本实用新型专利技术公开了一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,包括一级滤罐、二级滤罐、三级滤罐和压缩罐,所述一级滤罐的进气口上连接有进气管道,所述一级滤罐的内部设有相互交错布置的活性炭板,所述一级滤罐的排气口通过第一通道管与二级滤罐的进气口连接,所述二级滤罐的内部可拆卸的安装有精密纤维滤芯,所述二级滤罐的排气口通过第二通道管与三级滤罐的进气口连接,所述支撑网上从上到下依次覆盖有细分子筛层、粗分子筛层和红砖粉干燥层,所述三级滤罐的排气口通过第三通道管与压缩罐的进气口连通。本实用新型专利技术,能够达到对原氨气多级过滤干燥的效果,处理后的氨气更加干燥纯化,提高了产品的价值,创造了较好的经济效益。
A multi-stage filtration compressed air drying device for high purity ammonia
【技术实现步骤摘要】
一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置
本技术涉及化工设备
,具体为一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置。
技术介绍
高纯氨是一种重要的化工基础材料。它广泛地应用于电子、化工、冶金、能源等工业方面的研究和生产中,在微电子工业中,高纯氨是不可缺少的原材料之一。它主要用于半导体器件、集成电路制造中的氮化硅掩膜生长过程和制造磷化镓绿色发光材料的掺氮过程。目前高纯氨在制备的过程中,需要用到过滤干燥装置,对其进行除杂和过滤,但是现有的氨气过滤干燥装置,多是采用单级过滤的方式,不能很好的除去原氨气中含有的有机成分、铁磁性物质和水分,对氨气的纯化效果差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,具备的多级过滤干燥的优点,解决了现有的氨气过滤干燥装置,对氨气的纯化效果差的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,包括一级滤罐、二级滤罐、三级滤罐和压缩罐,所述一级滤罐、二级滤罐、三级滤罐和压缩罐的一侧底部均设有进气口,所述一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐的另一侧上部均设有出气口,所述一级滤罐的进气口上连接有进气管道,所述一级滤罐的内部设有相互交错布置的活性炭板,所述一级滤罐的下方设置有蒸汽发生器,所述蒸汽发生器通过蒸汽管道与一级滤罐内部连通,所述一级滤罐的顶部设有排气口,所述排气口上密封有密封盖,所述一级滤罐的排气口通过第一通道管与二级滤罐的进气口连接,所述二级滤罐的内部可拆卸的安装有精密纤维滤芯,所述精密纤维滤芯的内部固定有磁铁棒,所述磁铁棒上套装有铁套管,所述铁套管的底端固定有与精密纤维滤芯内壁相贴近的毛刷圈,所述二级滤罐的排气口通过第二通道管与三级滤罐的进气口连接,所述三级滤罐的内部位于进气口的上方固定有托板,所述托板上托放有支撑网,所述支撑网上从上到下依次覆盖有细分子筛层、粗分子筛层和红砖粉干燥层,所述三级滤罐的排气口通过第三通道管与压缩罐的进气口连通。优选的,所述一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐均为圆筒形结构,所述一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐的高度和直径相同,所述一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐上均可拆卸的安装有罐盖,三个罐盖与一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐连接处分别设有密封圈,且三个罐盖与一级滤罐、二级滤罐和三级滤罐相对应的位置上固定有耳板,所述耳板上螺纹拧紧有紧固螺栓。优选的,所述二级滤罐的内底面中心处固定有滤芯安装槽座,所述精密纤维滤芯可拆卸的安装在滤芯安装槽座上,所述精密纤维滤芯为长筒型结构,所述精密纤维滤芯的侧壁上端连接有与二级滤罐的出气口内端口相抵的出气管。优选的,所述毛刷圈是由四个相同的弧形刷板组成,四个弧形刷板与铁套管之间通过弹簧杆连接,所述铁套管的长度与磁铁棒的长度相同,所述铁套管的顶端设有拉环。优选的,所述压缩罐、一级过滤罐、二级滤罐和三级滤罐的外壁上均焊接有等间距分布的环形箍筋,且压缩罐、一级过滤罐、二级滤罐和三级滤罐的底部均固定有支撑架,所述支撑架的底端固定有支撑块,所述支撑块的底面设有防滑垫。优选的,所述压缩罐的侧壁上端连接有排气连接管,所述排气连接管、供气管道、第一通道管、第二通道管和第三通道管上均设有截止阀。优选的,所述第一通道管、第二通道管和第三通道管采用不锈钢材料制成,所述第一通道管、第二通道管和第三通道的拐角处设有橡胶角套。与现有技术相比,本技术的有益效果如下:一、本技术通过设置的多个滤罐和压缩罐,使用时,原氨气先通过活性吸附的方式除去有机成分,再经精密过滤的方式除去油分、固体颗粒等杂质,然后经红砖粉和分子筛的吸收下干燥除去水分,最后通过压缩罐压缩存储起来,达到了对原氨气多级过滤干燥的效果,处理后的氨气更加干燥纯化,提高了产品的价值,创造了较好的经济效益。二、本技术通过设置的蒸汽发生器、蒸汽管道和排气口,长期使用后,可采用向一级滤罐内通入高温蒸汽,使活性炭板上吸附的有机成分,受热托脱附成有机气体从排气口排出,从而防止了有机成分长期积累在活性炭板,导致其吸附能力下降的情况。三、本技术通过在精密纤维滤芯内设置的磁铁棒,氨气再经精密纤维滤芯的过滤后,通过磁铁棒的磁性吸附下,能够除去难以过滤的铁磁性物质,增强了对氨气的过滤效果。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术的二级滤罐结构示意图;图3为本技术的精密纤维滤芯结构示意图;图4为本技术的精密纤维滤芯剖视图;图5为本技术的毛刷圈结构示意图。图中:1、一级滤罐;2、二级滤罐;3、三级滤罐;4、压缩罐;5、进气管道;6、进气口;7、出气口;8、活性炭板;9、排气口;10、密封盖;11、精密纤维滤芯;12、截止阀;13、排气连接管;14、蒸汽发生器;15、蒸汽管道;16、橡胶角套;17、第一通道管;18、滤芯安装槽座;19、支撑架;20、第二通道管;21、支撑块;22、第三通道管;23、环形箍筋;24、罐盖;25、耳板;26、密封圈;27、紧固螺栓;28、托板;29、支撑网;30、红砖粉干燥层;31、粗分子筛层;32、细分子筛层;33、铁套管;34、拉环;35、出气管;36、磁铁棒;37、毛刷圈;38、弧形刷板;39、弹簧杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图5,本技术提供一种技术方案:一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,包括一级滤罐1、二级滤罐2、三级滤罐3和压缩罐4,一级滤罐1、二级滤罐2、三级滤罐3和压缩罐4的一侧底部均设有进气口6,一级滤罐1、二级滤罐2和三级滤罐3的另一侧上部均设有出气口7,一级滤罐1的进气口6上连接有进气管道5,一级滤罐1的内部设有相互交错布置的活性炭板8,活性炭板8相互交错的设置,增加了与原氨气的接触面积,可有效的吸附除去原氨气中含有的有机成分,一级滤罐1的下方设置有蒸汽发生器14,蒸汽发生器14通过蒸汽管道15与一级滤罐1内部连通,一级滤罐1的顶部设有排气口9,排气口9上密封有密封盖10,长期使用后,可通过打开密封盖10,并启动蒸汽发生器14相一级滤罐1中通入高温蒸汽,使活性炭板8上吸附的有机成分,受热托脱附成有机气体从排气口9排出,从而防止了有机成分长期积累在活性炭板8,导致其吸附能力下降的情况,一级滤罐1的排气口9通过第一通道管17与二级滤罐2的进气口6连接,二级滤罐2的内部可拆卸的安装有精密纤维滤芯11,精密纤维滤芯11可过滤除去原氨气中的油分、固体颗粒等杂质,精密纤维滤芯11的内部固定有磁铁棒36,磁铁棒36上套装有铁套管33,磁铁套管33套在磁铁棒36上会获得磁性,使得经精密纤维滤芯11过后的原氨气,能够在经磁性吸附的作用下,除去难易过滤掉的铁磁性物质本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,包括一级滤罐(1)、二级滤罐(2)、三级滤罐(3)和压缩罐(4),其特征在于:所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)、三级滤罐(3)和压缩罐(4)的一侧底部均设有进气口(6),所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)的另一侧上部均设有出气口(7),所述一级滤罐(1)的进气口(6)上连接有进气管道(5),所述一级滤罐(1)的内部设有相互交错布置的活性炭板(8),所述一级滤罐(1)的下方设置有蒸汽发生器(14),所述蒸汽发生器(14)通过蒸汽管道(15)与一级滤罐(1)内部连通,所述一级滤罐(1)的顶部设有排气口(9),所述排气口(9)上密封有密封盖(10),所述一级滤罐(1)的排气口(9)通过第一通道管(17)与二级滤罐(2)的进气口(6)连接,所述二级滤罐(2)的内部可拆卸的安装有精密纤维滤芯(11),所述精密纤维滤芯(11)的内部固定有磁铁棒(36),所述磁铁棒(36)上套装有铁套管(33),所述铁套管(33)的底端固定有与精密纤维滤芯(11)内壁相贴近的毛刷圈(37),所述二级滤罐(2)的排气口(9)通过第二通道管(20)与三级滤罐(3)的进气口(6)连接,所述三级滤罐(3)的内部位于进气口(6)的上方固定有托板(28),所述托板(28)上托放有支撑网(29),所述支撑网(29)上从上到下依次覆盖有细分子筛层(32)、粗分子筛层(31)和红砖粉干燥层(30),所述三级滤罐(3)的排气口(9)通过第三通道管(22)与压缩罐(4)的进气口(6)连通。/n...
【技术特征摘要】
1.一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,包括一级滤罐(1)、二级滤罐(2)、三级滤罐(3)和压缩罐(4),其特征在于:所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)、三级滤罐(3)和压缩罐(4)的一侧底部均设有进气口(6),所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)的另一侧上部均设有出气口(7),所述一级滤罐(1)的进气口(6)上连接有进气管道(5),所述一级滤罐(1)的内部设有相互交错布置的活性炭板(8),所述一级滤罐(1)的下方设置有蒸汽发生器(14),所述蒸汽发生器(14)通过蒸汽管道(15)与一级滤罐(1)内部连通,所述一级滤罐(1)的顶部设有排气口(9),所述排气口(9)上密封有密封盖(10),所述一级滤罐(1)的排气口(9)通过第一通道管(17)与二级滤罐(2)的进气口(6)连接,所述二级滤罐(2)的内部可拆卸的安装有精密纤维滤芯(11),所述精密纤维滤芯(11)的内部固定有磁铁棒(36),所述磁铁棒(36)上套装有铁套管(33),所述铁套管(33)的底端固定有与精密纤维滤芯(11)内壁相贴近的毛刷圈(37),所述二级滤罐(2)的排气口(9)通过第二通道管(20)与三级滤罐(3)的进气口(6)连接,所述三级滤罐(3)的内部位于进气口(6)的上方固定有托板(28),所述托板(28)上托放有支撑网(29),所述支撑网(29)上从上到下依次覆盖有细分子筛层(32)、粗分子筛层(31)和红砖粉干燥层(30),所述三级滤罐(3)的排气口(9)通过第三通道管(22)与压缩罐(4)的进气口(6)连通。
2.根据权利要求1所述的一种高纯氨的多级过滤压缩空气干燥装置,其特征在于:所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)均为圆筒形结构,所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)的高度和直径相同,所述一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)上均可拆卸的安装有罐盖(24),三个罐盖(24)与一级滤罐(1)、二级滤罐(2)和三级滤罐(3)连接处分别设有密封圈(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:李杰,鄢芝勇,
申请(专利权)人:海宁市英德赛电子有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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