一种高精度的全自动专用去边机的控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，包括骨架包板、中转台总成和控制器，所述骨架包板的内部分别安装有水槽与HF槽，所述骨架包板的顶面内侧安装有机械手，所述骨架包板内部靠近HF槽的位置处安装有上料机器人，所述上料机器人的右上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有中转台总成，所述上料机器人的左上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有巡边仪。本发明专利技术通过内部设置喷淋系统，通过吸盘真空吸附硅片，吸盘保护住不需要腐蚀的背封膜部分，将硅片正面、倒角面以及背面边缘裸露部分通过喷淋氢氟酸进行腐蚀，通过DIW喷淋进行冲洗，从而有效提高了去边过程的精度。

The control system of a high precision full-automatic special edge remover

【技术实现步骤摘要】
一种高精度的全自动专用去边机的控制系统
本专利技术属于去边机
，具体涉及一种高精度的全自动专用去边机的控制系统。
技术介绍
目前，去边机广泛应用于金属加工中，是一种常规的加工装置，在计算机硬件生产领域也会用到去边机。传统的去边机在内部并未设置任何喷淋系统，工作中全是物理方法对工件进行去边处理，导致有些地方去边的较为粗糙，对于计算机领域的生产要求极其精准，而传统的去边机无法达到要求的去边精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，包括骨架包板、中转台总成和控制器，所述骨架包板的内部分别安装有水槽与HF槽，所述骨架包板的顶面内侧安装有机械手，所述骨架包板内部靠近HF槽的位置处安装有上料机器人，所述上料机器人的右上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有中转台总成，所述上料机器人的左上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有巡边仪，所述水槽的右侧位于骨架包板内部安装有下料机构，所述水槽的中部位置安装有环形喷淋歧管a，所述环形喷淋歧管a上方位于水槽的内部安装有环形喷淋歧管b，所述水槽的底部安装有喷头，所述中转台总成由吸盘、微调滑台固定板与中转台总成固定板组成，所述吸盘通过其一侧外壁上安装的吸盘连接板安装在微调滑台连接板的一侧外壁上，所述吸盘连接板与微调滑台连接板之间通过吸盘连接板固定螺钉连接，所述微调滑台连接板的一侧外壁上安装有微调滑台固定板，所述微调滑台固定板的一侧外壁上通过中转台总成固定板安装有支撑立板，所述支撑立板的右侧分别安装有支撑底板与支撑基板，所述吸盘的顶部分别安装有定位销与滑动销。优选的，所述水槽的顶部安装有槽盖。优选的，所述水槽的内壁上设置有挡水圈。优选的，所述喷头一侧位于水槽的底部安装有排水连接盒。优选的，所述滑动销安装有两个。优选的，所述中转台总成固定板与支撑立板之间通过中转台总成调整螺钉连接。优选的，所述控制器的输出端与程序设定模块的输入端电性连接，所述程序设定模块与单片机的输出端分别与程序优化模块的输入端电性连接，所述程序优化模块的输出端与上料机器人开启模块的输入端电性连接，所述上料机器人开启模块的输出端与喷淋头开启模块的输入端电性连接，所述喷淋头开启模块的输出端与机械手启动模块的输入端电性连接，所述机械手启动模块的输出端与下料机构启动模块的输入端电性连接，所述控制器与外接电源电性连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过在装置内设置喷淋系统，可通过喷淋氢氟酸对半导体硅片进行初步去边处理，还可通过DIW喷淋对其进行处理，从而先腐蚀掉半导体硅片的一些难以通过物理方法去掉的余边，从而再对半导体硅片进行进一步去边处理，从而有效提高了去边过程的精度，保证了半导体硅片加工的精度，通过在装置内安装上料机器人与下料机构，从而实现了装置的自动上料与下料，实现了装置的全自动化进行，无需人工上料、取料，方便快捷，通过在装置内安装巡边机，巡边机可有效对半导体硅片的去边位置及角度进行确定，从而进一步保障了加工精度。本专利技术通过内部设置喷淋系统，通过吸盘真空吸附硅片，吸盘保护住不需要腐蚀的背封膜部分，将硅片正面、倒角面以及背面边缘裸露部分通过喷淋氢氟酸进行腐蚀，通过DIW喷淋进行冲洗，从而有效提高了去边过程的精度。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术水槽的主视图；图3为本专利技术水槽的侧视图；图4为本专利技术中转台总成的主视图；图5为本专利技术中转台总成的俯视图；图6为本专利技术的控制系统原理模块图。图中：1、骨架包板；2、水槽；3、HF槽；4、中转台总成；5、机械手；6、巡边仪；7、上料机器人；8、下料机构；9、环形喷淋歧管a；10、环形喷淋歧管b；11、喷头；12、排水连接盒；13、水洗槽壳体；14、槽盖；15、挡水圈；16、吸盘；17、吸盘连接板；18、微调滑台连接板；19、微调滑台固定板；20、中转台总成固定板；21、定位销；22、滑动销；23、支撑立板；24、支撑底板；25、支撑基板。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-6，本专利技术提供一种技术方案：一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，包括骨架包板1、中转台总成4和控制器，骨架包板1的内部分别安装有水槽2与HF槽3，骨架包板1的顶面内侧安装有机械手5，骨架包板1内部靠近HF槽3的位置处安装有上料机器人7，上料机器人7的右上方位于骨架包板1内部安装的隔板上安装有中转台总成4，上料机器人7的左上方位于骨架包板1内部安装的隔板上安装有巡边仪6，水槽2的右侧位于骨架包板1内部安装有下料机构8，水槽2的中部位置安装有环形喷淋歧管a9，环形喷淋歧管a9上方位于水槽2的内部安装有环形喷淋歧管b10，水槽2的底部安装有喷头11，中转台总成4由吸盘16、微调滑台固定板19与中转台总成固定板20组成，吸盘16通过其一侧外壁上安装的吸盘连接板17安装在微调滑台连接板18的一侧外壁上，吸盘连接板17与微调滑台连接板18之间通过吸盘连接板固定螺钉连接，微调滑台连接板18的一侧外壁上安装有微调滑台固定板19，微调滑台固定板19的一侧外壁上通过中转台总成固定板20安装有支撑立板23，支撑立板23的右侧分别安装有支撑底板24与支撑基板25，吸盘16的顶部分别安装有定位销21与滑动销22。水槽2的顶部安装有槽盖14，水槽2的内壁上设置有挡水圈15，喷头11一侧位于水槽2的底部安装有排水连接盒12，滑动销22安装有两个，中转台总成固定板20与支撑立板23之间通过中转台总成调整螺钉连接，支撑底板24与支撑基板25之间通过支撑架组合螺钉连接，控制器和程序设定模块，控制器的输出端与程序设定模块的输入端电性连接，程序设定模块与单片机的输出端分别与程序优化模块的输入端电性连接，程序优化模块的输出端与上料机器人开启模块的输入端电性连接，上料机器人开启模块的输出端与喷淋头开启模块的输入端电性连接，通过在装置内设置喷淋系统，可通过喷淋氢氟酸对半导体硅片进行初步去边处理，还可通过DIW喷淋对其进行处理，从而先腐蚀掉半导体硅片的余边，从而再对半导体硅片进行进一步去边处理，从而有效提高了去边过程的精度，喷淋头开启模块的输出端与机械手启动模块的输入端电性连接，机械手启动模块的输出端与下料机构启动模块的输入端电性连接，通过在装置内安装上料机器人与下料机构，从而实现了装置的自动上料与下料，实现了装置的全自动化进行，无需人工上料、取料，方便快捷，控制器与外接电源电性连接，控制器的型号可以为MAM-200，单片机的型号可以为SST89E516。本专利技术的工作原理及使用流程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度的全自动专用去边机，包括骨架包板(1)、中转台总成(4)和控制器，其特征在于：所述骨架包板(1)的内部分别安装有水槽(2)与HF槽(3)，所述骨架包板(1)的顶面内侧安装有机械手(5)，所述骨架包板(1)内部靠近HF槽(3)的位置处安装有上料机器人(7)，所述上料机器人(7)的右上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有中转台总成(4)，所述上料机器人(7)的左上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有巡边仪(6)，所述水槽(2)的右侧位于骨架包板(1)内部安装有下料机构(8)，所述水槽(2)的中部位置安装有环形喷淋歧管a(9)，所述环形喷淋歧管a(9)上方位于水槽(2)的内部安装有环形喷淋歧管b(10)，所述水槽(2)的底部安装有喷头(11)，所述中转台总成(4)由吸盘(16)、微调滑台固定板(19)与中转台总成固定板(20)组成，所述吸盘(16)通过其一侧外壁上安装的吸盘连接板(17)安装在微调滑台连接板(18)的一侧外壁上，所述吸盘连接板(17)与微调滑台连接板(18)之间通过吸盘连接板固定螺钉连接，所述微调滑台连接板(18)的一侧外壁上安装有微调滑台固定板(19)，所述微调滑台固定板(19)的一侧外壁上通过中转台总成固定板(20)安装有支撑立板(23)，所述支撑立板(23)的右侧分别安装有支撑底板(24)与支撑基板(25)，所述吸盘(16)的顶部分别安装有定位销(21)与滑动销(22)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高精度的全自动专用去边机，包括骨架包板(1)、中转台总成(4)和控制器，其特征在于：所述骨架包板(1)的内部分别安装有水槽(2)与HF槽(3)，所述骨架包板(1)的顶面内侧安装有机械手(5)，所述骨架包板(1)内部靠近HF槽(3)的位置处安装有上料机器人(7)，所述上料机器人(7)的右上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有中转台总成(4)，所述上料机器人(7)的左上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有巡边仪(6)，所述水槽(2)的右侧位于骨架包板(1)内部安装有下料机构(8)，所述水槽(2)的中部位置安装有环形喷淋歧管a(9)，所述环形喷淋歧管a(9)上方位于水槽(2)的内部安装有环形喷淋歧管b(10)，所述水槽(2)的底部安装有喷头(11)，所述中转台总成(4)由吸盘(16)、微调滑台固定板(19)与中转台总成固定板(20)组成，所述吸盘(16)通过其一侧外壁上安装的吸盘连接板(17)安装在微调滑台连接板(18)的一侧外壁上，所述吸盘连接板(17)与微调滑台连接板(18)之间通过吸盘连接板固定螺钉连接，所述微调滑台连接板(18)的一侧外壁上安装有微调滑台固定板(19)，所述微调滑台固定板(19)的一侧外壁上通过中转台总成固定板(20)安装有支撑立板(23)，所述支撑立板(23)的右侧分别安装有支撑底板(24)与支撑基板(25)，所述吸盘(16)的顶部分别安装有定位销(21)与滑动销(22)。


2.根据权利要求1所述的一种高精度的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12