电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备制造技术

本发明专利技术提供一种电磁波检测组件，其中在通过将用于检测电磁波的多个检测元件按二维阵列排列所构成的电磁波检测部件的各检测元件与该电磁波检测部件的外侧的预定连接目的地之间以良好的可制造性且以尽可能不在电磁波的检测中造成麻烦的方式形成布线。包括沿Y方向排列的M个(M是2以上的整数)检测元件的检测元件组在与Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列(N是2以上的整数)，并且在同一基板面上设置将M×N个检测元件中的各检测元件与电磁波检测部件的Y轴方向上的任一端外侧的预定连接目的地电气连接的M×N个布线。

Electromagnetic wave inspection component, array of electromagnetic wave inspection component and nondestructive inspection equipment

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备
本专利技术涉及电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备，其各自具有如下的结构：在包括多个检测元件的电磁波检测部件的外侧有效地引出来自各检测元件的布线。
技术介绍
通常，在从产品的制造到包装和装运的各处理中，利用适合于要检查的产品或可能混入的异物的类型(材料、大小等)的检查方法进行检查，以确认在产品或包装中是否存在任何异物等。其中，在使用针对各物质的电磁波渗透性的差异的无损检查中，利用诸如X射线等的电磁波照射待检查物体，并且检测透过的电磁波。此时，电磁波的透过程度根据待检查物体中的异物的有无以及异物的材料等而不同。因此，通过生成用浓淡(shading)等表示所检测到的透过电磁波的强度分布的二维图像，可以检查从外观无法知晓的待检查物体内部的状况。更具体地，例如，与待检查物体的输送方向垂直的线传感器周期性地扫描来自在被电磁波照射的同时输送的待检查物体的透过电磁波，并且顺次生成线状的电磁波透过图像。然后，可以通过将待检查物体的二维图像沿扫描方向顺次排列来生成这些二维图像(例如，参见专利文献1)。为了从构成线传感器的多个检测元件读出信号，主要采用CMOS方式或CCD方式。在CMOS方式中，从构成线传感器的各个检测元件输出的电荷由电荷放大器转换成电气信号，然后通过使用开关或移位寄存器来顺次读出。作为用于在基板上实现这些功能单元的方法其中之一，存在如下的方法：在基板上形成包括多个检测元件的线传感器、以及作为包括电荷放大器和移位寄存器等的CMOS信号处理IC的读取单元，并且这些单元通过图案化布线等彼此电气连接。图8示出如下的示例：在同一基板上形成作为电磁波检测部件的线传感器30以及读取部件40，并且在构成线传感器30的六个检测元件a1～f1各自与读取部件40之间形成布线a1w～f1w。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-020843
技术实现思路
专利技术要解决的问题无损检查设备中所采用的电磁波检测部件不一定是线传感器，并且例如，可以采用按二维阵列排列的多个检测元件。在电磁波检测部件例如用作区域传感器或TDI传感器的情况下采用这样的排列。这样的排列例如可以通过将图8所示的多个线传感器沿待检查物体的输送方向排列来实现。然而，在该图中的线传感器30的左侧排列其它线传感器的情况下，由于至少线传感器30存在于其它线传感器的右侧，因此如何将布线从构成其它线传感器的多个检测元件中的各检测元件路由到读取部件40成为问题。本专利技术的目的是提供一种电磁波检测组件、电磁波检测组件阵列和无损检查设备，其中，在通过将用于检测电磁波的多个检测元件按二维阵列排列所构成的电磁波检测部件的各检测元件与该电磁波检测部件的外侧的预定连接目的地之间，以良好的可制造性并且因此以尽可能不干扰电磁波的检测的方式形成布线。用于解决问题的方案(1)本专利技术的电磁波检测组件是一种电磁波检测组件，其在同一基板面上包括：电磁波检测部件，在所述电磁波检测部件中，沿Y轴方向排列的M个检测元件的检测元件组在与所述Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列，其中M是2或更大的整数，并且N是2或更大的整数；以及M×N个布线，用于将M×N个所述检测元件中的各检测元件与所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的一端外侧的预定连接目的地电气连接。通过以这种方式路由布线，可以利用平面构造并且在不会增加零件的数量的情况下引出布线，使得可制造性良好。除了结构简单之外，由于布线未堆叠在检测元件上，因此还可以避免由于堆叠引起的对电磁波的检测的干扰。(2)对于所有的所述检测元件组，来自属于所述检测元件组的各检测元件的布线可被路由通过该检测元件组与所述电磁波检测部件的所述X轴方向上的同一端侧上的邻接检测元件组之间的间隙。通过以这种方式路由布线，可以使从检测元件到读取部件或端子阵列的布线距离最小化，并且可以将要路由通过检测元件的布线的数量最多限制到属于检测元件组的检测元件的数量。因此，可以以能够抑制制造成本、几乎不会施加噪声并且电磁波的检测灵敏度不会极大恶化的方式形成布线。(3)所述预定连接目的地可以是针对各布线所设置的并且以一对一的方式电气连接至M×N个所述检测元件中的各检测元件。结果，各检测检测元件可以连接至诸如电荷放大器等的单独电路，并且可以单独处理来自各检测元件的输出。(4)所述预定连接目的地也可以设置在所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的另一端外侧，以及针对各检测元件组，来自属于该检测元件组的各检测元件的布线是以与任何邻接检测元件的中间作为边界而从所述一端的检测元件连接至所述一端外侧的预定连接目的地，并且所述另一端的检测元件连接至所述另一端外侧的预定连接目的地。通过在Y轴方向上的两端设置预定连接目的地，与设置仅一端或另一端的情况相比，布线路径在更大程度上分散，并且可以减少在邻接检测元件之间路由的布线的数量。因此，可以进一步抑制由于存在布线而导致检测元件的露出面积的减少，并且进一步抑制检测灵敏度的下降。(5)在将检测元件连接至一端侧的预定连接目的地或另一端侧的预定连接目的地之间的边界例如可被设置成：夹持所述边界的检测元件的数量在M是偶数的情况下变为(M/2)，并且在M是奇数的情况下变为((M+1)/2)和((M-1)/2)。这使得可以进一步减小在检测元件之间路由的布线的数量的最大值，并且进一步缩短布线的最大长度。因此，可以进一步抑制检测灵敏度的下降，并且进一步减轻噪声对布线的影响。(6)本专利技术的多个电磁波检测组件可以沿X轴方向排列以形成电磁波检测组件阵列。(7)在采用本专利技术的电磁波检测组件或电磁波检测组件阵列的无损检查设备中，与采用传统组件的情况相比，可以在成本和性能方面获得优良的效果。(8)本专利技术的无损检查设备还可以包括：电磁波照射部件，用于利用预定电磁波来照射待检查物体；以及输送部件，用于沿预定方向输送放置在输送面上的所述待检查物体，并且所述电磁波检测组件可被布置在从所述电磁波照射部件、经由所述输送面的放置有所述待检查物体的部分、到达所述电磁波检测组件的电磁波的传播路径中，使得与所述输送面的分离距离短于所述电磁波照射部件和所述输送面之间的分离距离，并且所述电磁波检测组件可被配置为对透过所述待检查物体的电磁波进行检测。(9)本专利技术的无损检查设备还可以包括输送部件，所述输送部件用于沿预定方向输送利用电磁波照射的待检查物体，并且所述输送部件的内部所设置的电磁波检测组件可以对透过所述待检查物体的电磁波进行检测。附图说明图1是示出包括本专利技术的电磁波检测组件的无损检查设备的结构的示例的功能框图。图2是示出包括本专利技术的电磁波检测组件的无损检查设备的结构的另一示例的功能框图。图3是示出根据第一实施例的电磁波检测组件的结构的示例的图。图4是示出在另一基板上形成图3的结构中的读取部件的情况下的结构的示例的图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁波检测组件，其在同一基板面上包括：/n电磁波检测部件，在所述电磁波检测部件中，沿Y轴方向排列的M个检测元件的检测元件组在与所述Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列，其中M是2或更大的整数，并且N是2或更大的整数；以及/nM×N个布线，用于将M×N个所述检测元件中的各检测元件与所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的一端外侧的预定连接目的地电气连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电磁波检测组件，其在同一基板面上包括：
电磁波检测部件，在所述电磁波检测部件中，沿Y轴方向排列的M个检测元件的检测元件组在与所述Y轴方向垂直的X轴方向上排列成N列，其中M是2或更大的整数，并且N是2或更大的整数；以及
M×N个布线，用于将M×N个所述检测元件中的各检测元件与所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的一端外侧的预定连接目的地电气连接。


2.根据权利要求1所述的电磁波检测组件，其中，对于所有的所述检测元件组，来自属于所述检测元件组的各检测元件的布线被路由通过该检测元件组与所述电磁波检测部件的所述X轴方向上的同一端侧上的邻接检测元件组之间的间隙。


3.根据权利要求1或2所述的电磁波检测组件，其中，所述预定连接目的地是针对所述布线中的各布线所设置的以一对一的方式连接至M×N个所述检测元件中的各检测元件的连接目的地。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的电磁波检测组件，其中，所述预定连接目的地也设置在所述电磁波检测部件的所述Y轴方向上的另一端外侧，以及
其中，针对各所述检测元件组，来自属于该检测元件组的各检测元件的布线是以与任何邻接检测元件的中间作为边界而从所述一端的检测元件连接至所述一端外侧的预定连接目的地，并且所述另一端的检测元件连接至所述另一端外侧的预定连接目的地。


5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田伦秋，森山淳児，
申请(专利权)人：世高株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP