【技术实现步骤摘要】
一种时钟发生电路和测试机
本专利技术涉及半导体
，尤指一种时钟发生电路和测试机。
技术介绍
在生产出芯片后，需要使用测试机对芯片的工作电气性能进行测试，检测芯片是否能够正常工作并满足设计要求，以便提升芯片生产质量。在相关技术中通常使用测试机进行测试，通常测试机会通过弹簧针直接与测试板接触，直接供应时钟信号。时钟供应子模块设计在测试机内部，一旦测试机研发完成，测试提供的时钟类型就完全确定，无法达到高速应用中的时钟测试频率，很难再额外增加时钟供应子模块，除非研发新款测试机，但该方案成本很高，很难实现。然而在很多高速应用中，对于时钟的要求又比较苛刻，时钟抖动要求在飞秒级别，一般测试机很难满足测试要求。因此，如何提供一种低成本、易实现且满足高速芯片的测试需求的低抖动时钟信号是亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种时钟发生电路和测试机，实现有效降低研发成本，节约设计时间，同时具备非常好的灵活性，可以根据需要提供符合待测晶圆的时钟信号，满足芯片测试需求。本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种时钟发生电路，包括：低频时钟信号输入模块，用于接入测试机产生的低频时钟信号；时钟信号转换模块，用于将所述低频时钟信号转换为预设高频时钟信号；高频时钟信号输出模块，用于将所述预设高频时钟信号提供给待测晶圆，以便所述测试机对所述待测晶圆进行测试。本专利技术还提供一种测试机，包括测试头和测试板，所述测试板12设有所述的时钟发生...
【技术保护点】
1.一种时钟发生电路，其特征在于，包括：/n低频时钟信号输入模块，用于接入测试机产生的低频时钟信号；/n时钟信号转换模块，用于将所述低频时钟信号转换为预设高频时钟信号；/n高频时钟信号输出模块，用于将所述预设高频时钟信号提供给待测晶圆，以便所述测试机对所述待测晶圆进行测试。/n
【技术特征摘要】
1.一种时钟发生电路，其特征在于，包括：
低频时钟信号输入模块，用于接入测试机产生的低频时钟信号；
时钟信号转换模块，用于将所述低频时钟信号转换为预设高频时钟信号；
高频时钟信号输出模块，用于将所述预设高频时钟信号提供给待测晶圆，以便所述测试机对所述待测晶圆进行测试。
2.根据权利要求1所述的时钟发生电路，其特征在于，还包括：供电模块；
所述供电模块，与所述时钟信号转换模块连接，用于接入测试机提供的供电电源，将所述供电电源转换为芯片工作电压，并为所述低频时钟信号输入模块和所述时钟信号转换模块提供所述供电电源，为所述时钟信号转换模块提供芯片工作电压和芯片供电电压。
3.根据权利要求2所述的时钟发生电路，其特征在于，供电模块包括：电压转换子模块、滤波子模块；
所述电压转换子模块，用于将接入的供电电源转换为芯片工作电压；
所述滤波子模块，用于将接入的芯片工作电压进行滤波处理输出对应的芯片供电电压。
4.根据权利要求3所述的时钟发生电路，其特征在于：
所述电压转换子模块包括：电容、零欧姆电阻、电阻和低压降稳压器；
第一零欧姆电阻的第一端接入所述供电电源，所述第一零欧姆电阻的第二端分别与第一电容、第八电容和第一电阻串联后，分别与所述低压降稳压器的三个电源输入引脚连接；
所述低压降稳压器的使能引脚与第十二电容连接后接地，所述第十二电容与所述第一电阻串联；
所述低压降稳压器的软启动引脚与所述低压降稳压器的第一接地引脚、第二接地引脚和封装引脚分别通过第十三电容连接后接数字地；
所述低压降稳压器的反馈引脚分别与第三电阻和第四电阻后接数字地；
所述低压降稳压器的反馈引脚通过第十一电容分别与所述低压降稳压器的三个电压输出引脚连接后输出所述芯片工作电压。
5.根据权利要求3所述的时钟发生电路，其特征在于，所述滤波子模块包括：
所述滤波子模块包括五个初级LC单元和七个次级LC单元；
所述五个初级LC单元，用于将接入的芯片工作电压进行初次低通滤波；所述七个次级LC单元，用于将接入的芯片工作电压进行二次低通滤波；
所述五个初级LC单元包括第一初级LC单元、第二初级LC单元、第三初级LC单元、第四初级LC单元、第五初级LC单元，所述七个次级LC单元包括第一次级LC单元、第二次级LC单元、第三次级LC单元、第四次级LC单元、第五次级LC单元、第六次级LC单元和第七次级LC单元；
所述五个初级LC单元的电源输入端分别接入芯片工作电压；
所述第一初级LC单元的电源输出端分别与所述第一次级LC单元、第二次级LC单元的电源输入端连接；
所述第二初级LC单元的电源输出端分别与所述第三次级LC单元、第四次级LC单元的电源输入端连接；
所述第三初级LC单元、第四初级LC单元、第五初级LC单元的电源输出端分别与所述第五次级LC单元、第六次级LC单元和第七次级LC单元的电源输入端一一对应连接；
所述七个次级LC单元的电源输出端分别输出第一芯片供电电压、第二芯片供电电压、第三芯片供电电压、第四芯片供电电压、第五芯片供电电压、第六芯片供电电压和第七芯片供电电压。
6.根据权利要求5所述的时钟发生电路，其特征在于，所述低频时钟信号输入模块包括：第一连接器；
所述第一连接器的八个电源输入引脚分别接入所述测试机提供的供电电源；
所述第一连接器的频率选择引脚输出选频控制信号；
所述第一连接器的六个开关控制引脚分别输出开关控制信号；
所述第一连接器的第一输出引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输出所述测试机产生的第一正极低频时钟信号和第一负极低频时钟信号；
所述第一连接器的第二输出引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输出所述测试机产生的第二正极低频时钟信号和第二负极低频时钟信号；
所述第一连接器的第三输出引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输出所述测试机产生的第三正极低频时钟信号和第三负极低频时钟信号；
所述第一连接器的片选信号引脚输出所述测试机输入的片选信号；
所述第一连接器的系统时钟信号输入引脚输出所述测试机提供的系统时钟信号；
所述第一连接器的中断控制引脚输出中断控制信号；
所述第一连接器的复位引脚输出复位信号；
所述第一连接器的第一状态控制引脚和第二状态控制引脚分别输出第一状态控制信号和第二状态控制信号；
所述第一连接器的第一时钟选择引脚和第二时钟选择引脚分别输出第一时钟选择信号和第二时钟选择信号；
所述第一连接器的接地引脚分别接数字地。
7.根据权利要求6所述的时钟发生电路，其特征在于，所述高频时钟信号输出模块包括：第二连接器和高频继电器；
所述第二连接器的第一输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第一正极时钟信号和第一负极时钟信号；
所述第二连接器的第二输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第二正极时钟信号和第二负极时钟信号；
所述第二连接器的第三输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第三正极时钟信号和第三负极时钟信号；
所述第二连接器的第四输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第四正极时钟信号和第四负极时钟信号；
所述第二连接器的第五输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第五正极时钟信号和第五负极时钟信号；
所述第二连接器的第六输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第六正极时钟信号和第六负极时钟信号；
所述第二连接器的第七输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第七正极时钟信号和第七负极时钟信号；
所述第二连接器的第八输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第八正极时钟信号和第八负极时钟信号；
所述第二连接器的第九输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第九正极时钟信号和第九负极时钟信号；
所述第二连接器的第十输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第十正极时钟信号和第十负极时钟信号；
所述第二连接器的第十一输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第十一正极时钟信号和第十一负极时钟信号；
所述第二连接器的第十二输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第十二正极时钟信号和第十二负极时钟信号；
所述第二连接器的第十三输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第十三正极时钟信号和第十三负极时钟信号；
所述第二连接器的第十四输入引脚对中的正极引脚和负极引脚分别输入所述时钟信号转换模块产生的第十四正极时钟信号和第十四负极时钟信号；
所述第二连接器的第一输出引脚对、第二输出引脚对、第三输出引脚对、第四输出引脚对、第五输出引脚对、第六输出引脚对中的正极引脚和负极引脚分别与第一高频继电器、第二高频继电器、第三高频继电器、第四高频继电器、第五高频继电器、第六高频继电器的第三端口和第六端口连接；
所述第二连接器的接地引脚分别接数字地；
所述第一高频继电器、第二高频继电器、第三高频继电器、第四高频继电器、第...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁建，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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