【技术实现步骤摘要】
一种氢气燃烧装置
本技术属于半导体芯片加工设备
，尤其涉及一种氢气燃烧装置。
技术介绍
氢气在半导体芯片的制造过程中有着广泛的应用，而尾气中氢气的处理对生产安全至关重要。现有的氢气燃烧装置使用一组电加热丝，置于尾气排出口，通过电热丝加热到一定温度点燃尾气中的氢气。但是在尾气流量过大时，现有的氢气燃烧装置存在燃烧不充分的问题，存在安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于改进已有技术的不足而提供一种彻底燃烧氢气、可靠性高、使用寿命长、易于维修的氢气燃烧装置。本技术的目的是这样实现的，一种氢气燃烧装置，包括电极柱、加热丝和高温导线，其特点是壳体内的隔板将壳体内上部形成用于燃烧氢气的燃烧室，燃烧室内设有两个以上加热丝，每个加热丝的两端分别与一个电极柱连接，加热丝与电极柱连接线外包裹有陶瓷块，安装在隔板上的电极柱外包裹有陶瓷壳，电极柱的下端连接高温导线，隔板上设有氢气进气口以及氧气进气口。为了进一步实现本技术的目的，可以是所述的陶瓷壳由上陶瓷壳、下陶瓷壳组成。为了进一步实现本技术的目的，可以是所述的上陶瓷壳、下陶瓷壳采用凹凸结构插接连接。本技术与已有技术相比具有以下显著特点和积极效果：本技术采用隔板将壳体上部形成燃烧室，将氢气引入燃烧室，有利于氢气的充分燃烧；电极柱外部由陶瓷壳包裹与外壳隔绝，避免外壳带电引发安全隐患；包裹电极柱的陶瓷件分为两部分，使用凹凸式公母式设计，保证了贴合度，进一步提高了安全性；电极柱与加热丝的连接线上包裹了陶瓷块，进一步提高了安全性；采用了两...
【技术保护点】
1.一种氢气燃烧装置，包括电极柱、加热丝和高温导线，其特征是壳体内的隔板将壳体内上部形成用于燃烧氢气的燃烧室，燃烧室内设有两个以上加热丝，每个加热丝的两端分别与一个电极柱连接，加热丝与电极柱连接线外包裹有陶瓷块，安装在隔板上的电极柱外包裹有陶瓷壳，电极柱的下端连接高温导线，隔板上设有氢气进气口以及氧气进气口。/n
【技术特征摘要】
1.一种氢气燃烧装置，包括电极柱、加热丝和高温导线，其特征是壳体内的隔板将壳体内上部形成用于燃烧氢气的燃烧室，燃烧室内设有两个以上加热丝，每个加热丝的两端分别与一个电极柱连接，加热丝与电极柱连接线外包裹有陶瓷块，安装在隔板上的电极柱外包裹有陶瓷壳，电极柱的下端连接高温导...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅家祺，梅兴东，谢飞，
申请(专利权)人：青岛海迪克微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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