保护部件形成装置制造方法及图纸

提供保护部件形成装置，能够在片不起皱的情况下将该片载置于载台上。该保护部件形成装置包含：载台，其对片进行载置，具有被框体围绕的卡盘工作台；多个空气提供口，它们分别形成于框体，与空气提供源连通；能够移动的保持单元，其与载台面对，对晶片进行保持；树脂提供单元，其向片上提供液态树脂；以及按压垫，其被支承为能够在与片面对的位置沿上下方向移动。按压垫在比多个空气提供口靠内侧的区域与载置于载台上的片的一部分接触而对片进行按压。

【技术实现步骤摘要】
保护部件形成装置
本专利技术涉及在晶片的第1面上形成保护部件的装置。
技术介绍
在利用线切割机对圆柱状的锭进行切片而形成圆板状的晶片的情况下，当进行切片时，在晶片上产生翘曲或起伏。为了将这些翘曲或起伏去除，以往已知有如下的技术：在晶片的第1面上涂布树脂并使其硬化而形成保护部件(例如参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2016-167546号公报在这种技术中，向载置于载台上的片上提供(滴加)树脂，朝向该树脂按压晶片，从而在晶片的下表面(第1面)上均匀地涂布树脂而形成保护部件。但是，在以往的结构中，存在如下的问题：在将片载置于载台上时，片会起皱。
技术实现思路
由此，本专利技术的目的在于提供保护部件形成装置，其能够在片不起皱的情况下将该片载置于载台上。根据本专利技术，提供保护部件形成装置，其在具有第1面和与该第1面相反的一侧的第2面的晶片的该第1面上形成保护部件，其中，该保护部件形成装置具有：载台，其对片进行载置，具有被框体围绕的卡盘工作台，在该框体中形成有分别与空气提供源连通的多个空气提供口；能够移动的保持单元，其与该载台面对，对该晶片进行保持；树脂提供单元，其向该片上提供树脂；片按压垫，其被支承为能够在与该片面对的位置沿上下方向移动；以及控制单元，其对该保持单元、该树脂提供单元以及该片按压垫的动作进行控制，该控制单元如下进行控制：在使该片按压垫与载置于该载台的该片的中央部分接触的状态下从该空气提供源提供空气，使该片的未与该片按压垫接触的区域从该载台浮起而向外周方向滑动，从而使该片的褶皱伸展。根据该结构，片按压垫在比多个空气提供口靠内侧的区域与载置于载台上且覆盖多个空气提供口的片的一部分接触而对该片进行按压，因此通过从空气提供口提供空气，使片的未与片按压垫接触的区域从载台浮起而向外周方向滑动，从而能够使片的褶皱伸展。因此，能够在片不起皱的情况下将该片载置在载台上。优选该载台的该框体涂布有氟树脂。根据本专利技术，片按压垫在比多个空气提供口靠内侧的区域与载置于载台上且覆盖多个空气提供口的片的一部分接触而对该片进行按压，因此通过从空气提供口提供空气，使片的未与片按压垫接触的区域从载台浮起而向外周方向滑动，从而能够使片的褶皱伸展。因此，能够在片不起皱的情况下将该片载置在载台上。附图说明图1是本专利技术实施方式的保护部件形成装置的示意图。图2是锭和从锭切片得到的晶片的示意图。图3是载台的俯视图。图4是示出将片载置于载台上的动作的示意性剖视图。图5是示出执行片的除皱的动作的示意性剖视图。图6是示出执行了除皱后的载置于载台上的片的示意性剖视图。图7是示出向片上提供液态树脂的动作的示意性剖视图。图8是示出将晶片搬送至液态树脂上的动作的示意性剖视图。图9是示出使液态树脂硬化而形成晶片的保护部件的动作的示意性剖视图。标号说明1：晶片；1A：上表面；1B：下表面(第1面)；3：片；3A：内侧的区域；3B：外侧的区域(片的未与片按压垫接触的区域)；10：载台；11：载台主体(框体)；11A：上表面；12：玻璃台(卡盘工作台)；13：灯；14：空气提供口；16：空气提供源；30：片按压单元；33：垫框架；34：按压垫(片按压垫)；34A：中央部；34B：外缘部；40：树脂提供单元；41：提供喷嘴；42：液态树脂(树脂)；43：保护部件；50：晶片搬送单元(保持单元)；52：保持部；52A：下表面(保持面)；60：控制单元；100：保护部件形成装置。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。本专利技术并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本专利技术的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。图1是本实施方式的保护部件形成装置的示意图。图2是要使用保护部件形成装置形成保护部件的晶片的示意图。如图2所示，要使用本实施方式的保护部件形成装置形成保护部件的晶片1是形成器件图案前的晶片，例如是通过线切割机(未图示)将硅(Si)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)等圆柱状的锭2切片(切断)成圆板状而得到的原切片晶片。这种晶片1在双面(上表面1A和下表面1B)上包含通过线切割机切出时所产生的起伏或翘曲等变形要素。为了将这些起伏或翘曲去除，例如在对晶片1的下表面1B(第1面)涂布树脂而形成保护部件之后，依次对晶片1的双面进行磨削而进行平坦化。如图1所示，本实施方式的保护部件形成装置100具有载台10、片搬送装置20、片按压单元30、树脂提供单元40、晶片搬送单元(保持单元)50以及控制单元60。另外，在图1中，示意性示出保护部件形成装置100的构成要素，并不表示各构成要素的配置关系。接着，对保护部件形成装置100的构成要素进行说明。图3是载台的俯视图。载台10作为在晶片1的第1面上形成保护部件时的作业台发挥功能，如图3所示，载台10具有：载台主体(框体)11，其形成为框状；玻璃台(卡盘工作台)12，其设置于该载台主体11的上部；以及多个UV(紫外线)灯13，它们配置在载台主体11内。如图3所示，载台主体11形成为俯视矩形状，在中央部设置有圆形的玻璃台12。即，玻璃台12被作为框体的载台主体11围绕。玻璃台12的上表面12A形成为平坦，作为片3的载置面。另外，玻璃台12只要是透过上述灯13照射的紫外线的材质，则也可以不是玻璃。在载台主体11上，在玻璃台12的周围设置有多个空气提供口14。在本实施方式中，如图3所示，在圆形的玻璃台12的周围隔开间隔而呈圆环状配置有多个空气提供口14。这些空气提供口14经由提供路15而与空气提供源16连接，从空气提供口14分别喷出空气。在图1中，空气提供口14形成为与载台主体11的上表面11A垂直，但优选空气提供口14呈放射状朝向玻璃台12的外侧而形成。另外，在载台主体11上，在空气提供口14的外侧呈圆环状配置有多个吸引口(未图示)。这些吸引口与吸引源(未图示)连接，对载置面作用吸引力而能够将片3吸引保持于载台10。另外，如图1所示，在载台主体11的上表面11A上例如实施基于氟树脂的涂布加工(正面加工)。与金属相比，氟树脂的摩擦系数格外小，因此载置于载台10上的片3在载台主体11的上表面11A上良好地滑动。另外，这种涂布加工有时对载台主体11的整个上表面11A实施，但只要从玻璃台12呈放射状连续地延伸，则可以部分地实施。如图1所示，片搬送装置20对片3进行搬送而载置在载台10上。片3防止液态树脂直接滴加在载台10上，从而保护载台10的上表面不被刮伤并防止扫除的麻烦。另外，片3使涂布有液态树脂的晶片1的操作(处理)容易。片3具有一定程度的柔软性，如图3所示，片3形成为与载台10同等或略小。片3的形状与载台10同样地形成为矩形(四边形)，但并不限于此，也可以形成为圆形等。另外，片3的材质使用聚烯烃(p本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保护部件形成装置，其在具有第1面和与该第1面相反的一侧的第2面的晶片的该第1面上形成保护部件，其中，/n该保护部件形成装置具有：/n载台，其对片进行载置，具有被框体围绕的卡盘工作台，在该框体中形成有分别与空气提供源连通的多个空气提供口；/n能够移动的保持单元，其与该载台面对，对该晶片进行保持；/n树脂提供单元，其向该片上提供树脂；/n片按压垫，其被支承为能够在与该片面对的位置沿上下方向移动；以及/n控制单元，其对该保持单元、该树脂提供单元以及该片按压垫的动作进行控制，/n该控制单元如下进行控制：在使该片按压垫与载置于该载台的该片的中央部分接触的状态下从该空气提供源提供空气，使该片的未与该片按压垫接触的区域从该载台浮起而向外周方向滑动，从而使该片的褶皱伸展。/n

【技术特征摘要】
20181207 JP 2018-2302161.一种保护部件形成装置，其在具有第1面和与该第1面相反的一侧的第2面的晶片的该第1面上形成保护部件，其中，
该保护部件形成装置具有：
载台，其对片进行载置，具有被框体围绕的卡盘工作台，在该框体中形成有分别与空气提供源连通的多个空气提供口；
能够移动的保持单元，其与该载台面对，对该晶片进行保持；
树脂提供单元，其向该片上提供树脂；
片按压垫，其被支承为能够在与该片面对的位置沿上下方向移动；以及
控制单元，其对该保持单元、该树脂提供单元以及该片按压垫的动作进行控制，
该控制单元如下进行控制：在使该片按压垫与载置于该载台的该片的中央部分接触的状态下从该空气提供源提供空气，使该片的未与该...

【专利技术属性】
技术研发人员：椙浦一辉，柿沼良典，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP