一种晶圆研磨机用进料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台、进料托盘托架、进料托盘、红外线接收器、单片机和电动推杆，所述进料托盘的顶部开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽的中心位置开设有气槽，所述进料托盘的底部表面中间位置设置有与气槽相连通的电动推杆安装筒，且电动推杆安装筒与进料托盘为一体式结构，所述电动推杆安装筒的底部表面上设置有电动推杆，所述电动推杆通过螺丝与电动推杆安装筒固定连接，且电动推杆的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒的内部，本实用新型专利技术在使用时，通过电动推杆带动活塞向下移动，使气槽和电动推杆安装筒内部产生负压，从而使的晶圆紧紧的吸附在晶圆放置槽的内部，能有效的防止晶圆滑动。

A feeding device for wafer grinder

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆研磨机用进料装置
本技术涉及晶圆研磨机
，具体为一种晶圆研磨机用进料装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。研磨是晶圆生产过程中的一个重压环节，目前一般采用晶圆研磨机对晶圆进行研磨，但目前的晶圆研磨机在打磨时，晶圆容易受到打磨的摩擦力的作用而出现滑动，容易造成晶圆打磨不充分的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆研磨机用进料装置，以解决现有技术中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台、进料托盘托架、进料托盘、红外线接收器、单片机和电动推杆，所述进料托盘的顶部开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽的中心位置开设有气槽，所述进料托盘的底部表面中间位置设置有与气槽相连通的电动推杆安装筒，且电动推杆安装筒与进料托盘为一体式结构，所述电动推杆安装筒的底部表面上设置有电动推杆，所述电动推杆通过螺丝与电动推杆安装筒固定连接，且电动推杆的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒的内部，所述电动推杆的伸缩端上固定安装有活塞，且活塞与电动推杆安装筒为间隙配合，所述进料托盘的边缘一端设置有红外线接收器固定架，且红外线接收器固定架的内部安装有红外线接收器。优选的，所述旋转台由晶圆研磨机上的进料电机进行带动旋转，所述旋转台的顶部表面两侧各设置有一个进料托盘托架，所述进料托盘托架远离旋转台的一端固定设置有一个进料托盘。r>优选的，所述旋转台的下部表面上设置有一个单片机安装台，且单片机安装台与旋转台为一体式结构，所述单片机通过螺丝固定安装在单片机安装台的表面上，所述单片机通过导线分别与红外线接收器、电动推杆电性连接。优选的，所述晶圆放置槽的侧壁上设置有与进料托盘固定连接的防护橡胶圈，所述晶圆放置槽的一侧开设有豁口。优选的，所述进料托盘托架的一端上部固定连接有与进料托盘相配合的弧形连接板，所述进料托盘托架的一端下部固定设置有托板。优选的，所述弧形连接板和托板的表面上均开设有螺丝安装孔，且弧形连接板和托板均通过螺丝与进料托盘固定连接。优选的，所述进料托盘托架焊接固定在旋转台的表面上，且两个进料托盘托架对称设置。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术在使用时，通过电动推杆带动活塞向下移动，使气槽和电动推杆安装筒内部产生负压，从而使的晶圆紧紧的吸附在晶圆放置槽的内部，能有效的防止晶圆滑动。2、本技术通过进料电机带动旋转台旋转，使得两个进料托盘轮流进入晶圆研磨机的打磨工位，能有效的提高晶圆的打磨效率，降低工作人员的工作负担。3、通过在晶圆放置槽的侧壁上设置防护橡胶圈，能防止晶圆碰撞晶圆放置槽的侧壁造成晶圆损坏的问题，通过在晶圆放置槽7的一侧开设有豁口，有利于工作人员平稳的将晶圆放入晶圆放置槽内部或将晶圆从晶圆放置槽中取出。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的进料托盘内部结构示意图；图3为本技术的进料托盘托架立体结构示意图；图4为本技术的进料托盘托架俯视结构示意图。图中：1、旋转台；2、进料托盘托架；3、进料托盘；4、气槽；5、红外线接收器；6、红外线接收器固定架；7、晶圆放置槽；8、豁口；9、单片机；10、单片机安装台；11、活塞；12、电动推杆安装筒；13、电动推杆；14、弧形连接板；15、托板；16、螺丝安装孔；17、防护橡胶圈。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1和图2，本技术实施例中，一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台1、进料托盘托架2、进料托盘3、红外线接收器5、单片机9和电动推杆13，进料托盘3的顶部开设有晶圆放置槽7，晶圆放置槽7的中心位置开设有气槽4，进料托盘3的底部表面中间位置设置有与气槽4相连通的电动推杆安装筒12，且电动推杆安装筒12与进料托盘3为一体式结构，电动推杆安装筒12的底部表面上设置有电动推杆13，电动推杆13通过螺丝与电动推杆安装筒12固定连接，且电动推杆13的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒12的内部，电动推杆13的伸缩端上固定安装有活塞11，且活塞11与电动推杆安装筒12为间隙配合，进料托盘3的边缘一端设置有红外线接收器固定架6，且红外线接收器固定架6的内部安装有红外线接收器5。请参阅图1，旋转台1由晶圆研磨机上的进料电机进行带动旋转，旋转台1的顶部表面两侧各设置有一个进料托盘托架2，进料托盘托架2远离旋转台1的一端固定设置有一个进料托盘3，旋转台1的下部表面上设置有一个单片机安装台10，且单片机安装台10与旋转台1为一体式结构，单片机9通过螺丝固定安装在单片机安装台10的表面上，单片机9通过导线分别与红外线接收器5、电动推杆13电性连接。请参阅图1，晶圆放置槽7的侧壁上设置有与进料托盘3固定连接的防护橡胶圈17，晶圆放置槽7的一侧开设有豁口8。请参阅图3和图4，进料托盘托架2的一端上部固定连接有与进料托盘3相配合的弧形连接板14，进料托盘托架2的一端下部固定设置有托板15。请参阅图1，弧形连接板14和托板15的表面上均开设有螺丝安装孔16，且弧形连接板14和托板15均通过螺丝与进料托盘3固定连接。请参阅图1，进料托盘托架2焊接固定在旋转台1的表面上，且两个进料托盘托架2对称设置。本技术的工作原理及使用流程：在使用时，晶圆放置在晶圆放置槽7中，气槽4受到晶圆的遮挡变为密闭空间，在打磨时，电动推杆13产生收缩，带动活塞11向下移动，此时气槽4和电动推杆安装筒12内部会产生负压，进而紧紧吸附住放置在晶圆放置槽7中的晶圆，有利于避免晶圆产生滑动，在打磨完成后，电动推杆13产生伸长，推动活塞11向上移动，使气槽4和电动推杆安装筒12的内部气压恢复正常，本技术在使用之前需要在晶圆研磨机的打磨工位的合适位置上安装红外线发生器并接上电源，在运行时，晶圆打磨机的进料电机带动旋转台1旋转，当放置有晶圆的进料托盘3达到打磨工位时，外线接收器5会接收到红外线发生器产生的信号，此时单片机9发出信号使进料电机停止工作，在打磨完成后，进料电机再次工作，将打磨后的晶圆移出打磨工位。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台（1）、进料托盘托架（2）、进料托盘（3）、红外线接收器（5）、单片机（9）和电动推杆（13），其特征在于：所述进料托盘（3）的顶部开设有晶圆放置槽（7），所述晶圆放置槽（7）的中心位置开设有气槽（4），所述进料托盘（3）的底部表面中间位置设置有与气槽（4）相连通的电动推杆安装筒（12），且电动推杆安装筒（12）与进料托盘（3）为一体式结构，所述电动推杆安装筒（12）的底部表面上设置有电动推杆（13），所述电动推杆（13）通过螺丝与电动推杆安装筒（12）固定连接，且电动推杆（13）的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒（12）的内部，所述电动推杆（13）的伸缩端上固定安装有活塞（11），且活塞（11）与电动推杆安装筒（12）为间隙配合，所述进料托盘（3）的边缘一端设置有红外线接收器固定架（6），且红外线接收器固定架（6）的内部安装有红外线接收器（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台（1）、进料托盘托架（2）、进料托盘（3）、红外线接收器（5）、单片机（9）和电动推杆（13），其特征在于：所述进料托盘（3）的顶部开设有晶圆放置槽（7），所述晶圆放置槽（7）的中心位置开设有气槽（4），所述进料托盘（3）的底部表面中间位置设置有与气槽（4）相连通的电动推杆安装筒（12），且电动推杆安装筒（12）与进料托盘（3）为一体式结构，所述电动推杆安装筒（12）的底部表面上设置有电动推杆（13），所述电动推杆（13）通过螺丝与电动推杆安装筒（12）固定连接，且电动推杆（13）的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒（12）的内部，所述电动推杆（13）的伸缩端上固定安装有活塞（11），且活塞（11）与电动推杆安装筒（12）为间隙配合，所述进料托盘（3）的边缘一端设置有红外线接收器固定架（6），且红外线接收器固定架（6）的内部安装有红外线接收器（5）。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机用进料装置，其特征在于：所述旋转台（1）由晶圆研磨机上的进料电机进行带动旋转，所述旋转台（1）的顶部表面两侧各设置有一个进料托盘托架（2），所述进料托盘托架（2）远离旋转台（1）的一端固定设置有一个进料托盘（3），所述旋转台（1）的下部表面上设置有一个单片机安装台...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔金彪，
申请(专利权)人：苏州斯尔特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32