第二贯通孔的另一方排出。本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述盖部件具有将所述盖部件的内部划分为第一室与第二室且具有连通所述第一室与所述第二室的连通孔的壁部，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔设置在所述盖部件之中的所述第二室，所述检测元件收纳在所述第一室。连通孔可以为设置在壁部的孔，也可以为壁部与盖内壁的间隙。因为能够由壁部阻挡经由第一贯通孔或第二贯通孔流入第二室的风流入第一室，所以能够抑制设有检测元件的第一室内部的压力升高。本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述第一贯通孔的开口面的法线与所述连通孔的开口面的法线相互正交，并且所述第二贯通孔的开口面的法线与所述连通孔的开口面的法线也相互正交。因为第一贯通孔、第二贯通孔及连通孔如上所述进行配置，所以，使从第一贯通孔或第二贯通孔流入的风的行进方向与经由连通孔而将第一室和第二室连结的方向正交，抑制从第一贯通孔或第二贯通孔流入的风流入第一室。本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述检测元件由具有导入孔的封装部件覆盖，所述盖部件将由所述盖部件覆盖的所述检测元件收纳在所述第一室。根据上述技术，通过另外由所述盖部件覆盖由具有导入孔的封装部件覆盖的检测元件，能够抑制因风流入压力传感器的内部而引起的检测精度下降。本公开的技术也可以应用在上述压力传感器、以及在压力传感器所具有的盖部件设有移动部件的移动装置中。移动装置的移动部件也可以为飞行部件。专利技术的效果本压力传感器能够抑制因风的影响而引起的检测误差。附图说明图1A是表示实施方式的压力传感器的外观的一个例子的第一图。图1B是表示实施方式的压力传感器的外观的一个例子的第二图。图1C是表示实施方式的压力传感器的外观的一个例子的第三图。图1D是表示实施方式的压力传感器的外观的一个例子的第四图。图2是图1A的A-A线剖视图的一个例子。图3是例示贯通孔与间隙的位置关系的图。图4是从上方观察比较例的压力传感器的图的一个例子。图5是图4的B-B线剖视图的一个例子。图6是例示在比较例的压力传感器中从导入孔流入压力传感器内部的风的图。图7是例示在实施方式的压力传感器中从贯通孔流入压力传感器内部的风的图。图8是表示第一变形例的压力传感器的一个例子的图。图9是表示第二变形例的压力传感器的一个例子的第一图。图10是表示第二变形例的压力传感器的一个例子的第二图。图11是图10的C-C线剖视图的一个例子。图12是表示将实施方式的压力传感器与流量传感器组合后的应用例的图。具体实施方式下面，参照附图，针对实施方式进行说明。如下所示的实施方式的结构为例示，本公开的技术不限于实施方式的结构。＜应用例＞应用例的压力传感器具有：检测压力的检测元件、以及覆盖检测元件地收纳且具有第一贯通孔与第二贯通孔的盖部件。检测元件例如具有隔膜，在施加了压力时以隔膜的位移为基础，来检测压力。盖部件保护检测元件以避免污垢及灰尘等的附着、碰撞等。盖部件例如由树脂或金属形成。应用例的压力传感器经由第一贯通孔、第二贯通孔，将盖部件外部的压力导入压力传感器的内部。第一贯通孔与第二贯通孔因为都在各自的正面观察下设置在与检测元件不重合的位置上，所以，即使风经由第一贯通孔或第二贯通孔而流入压力传感器的内部，也能够抑制由流入的风直接按压检测元件。另外，从第一贯通孔及第二贯通孔的一方流入压力传感器内部的风从第一贯通孔及第二贯通孔的另一方排出。因此，能够抑制因风的流入而使压力传感器内部的气压升高。即，能够减少压力传感器内部的压力与压力传感器周围的压力之差。因此，根据应用例的压力传感器，能够抑制风对压力的检测精度的影响。应用例的压力传感器的盖部件也可以具有壁部，其将盖部件的内部划分为收纳检测元件的收纳室、以及从外部导入压力的导入室两个。在壁部的一部分设有连通收纳室与导入室的连通孔。第一贯通孔与第二贯通孔也可以在盖部件的导入室侧相互正对地进行设置。通过由壁部划分为收纳室与导入室，能够抑制从第一贯通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具有：/n检测元件，其检测压力的变化；/n盖部件，其收纳所述检测元件，并具有第一贯通孔与第二贯通孔；/n所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171220 JP 2017-2439061.一种压力传感器，其特征在于，具有：
检测元件，其检测压力的变化；
盖部件，其收纳所述检测元件，并具有第一贯通孔与第二贯通孔；
所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置上。


2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述第一贯通孔与所述第二贯通孔相互正对而配置。


3.如权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述盖部件具有壁部，该壁部将所述盖部件的内部划分为第一室与第二室，并且具有连通所述第一室与所述第二室的连通孔，
所述第一贯通孔与所述第二贯通孔设置在所述盖部件之中的所述第二室，
所述检测元件收纳在...

【专利技术属性】
技术研发人员：糸山寿毅，安达佳孝，山本克行，森原大辅，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP