本实用新型专利技术涉及一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，包括底盘、第一驱动缸、第二驱动缸和夹持装置；第一缸体通过轴承连接在底盘上；第二缸体的一端固定连接在第一驱动缸的第一活塞杆上，第二缸体与第一活塞杆为90度角；第二缸体的另一端固定连接有固定板；夹持装置的第一拉杆与第二驱动缸的第二活塞杆的端部铰接，第一拉杆的另一端与驱动杆铰接，驱动杆的上端与第二拉杆铰接，第二拉杆与第一夹杆铰接；驱动杆的下端与第三拉杆铰接，第三拉杆与第二夹杆铰接。克服了现有硅片调换装置转移速度慢、保护装置大小不可调、取片装置的动作过程复杂的缺陷。
A fast wafer exchange device for multi engine UV digital lithography based on DMD
【技术实现步骤摘要】
一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置
本技术涉及半导体加工设备
，特别涉及一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置。
技术介绍
光刻是半导体制造过程中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。而光刻技术的发展或者说光刻机的技术进步则主要围绕着线宽、套刻精度和生产率这三大指标展开。现有的DMD无掩模扫描式光刻机设备硅片转移机构在使用时存在一定的弊端。首先，目前的硅片输送装置只是水平滑动进行工位之间的往复运行，需要取片装置去片盒中取出硅片，然后取片装置将硅片放置在硅片输送装置上；取片装置的动作过程复杂，造成取片装置的取片或插片位置不准，影响光刻的正常进行。其次，目前的硅片输送装置输送效率非常低，转移速度也比较缓慢。最后，不能在硅片转移过程中很好的保护硅片不受损伤，且硅片大小变化时，边缘保护装置需要根据硅片规格相应变化，更换与保护环匹配的硅片边缘保护装置会增加产品的生产制造时间，同时提高了设备的采购成本及制造厂费用。
技术实现思路
本技术设计开发了一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，具有大小可调、转移速度快、取片装置动作简单的特点。一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，包括底盘1、第一驱动缸2、第二驱动缸3和夹持装置4；所述第一驱动缸2的第一缸体21通过轴承连接在底盘1上；所述第二驱动缸3的第二缸体31的一端固定连接在第一驱动缸2的第一活塞杆22上，第二缸体31与第一活塞杆22为90度角；第二缸体31的另一端固定连接有固定板311；所述夹持装置4包括第一拉杆41、驱动杆42、第二拉杆43、第三拉杆45、第一夹杆44和第二夹杆46，所述第一拉杆41与第二驱动缸的第二活塞杆32的端部铰接，第一拉杆41的另一端与驱动杆42铰接，驱动杆42的上端与第二拉杆43铰接，第二拉杆43与第一夹杆44铰接；驱动杆42的下端与第三拉杆45铰接，第三拉杆45与第二夹杆46铰接。作为本技术更优的技术方案：第二夹杆46与夹持端相对的一端铰接在固定板311上。作为本技术更优的技术方案：所述第一夹杆44的中部铰接在固定板311上。作为本技术更优的技术方案：所述底盘1包括支撑板12和支座11，所述支座11固定安装在支撑板12下表面的四个角。作为本技术更优的技术方案：所述固定板311上设置有滑道312，所述第一拉杆41设置在所述滑道312内，且可在所述滑道312内移动。作为本技术更优的技术方案：所述夹持装置4还包括第一柔性垫441和第二柔性垫461，所述第一柔性垫441的一端固定在所述第一夹杆44的一侧，所述第一柔性垫441的另一端设置有所述第一夹板442，所述第二柔性垫461的一端与所述第一夹板442对称的固定所述第二夹杆46的一侧，所述第二柔性垫461的另一端设置有第二夹板462。作为本技术更优的技术方案：所述第一驱动缸2与第二驱动缸2为伺服电缸。作为本技术更优的技术方案：所述固定板311、第一拉杆41，驱动杆42、第二拉杆43、第三拉杆45、第一夹杆44和第二夹杆46均采用不锈钢材质。作为本技术更优的技术方案：所述第一柔性垫441和第二柔性垫461均采用硅胶材质，所述第一夹板442和第二夹板462均采用高密度聚乙烯材质。作为本技术更优的技术方案：所述底盘1采用球墨铸铁材质。有益效果如下：本技术提供的一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置结构简单，自动化程度高，使用寿命长，保护硅片装置大小可调，工作稳定性强，工作效率高，并且能节省时间和人力。附图说明图1为本技术的快速调换装置的整体结构图。图2为本技术的快速调换装置中夹持装置的整体结构图。图3为本技术的快速调换装置中夹持装置的一种实施方式结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1-3所示，本技术提供了一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置中夹持装置，包括底盘1、第一驱动缸2、第二驱动缸3和夹持装置4，为防止此装置在工作中的稳定性差，所述底盘1采用球墨铸铁铸造。为防止此装置在工作中的稳定性差，所述底盘1采用球墨铸铁铸造；第一驱动缸2的第一缸体21连接在底盘1上，第一驱动缸2相对于底座1可转动；第二驱动缸3的第二缸体31的一端固定连接在第一驱动缸2的第一活塞杆22上，第二缸体31与第一活塞杆22为90度角；第二缸体31的另一端固定连接有固定板311，所述夹持装置4包括第一拉杆41、驱动杆42、第二拉杆43、第三拉杆45、第一夹杆44和第二夹杆46，所述第一拉杆41与第二驱动缸的第二活塞杆32的端部铰接，第一拉杆41的另一端与驱动杆42铰接，驱动杆42的上端与第二拉杆43铰接，第二拉杆43与第一夹杆44铰接；驱动杆42的下端与第三拉杆45铰接，第三拉杆45与第二夹杆46铰接。第二夹杆46与夹持端相对的一端铰接在固定板311上。所述第一夹杆44的中部铰接在固定板311上。所述底盘1包括支撑板12和支座11，所述支座11固定安装在支撑板12下表面的四个角。为了使第一拉杆41运动轨迹固定，所述固定板311上设置有滑道312，所述第一拉杆41设置在所述滑道312内，且可在所述滑道312内移动。为了硅片装置大小可调，且使硅片周围不收损伤，所述夹持装置4还包括第一柔性垫441和第二柔性垫461，所述第一柔性垫441的一端固定在所述第一夹杆44的一侧，所述第一柔性垫441的另一端设置有所述第一夹板442，所述第二柔性垫462的一端与所述第一夹板442对称的固定所述第二夹杆46的一侧，所述第二柔性垫461的另一端设置有第二夹板462。所述第一驱动缸2与第二驱动缸3为伺服电缸。所述固定板311、第一拉杆41，驱动杆42、第二拉杆43、第三拉杆45、第一夹杆44和第二夹杆46均采用不锈钢材质。所述第一柔性垫441和第二柔性垫461均采用硅胶材质，所述第一夹板442和第二夹板462均采用高密度聚乙烯材质。所述底盘1采用球墨铸铁材质。所述第一夹板442与第二夹板462均为弧形。本技术的使用过程如下：当需要硅片5时，舵机带动第一驱动缸2转动，同时第二驱动缸3与夹持装置3随之转动，转动到舵机转角极限时，舵机停止，第一驱动缸2中第一内缸体22向下移动同时带动第二驱动缸3与夹持装置3随之向下移动，移动到指定位置后，开始抓取硅片5，此时第二驱动缸3的第一内缸体32开始向后移动，同时带动第一拉杆41移动，第一拉杆41带动驱动杆42移动，驱动杆42移动时第二拉杆43、第三拉杆45同时移动，第二拉杆43带动第一夹杆44转动，第三拉杆45带动第二夹杆46转动，此时夹取硅片5，硅片5的边缘被第一夹板442和第二夹板462夹住后第一柔性垫441和第二柔性垫461开始压缩至压缩到不可压缩后，第一驱动缸2中第一内缸体22向上移动，移动本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，其特征在于：包括底盘(1)、第一驱动缸(2)、第二驱动缸(3)和夹持装置(4)；所述第一驱动缸(2)的第一缸体(21)通过轴承连接在底盘(1)上；所述第二驱动缸(3)的第二缸体(31)的一端固定连接在第一驱动缸(2)的第一活塞杆(22)上，第二缸体(31)与第一活塞杆(22)为90度角；第二缸体(31)的另一端固定连接有固定板(311)；所述夹持装置(4)包括第一拉杆(41)、驱动杆(42)、第二拉杆(43)、第三拉杆(45)、第一夹杆(44)和第二夹杆(46)，所述第一拉杆(41)与第二驱动缸的第二活塞杆(32)的端部铰接，第一拉杆(41)的另一端与驱动杆(42)铰接，驱动杆(42)的上端与第二拉杆(43)铰接，第二拉杆(43)与第一夹杆(44)铰接；驱动杆(42)的下端与第三拉杆(45)铰接，第三拉杆(45)与第二夹杆(46)铰接。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，其特征在于：包括底盘(1)、第一驱动缸(2)、第二驱动缸(3)和夹持装置(4)；所述第一驱动缸(2)的第一缸体(21)通过轴承连接在底盘(1)上；所述第二驱动缸(3)的第二缸体(31)的一端固定连接在第一驱动缸(2)的第一活塞杆(22)上，第二缸体(31)与第一活塞杆(22)为90度角；第二缸体(31)的另一端固定连接有固定板(311)；所述夹持装置(4)包括第一拉杆(41)、驱动杆(42)、第二拉杆(43)、第三拉杆(45)、第一夹杆(44)和第二夹杆(46)，所述第一拉杆(41)与第二驱动缸的第二活塞杆(32)的端部铰接，第一拉杆(41)的另一端与驱动杆(42)铰接，驱动杆(42)的上端与第二拉杆(43)铰接，第二拉杆(43)与第一夹杆(44)铰接；驱动杆(42)的下端与第三拉杆(45)铰接，第三拉杆(45)与第二夹杆(46)铰接。
2.如权利要求1所述一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，其特征在于：所述第二夹杆(46)与夹持端相对的一端铰接在固定板(311)上。
3.如权利要求1所述一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，其特征在于：所述第一夹杆(44)的中部铰接在固定板(311)上。
4.如权利要求1所述一种基于DMD的多引擎紫外数字光刻机硅片快速调换装置，其特征在于：所述底盘(1)包括支撑板(12)和支座(11)，所述支座(11)固定安装在支撑板(12)下表面的四个角。
5.如权利要求1所述一种基于DMD的多...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢振武，孙强，许文斌，蔺春波，刘建卓，许家林，王鹤，徐佳，
申请(专利权)人：长春长光中天光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22
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