搬送装置以及物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供可稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。搬送装置具有沿着第1方向配置的多个线圈和沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有以规定间隔配置的线圈和以比空开上述规定间隔地配置的线圈大的大间隔配置的两个线圈，以上述大间隔配置的两个线圈配置在以下位置：跟与以上述规定间隔配置的线圈的动子相向的面的在动子经过时与上述动子之间的距离相比，与上述动子之间的距离变小。

【技术实现步骤摘要】
搬送装置以及物品制造方法
本专利技术涉及搬送装置以及物品制造方法。
技术介绍
一般来讲，在用于组装工业产品的生产线或半导体曝光装置等中采用搬送系统。特别是生产线的搬送系统在工厂自动化的生产线内或是生产线之间的多个工位间对部件等工件进行搬送。另外，有时也作为加工装置中的搬送装置被使用。作为搬送系统，已经提出了利用可动磁铁型线性马达的搬送系统。在利用可动磁铁型线性马达的搬送系统中，采用线性导轨等伴随有机械接触的引导装置来构成搬送系统。但是，对于使用线性导轨等引导装置的搬送系统而言，存在因从线性导轨的滑动部产生的污染物质例如导轨或轴承的摩耗碎片、润滑油或是其挥发后的物质等导致生产率变差这样的问题。另外，存在当高速搬送时滑动部的摩擦变大而致使线性导轨的寿命缩短这样的问题。于是，在专利文献1中记载了能以非接触方式对搬送托盘进行搬送的磁悬浮搬送装置。像专利文献1所记载那样的磁悬浮搬送装置，沿着搬送托盘的搬送方向，在腔室的上部以恒定间隔排列悬浮用电磁铁，在腔室的侧面以恒定间隔排列定子线圈，从而稳定地实现非接触方式的搬送。在先技术文献专利文献1：日本特表2016-532308号公报专利技术所要解决的课题但是，在生产线内或是生产线之间的多个工位间搬送工件等动子的场合，存在无论怎样都无法配置电磁铁和线圈的场所。例如，在真空腔室中，出于进行维护、环境控制的目的而需要在中途设置闸阀来进行分隔。在这样的场合，无法以恒定间隔配置电磁铁和线圈。因而，由于吸引力的变化而有可能导致搬送过程中的部件或工件倾斜或下落。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够稳定且顺畅地以非接触方式搬送动子的搬送装置以及物品制造方法。用于解决课题的方案本专利技术的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。本专利技术的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。本专利技术的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的收容有多个线圈的多个线圈箱；以及沿着上述多个线圈箱移动的动子，上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈箱之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈箱相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈箱与上述动子之间的距离小。本专利技术的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈；以及沿着上述多个线圈移动的动子，上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，以上述大间隔配置的线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。本专利技术的搬送装置，其特征在于，具有：沿着第1方向配置的多个线圈箱；以及沿着上述多个线圈箱移动的动子，上述多个线圈箱具有与两个邻近的线圈箱之间的间隔以规定间隔配置的线圈箱、以及与两个邻近线圈箱之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈箱，以上述大间隔配置的线圈箱朝由上述大间隔形成的空间地配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。本专利技术的物品制造方法，其特征在于，对利用上述的搬送装置搬送来的工件进行加工，从而制造物品。通过以下示例性实施方式的描述(参考附图)，本专利技术的其他特征将变得显而易见。附图说明图1A是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图1B是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图2是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图3是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图4是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图5是示出本专利技术的第1实施方式的概略图。图6是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图7是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图8A是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图8B是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图9是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图10A是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图10B是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图10C是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图11A是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图11B是对本专利技术的第1实施方式进行说明的概略图。图12是对本专利技术的第2实施方式进行说明的概略图。图13A是对本专利技术的第3实施方式进行说明的概略图。图13B是对本专利技术的第3实施方式进行说明的概略图。具体实施方式[第1实施方式]以下，参照附图，利用图1A至图9对本专利技术的第1实施方式进行说明。图1A以及图1B是示出根据本实施方式的包括动子101以及定子201a、201b的搬送系统的整体构成的概略图。另外，图1A以及图1B将动子101以及定子201a、201b的主要部分去掉来进行表示。另外，图1A是从后述的Y方向观看动子101的图，图1B是从后述的Z方向观看动子101的图。图1A示出了在定子201a与定子201b之间存在例如阀门等结构物(100)的场所。也就是，示出的是在生产线内或是生产线之间的多个工位间无法连续地配置电磁铁和线圈的场所。在本实施方式中，记载了隔着结构物地配置两个定子的场合，但并不限于此，也可以是定子为一个且在线圈与线圈之间存在空间(间隙)的场合。本实施方式通过将与无法连续配置电磁铁和线圈的场所邻接的线圈的位置(芯的位置)配置在比其他线圈(芯)低的位置(与动子接近的位置)，从而抑制动子的倾斜或下落。在本实施方式中，只要不需要特别区分，则将定子简记为“定子201”。在需要单独确定各定子201的场合，记载成“定子201a”、“定子201b”地来单独确定各定子201。首先，使用图1A以及图1B对根据本实施方式的具有搬送装置的搬送系统的整体构成进行说明。如图1A以及图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬送装置，其特征在于，具有：/n沿着第1方向配置的多个线圈；以及/n沿着上述多个线圈移动的动子，/n上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，/n配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。/n

【技术特征摘要】
20181207 JP 2018-230243;20191107 JP 2019-2027801.一种搬送装置，其特征在于，具有：
沿着第1方向配置的多个线圈；以及
沿着上述多个线圈移动的动子，
上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，
配置成以下位置关系：上述动子经过跟以上述大间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述大间隔配置的线圈与上述动子之间的距离，比上述动子经过跟与两个邻近的线圈之间的间隔以上述规定间隔配置的线圈相向的区域时的、以上述规定间隔配置的线圈与上述动子之间的距离小。


2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
在以上述大间隔配置的线圈之间，配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。


3.如权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，
上述强磁性体或相对导磁率为10以上的部件从上述线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置。


4.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
以上述大间隔配置的线圈的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，相比以上述规定间隔配置的线圈的跟动子相向的面的、在上述动子经过时与上述动子之间的距离，小了上述规定间隔与上述大间隔之差的3％以上且15％以下的距离。


5.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方向交叉的第2方向配置的第2磁铁群。


6.如权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，
上述第1磁铁群以及上述第2磁铁群配置在上述动子的上表面。


7.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。


8.一种搬送装置，其特征在于，具有：
沿着第1方向配置的多个线圈；以及
沿着上述多个线圈移动的动子，
上述多个线圈具有与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈、以及与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈，
上述的与两个邻近的线圈之间的间隔以规定间隔配置的线圈的芯，比上述的与两个邻近的线圈之间的间隔中的一方以大于上述规定间隔的大间隔配置的线圈的芯小。


9.如权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，
在以上述大间隔配置的线圈之间，从上述线圈朝由上述大间隔形成的空间地配置有强磁性体或相对导磁率为10以上的部件。


10.如权利要求8或9所述的搬送装置，其特征在于，
上述动子具有沿着第1方向配置的第1磁铁群和沿着与上述第1方...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本武，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP