本实用新型专利技术涉及一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括旋转位移机构，其安装在X向滑块工作台上，包括基座、旋转平台和工作台，基座上固定连接有转盘，转盘下表面通过联轴器与电机的轴连接，转盘上表面固定有齿轮柱，旋转平台底部固定连接有齿形槽，齿形槽与齿轮柱啮合，旋转平台上表面开设有半球形凹槽，半球形凹槽内有半球体，半球体和半球形凹槽的内表面之间有弹性装置，半球体的圆形平面与工作台固定连接；旋转平台上连接有螺纹调节器，螺纹调节器的端部抵靠在工作台上。实现了工作台高度和角度可调节，精度更高，有效的提高工作台的抗击能力。
A two-dimensional displacement platform based on DMD digital lithography engine
【技术实现步骤摘要】
一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台
本技术涉及位移台设备
，特别涉及一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台。
技术介绍
二维位移平台是一种广泛应用于DMD数字光刻机的结构，传统的位移台为二维位移平台可以沿X、Y方向进行移动，通过位移感应器对光刻引擎的感应来调节控制工作台移动，工作台水平位置固定，高度和角度不可调节，有时会存在偏差，如调整不及时，影响工作效率，亟需一种新型的基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台来解决以上存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台，实现了工作台高度和角度可调节，精度更高，有效的提高工作台的抗击能力。本技术的目的通过如下技术方案实现：一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台1、X向位移台2和旋转位移机构3，所述Y向位移台1的Y向位移台侧罩4上安装有Y向滑块工作台6，Y向位移台1的第一液压机构5的活塞杆与Y向滑块工作台6铰接，Y向滑块工作台6的顶部安装有法兰盘7；所述X向位移台2安装在法兰盘7的顶部，且X向位移台2的一侧安装有X向位移台侧罩8，所述X向位移台2的另一侧安装有第二液压机构9，第二液压机构9的活塞杆X向滑块工作台10铰接，X向位移台2和Y向位移台1上均设置有滑动导轨11，所述滑动导轨11在Y向位移台1上为水平纵向，在X向位移台2上设置为水平横向，所述X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的内部均设置有运动传感器，所述旋转位移机构3安装在X向滑块工作台10上，旋转位移机构3包括基座14、旋转平台15和工作台16，所述基座14上固定连接有转盘17，转盘17下表面通过联轴器与电机18的轴连接，转盘17上表面固定有齿轮柱19，所述旋转平台15底部固定连接有齿形槽20，所述齿形槽20与齿轮柱19啮合，所述旋转平台15上表面开设有半球形凹槽21，所述半球形凹槽21内有半球体23，半球体23和半球形凹槽21的内表面之间有弹性装置22，半球体23的圆形平面与工作台16固定连接；所述旋转平台15上连接有螺纹调节器24，螺纹调节器24的端部抵靠在工作台16上。作为本技术更优的技术方案：所述螺纹调节器24包括螺杆25，调节器固定座26和自动调节手柄27，所述自动调节手柄27上设置有调节器固定座26，所述调节器固定座26固定安装在旋转平台15上，所述螺杆25与自动调节手柄相连，所述螺纹调节器24的螺杆25与工作台底面铰接，通过调节螺纹调节器24的螺杆25的高度控制工作台16的高度和角度所述工作台上表面设置有距离传感器12。作为本技术更优的技术方案：所述螺纹调节器24设置有四个，分别设置在所述工作台16的四个角的下方。作为本技术更优的技术方案：所述半球体23底部与弹性装置22的弹簧顶部铰接。作为本技术更优的技术方案：弹性装置22由若干个弹簧组成，所述弹簧均匀分布在半球形凹槽上表面，弹性装置22对工作台16起到支撑和缓冲的作用。作为本技术更优的技术方案：所述运动传感器为加速度传感器，用来接收信号，测量和反馈X向位移台2和Y向位移台1的运动。X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的内部的运动传感器与距离传感器12配合，能够精准控制工作台的移动和位置，把控更加精准。作为本技术更优的技术方案：所述X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的下方均设置有滑轨密封条，所述Y向滑块工作台6与滑动导轨通过滑轨密封条滑动连接。本技术的有益效果如下：在X和Y向位移的基础上，实现了工作台高度和角度可调节，精度更高，具有结构简单和使用方便的优势，有效的提高工作台的抗击能力。附图说明图1为本技术的基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台主视图；图2为本技术的二维位移平台的旋转位移机构结构示意图；图3为本技术的基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台俯视图；其中1、Y向位移台，2、X向位移台，3、旋转位移机构，4、Y向位移台侧罩，5、第一液压机构，6、Y向滑块工作台，7、法兰盘，8、X向位移台侧罩，9、第二液压机构，10、X向滑块工作台，11、滑动导轨，12、距离传感器，14、基座，15、旋转平台，16、工作台，17、转盘，18、电机，19、齿轮柱，20、齿形槽，21、半球形凹槽，22、弹性装置，23、半球体，24、螺纹调节器，25、螺杆，26、螺杆调节器固定座，27、自动调节手柄。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1-3所示，本技术提供了一种基于DMD数字光刻引擎的高精度二维位移平台，包括Y向位移台1、X向位移台2和旋转位移机构3，所述Y向位移台1的Y向位移台侧罩4上安装有Y向滑块工作台6，Y向位移台1的第一液压机构5的活塞杆与Y向滑块工作台6铰接，Y向滑块工作台6的顶部安装有法兰盘7；所述X向位移台2安装在法兰盘7的顶部，且X向位移台2的一侧安装有X向位移台侧罩8，所述X向位移台2的另一侧安装有第二液压机构9，第二液压机构9的活塞杆X向滑块工作台10铰接，X向位移台2和Y向位移台1上均设置有滑动导轨11，所述滑动导轨11在Y向位移台1上为水平纵向，在X向位移台2上设置为水平横向，所述X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的内部均设置有运动传感器，所述旋转位移机构3安装在X向滑块工作台10上，旋转位移机构3包括基座14、旋转平台15和工作台16，所述基座14上固定连接有转盘17，转盘17下表面通过联轴器与电机18的轴连接，转盘17上表面固定有齿轮柱19，所述旋转平台15底部固定连接有齿形槽20，所述齿形槽20与齿轮柱19啮合，所述旋转平台15上表面开设有半球形凹槽21，所述半球形凹槽21内有半球体23，半球体23和半球形凹槽21的内表面之间有弹性装置22，半球体23的圆形平面与工作台16固定连接；所述旋转平台15上连接有螺纹调节器24，螺纹调节器24的端部抵靠在工作台16上。所述螺纹调节器24包括螺杆25，调节器固定座26和自动调节手柄27，所述自动调节手柄27上设置有调节器固定座26，所述调节器固定座26固定安装在旋转平台15上，所述螺杆25与自动调节手柄相连，所述螺纹调节器24的螺杆25与工作台底面铰接，通过调节螺纹调节器24的螺杆25的高度控制工作台16的高度和角度所述工作台上表面设置有距离传感器12。所述螺纹调节器24设置有四个，分别设置在所述工作台16的四个角的下方。所述半球体23底部与弹性装置22的弹簧顶部铰接。弹性装置22由若干个弹簧组成，所述弹簧均匀分布在半球形凹槽上表面，弹性装置22对工作台16起到支撑和缓冲的作用。所述运动传感器为加速度传感器，用来接收信号，测量和反馈X向位移台2和Y向位移台1的运动。X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的内部的运动传感器与距离传感器12配合，能够精准控制工作台的移动和位置，把控更加精准。所述X向滑块工作台10和Y向滑块工作台6的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台(1)和X向位移台(2)，其特征在于：还包括旋转位移机构(3)，所述Y向位移台(1)的Y向位移台侧罩(4)上安装有Y向滑块工作台(6)，Y向位移台(1)的第一液压机构(5)的活塞杆与Y向滑块工作台(6)铰接，Y向滑块工作台(6)的顶部安装有法兰盘(7)；所述X向位移台(2)安装在法兰盘(7)的顶部，且X向位移台(2)的一侧安装有X向位移台侧罩(8)，所述X向位移台(2)的另一侧安装有第二液压机构(9)，第二液压机构(9)的活塞杆X向滑块工作台(10)铰接，X向位移台(2)和Y向位移台(1)上均设置有滑动导轨(11)，所述滑动导轨(11)在Y向位移台(1)上为水平纵向，在X向位移台(2)上设置为水平横向，所述X向滑块工作台(10)和Y向滑块工作台(6)的内部均设置有运动传感器，所述旋转位移机构(3)安装在X向滑块工作台(10)上，旋转位移机构(3)包括基座(14)、旋转平台(15)和工作台(16)，所述基座(14)上固定连接有转盘(17)，转盘(17)下表面通过联轴器与电机(18)的轴连接，转盘(17)上表面固定有齿轮柱(19)，所述旋转平台(15)底部固定连接有齿形槽(20)，所述齿形槽(20)与齿轮柱(19)啮合，所述旋转平台(15)上表面开设有半球形凹槽(21)，所述半球形凹槽(21)内有半球体(23)，半球体(23)和半球形凹槽(21)的内表面之间有弹性装置(22)，半球体(23)的圆形平面与工作台(16)固定连接；所述旋转平台(15)上连接有螺纹调节器(24)，螺纹调节器(24)的上端部抵靠在工作台(16)上。/n...
【技术特征摘要】
1.一种基于DMD数字光刻引擎的二维位移平台，包括Y向位移台(1)和X向位移台(2)，其特征在于：还包括旋转位移机构(3)，所述Y向位移台(1)的Y向位移台侧罩(4)上安装有Y向滑块工作台(6)，Y向位移台(1)的第一液压机构(5)的活塞杆与Y向滑块工作台(6)铰接，Y向滑块工作台(6)的顶部安装有法兰盘(7)；所述X向位移台(2)安装在法兰盘(7)的顶部，且X向位移台(2)的一侧安装有X向位移台侧罩(8)，所述X向位移台(2)的另一侧安装有第二液压机构(9)，第二液压机构(9)的活塞杆X向滑块工作台(10)铰接，X向位移台(2)和Y向位移台(1)上均设置有滑动导轨(11)，所述滑动导轨(11)在Y向位移台(1)上为水平纵向，在X向位移台(2)上设置为水平横向，所述X向滑块工作台(10)和Y向滑块工作台(6)的内部均设置有运动传感器，所述旋转位移机构(3)安装在X向滑块工作台(10)上，旋转位移机构(3)包括基座(14)、旋转平台(15)和工作台(16)，所述基座(14)上固定连接有转盘(17)，转盘(17)下表面通过联轴器与电机(18)的轴连接，转盘(17)上表面固定有齿轮柱(19)，所述旋转平台(15)底部固定连接有齿形槽(20)，所述齿形槽(20)与齿轮柱(19)啮合，所述旋转平台(15)上表面开设有半球形凹槽(21)，所述半球形凹槽(21)内有半球体(23)，半球体(23)和半球形凹槽(21)的内表面之间有弹性装置(22)，半球体(23)的圆形平面与工作台(16)固定连接；所述旋转平台(15)上连接有螺纹调节器(24)，螺纹调节器(24)的上端部抵靠在工作台(16)上。
2.如权利要求1所述的一种基于DMD数字...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢振武，孙强，许文斌，蔺春波，刘建卓，许家林，王鹤，徐佳，
申请(专利权)人：长春长光中天光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22
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