筒辊与长条基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明专利技术是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路(14)供给上述气体，所述筒辊的特征在于，通过嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)将设置于旋转环单元的滑动面的旋转开口部(23a)关闭从而防止从非缠膜部区域泄漏气体，并且所应用的圆弧状填料部件在与旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一面具有端部倾斜面(42b)。在按压填料部件的状态下将其固定时，通过上述端部倾斜面(42b)的作用从而避免填料部件端部的上浮。

Treatment device of cylinder roller and strip base plate

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】筒辊与长条基板处理装置
本专利技术涉及在将在真空腔室内以卷对卷(Roll-to-roll)的方式输送的长条耐热性树脂膜等长条基板卷绕于筒辊的外周面的状态下进行离子束处理、溅射成膜等施加热负荷的表面处理的长条基板处理装置，特别地涉及具有高冷却效果的气体释放机构且能够抑制从未卷绕有长条基板的筒辊外周面泄露气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置的改良。
技术介绍
在液晶面板、笔记本电脑、数码相机、便携式电话等中使用柔性布线基板。柔性布线基板，由在耐热性树脂膜的单面或两面成膜有金属膜而成的带有金属膜的耐热性树脂膜来制作。近年来，形成于柔性布线基板的布线图案越来越微细化、高密度化，带有金属膜的耐热性树脂膜自身是没有褶皱等的平滑的膜，就变得更为重要。作为这种带有金属膜的耐热性树脂膜的制造方法，已知通过粘接剂将金属箔贴附于耐热性树脂膜来制造的方法(称作三层基板的制造方法)、在将耐热性树脂溶液涂布于金属箔后使其干燥来制造的方法(称作流延法)、通过干式镀敷法(真空成膜法)或通过结合干式镀敷法(真空成膜法)与湿式镀敷法将金属膜成膜于耐热性树脂膜来制造的方法(称作金属化法(MetallizingMethod))等。另外，在金属化法中的上述干式镀敷法(真空成膜法)中，有真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、离子束溅射法等。作为上述金属化法，在专利文献1中公开了以下方法：在聚酰亚胺绝缘层上溅射铬后，溅射铜从而在聚酰亚胺绝缘层上形成导体层。另外，在专利文献2中公开了一种在聚酰亚胺膜上按照第一金属薄膜及第二金属薄膜的顺序层叠而成的柔性电路基板用材料，所述第一金属薄膜是以铜镍合金为靶并通过溅射而形成的，所述第二金属薄膜是以铜为靶并通过溅射而形成的。需要说明的是，为了在如聚酰亚胺膜那样的耐热性树脂膜(基板)上进行真空成膜，通常使用溅射镀膜机(Sputteringwebcoater)。在上述真空成膜法中，通常认为溅射法的密接力优异，但其与真空蒸镀法相比，给予耐热性树脂膜的热负荷大。而且，已知如果在成膜时对耐热性树脂膜施加较大的热负荷，则膜中变得容易产生褶皱。为了防止该褶皱的产生，在作为带有金属膜的耐热性树脂膜的制造装置的溅射镀膜机中配备具备冷却功能的筒辊，并采用以下方式：通过对该筒辊进行旋转驱动并将以卷对卷的方式输送的耐热性树脂膜卷绕于由所述筒辊外周面划定的输送路径，从而将溅射处理中的耐热性树脂膜从其背面侧进行冷却。例如，在专利文献3中公开了作为溅射镀膜机的一个示例的放卷收卷式(卷对卷方式)真空溅射装置。该放卷收卷式真空溅射装置中具备承担上述筒辊的作用的冷却辊，并且进行控制，该控制是通过至少设置于冷却辊的膜送入侧或送出侧的子辊来使膜密接于冷却辊。但是，如非专利文献1中所记载的那样，微观上进行观察时，筒辊的外周面不是平坦的，因此，筒辊和密接于其外周面地输送的膜之间存在通过真空空间而分开的空隙部(间隙)。因此，溅射、蒸镀时产生的膜中的热实际上并没有从膜高效地传至筒辊，这成为膜产生褶皱的原因。因此，提出了将气体从筒辊侧导入上述筒辊外周面与膜之间的空隙部，将空隙部的热传导率提高至高于真空的技术。而且，作为将气体从筒辊侧导入空隙部的具体方法，例如，在专利文献4中公开了在筒辊外周面设置作为气体释放口的许多微细孔的技术；在专利文献5中公开了在筒辊外周面设置作为气体释放口的槽的技术。另外，也已知将筒辊自身用多孔质体来构成，并且将该多孔质体本身的微细孔作为气体释放口的方法。然而，在筒辊外周面设置作为气体释放口的微细孔、槽等的方法中，与筒辊的外周面卷绕有膜的区域(缠膜部区域)相比，未卷绕有膜的区域(非缠膜部区域)中的气体释放口处的电阻变低。因此，供给于筒辊的气体中的大部分从非缠膜部区域的气体释放口向真空腔室的空间释放，其结果是，有时无法对筒辊的外周面与卷绕于该筒辊的外周面的膜之间的空隙部供给本来应导入的量的气体，无法得到提高上述热传导率的效果。针对该问题，提出了在气体释放口设置从筒辊的外周面突出和缩入的阀，并通过用膜面按压该阀来开放气体释放口的方法(专利文献5)、以及在上述筒辊外周面内，对以膜被送出的送出部为起点且以膜被送入的送入部为终点的未卷绕有膜的区域(筒辊外周面的上述非缠膜部区域)安装盖罩，防止从非缠膜部区域向真空腔室的空间释放气体，从而使气体高效地导入至筒辊外周面与膜表面之间的空隙部的方法(参照专利文献6)等。但是，对于用膜面按压从筒辊外周面突出和缩入的阀从而使气体释放口开放的专利文献5的方法而言，有可能因阀的接触而在膜面产生轻微的损伤或凹陷，难以在以要求高品质的电子设备为用途的柔性布线基板的制造中采用。另外，对于在筒辊外周面内的未卷绕有膜的区域(非缠膜部区域)安装盖罩的专利文献6的方法而言，在以高真空度进行成膜的处理装置中，气体容易从盖罩与筒辊外周面之间的缝隙泄露，因此，与专利文献5的方法同样，也难以采用该专利文献6的方法。在这样的技术背景下，本专利技术人已经提出了以下筒辊，即形成为不对未卷绕有膜的筒辊外周面供给气体的结构，从而防止从上述非缠膜部区域释放气体(参照专利文献7)。即，对于该筒辊而言，如图2所示，在筒辊56的厚壁部设置多个气体导入通路14，并且，在各气体导入通路14中设置许多气体释放孔15，并且进行控制以使通过下述旋转接头(rotaryjoint)20有选择性地对气体导入通路14中的每一个气体导入通路供给真空腔室外部的气体。另外，如图2所示，上述旋转接头20由固定环单元22与旋转环单元21构成，制作形成有与上述筒辊56的中心轴56a垂直的各单元的气体控制用滑动接触面的筒辊、以及形成有与上述中心轴56a平行的各单元的气体控制用滑动接触面的筒辊。而且，如图3～图5所示，形成有与上述筒辊56的中心轴56a垂直的固定环单元22和旋转环单元21的气体控制用滑动接触面的筒辊中的上述旋转环单元21，具有通过连结配管25分别与多个气体导入通路14连通的多个气体供给通路23，并且，这些多个气体供给通路23中的每一个在上述气体控制用滑动接触面具有旋转开口部23a，该旋转开口部23a在与所述气体供给通路23通过上述连结配管25所连通的气体导入通路14在筒辊56外周面上的角度位置对应的角度位置(即，与筒辊56外周面上的角度位置大致相同的角度位置)开口。另一方面，上述固定环单元22具有气体分配通路27，该气体分配通路27由在气体控制用滑动接触面沿整个周向地设置的环状凹槽27a构成，并且具有通过嵌入在环状凹槽27a内的规定区域的圆弧状填料部件42(packingmember42)来使固定环单元22的气体控制用滑动接触面封闭的固定封闭部、以及不使上述气体控制用滑动接触面封闭的固定开口部，而且所述气体分配通路27与真空腔室外部的供给配管26连通，上述固定开口部，在旋转环单元21的旋转开口部23a所相对的固定环单元22的气体控制用滑动接触面上的区域中，在卷绕有膜(长条基板)52的角度范围内开口。需要说明的是，在图3～图5中，符号43表示填料安装夹具。而且，在与筒辊56外周面未卷绕有膜52的筒辊56的非缠膜部区域对应的情况本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒辊，其将在真空腔室内以卷对卷的方式输送的长条基板卷绕于所述筒辊的外周面的一部分从而对所述长条基板进行冷却，所述筒辊具备：循环有制冷剂的制冷剂循环部、在周向隔着大致相等的间隔而配设于整周的多个气体导入通路、以及对这些多个气体导入通路中的每一个供给真空腔室外部的气体的旋转接头，/n所述多个气体导入通路中的每一个具有沿着筒辊的旋转轴方向隔着大致相等的间隔而向外周面侧开口的多个气体释放孔，所述旋转接头进行控制以对位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体且不对未位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，/n上述旋转接头由旋转环单元和固定环单元构成，与筒辊同轴地设置该旋转环单元和固定环单元，并且该旋转环单元和固定环单元各自形成有垂直于筒辊的中心轴的气体控制用滑动接触面，/n所述旋转环单元具有分别与多个所述气体导入通路连通的多个气体供给通路，这些多个气体供给通路中的每一个气体供给通路在旋转环单元的所述气体控制用滑动接触面具有旋转开口部，该旋转开口部在与所述气体供给通路所连通的气体导入通路在筒辊外周面上的角度位置对应的角度位置开口，/n上述固定环单元具备气体分配通路，该气体分配通路由在固定环单元的气体控制用滑动接触面沿整个周向设置的环状凹槽构成，并且具有通过嵌入在环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件来使所述固定环单元的气体控制用滑动接触面封闭的固定封闭部、以及不使所述气体控制用滑动接触面封闭的固定开口部，而且所述气体分配通路与真空腔室外部的供给配管连通，并且，所述固定开口部，在旋转环单元的旋转开口部所相对的固定环单元的气体控制用滑动接触面上的区域中，在卷绕有所述长条基板的角度范围内开口，/n嵌入在所述环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件，在与所述旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一侧的一面的两端侧具有端部倾斜面，该端部倾斜面是填料部件的厚度从该填料部件的长度方向端部侧朝向旋转环单元的所述气体控制用滑动接触面方向逐渐变厚而成，所述圆弧状填料部件通过填料安装夹具来安装于所述环状凹槽内。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171017 JP 2017-2010811.一种筒辊，其将在真空腔室内以卷对卷的方式输送的长条基板卷绕于所述筒辊的外周面的一部分从而对所述长条基板进行冷却，所述筒辊具备：循环有制冷剂的制冷剂循环部、在周向隔着大致相等的间隔而配设于整周的多个气体导入通路、以及对这些多个气体导入通路中的每一个供给真空腔室外部的气体的旋转接头，
所述多个气体导入通路中的每一个具有沿着筒辊的旋转轴方向隔着大致相等的间隔而向外周面侧开口的多个气体释放孔，所述旋转接头进行控制以对位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体且不对未位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，
上述旋转接头由旋转环单元和固定环单元构成，与筒辊同轴地设置该旋转环单元和固定环单元，并且该旋转环单元和固定环单元各自形成有垂直于筒辊的中心轴的气体控制用滑动接触面，
所述旋转环单元具有分别与多个所述气体导入通路连通的多个气体供给通路，这些多个气体供给通路中的每一个气体供给通路在旋转环单元的所述气体控制用滑动接触面具有旋转开口部，该旋转开口部在与所述气体供给通路所连通的气体导入通路在筒辊外周面上的角度位置对应的角度位置开口，
上述固定环单元具备气体分配通路，该气体分配通路由在固定环单元的气体控制用滑动接触面沿整个周向设置的环状凹槽构成，并且具有通过嵌入在环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件来使所述固定环单元的气体控制用滑动接触面封闭的固定封闭部、以及不使所述气体控制用滑动接触面封闭的固定开口部，而且所述气体分配通路与真空腔室外部的供给配管连通，并且，所述固定开口部，在旋转环单元的旋转开口部所相对的固定环单元的气体控制用滑动接触面上的区域中，在卷绕有所述长条基板的角度范围内开口，
嵌入在所述环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件，在与所述旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一侧的一面的两端侧具有端部倾斜面，该端部倾斜面是填料部件的厚度从该填料部件的长度方向端部侧朝向旋转环单元的所述气体控制用滑动接触面方向逐渐变厚而成，所述圆弧状填料部件通过填料安装夹具来安装于所述环状凹槽内。


2.一种筒辊，其将在真空腔室内以卷对卷的方式输送的长条基板卷绕于筒辊的外周面的一部分从而对长条基板进行冷却，所述筒辊具备：循环有制冷剂的制冷剂循环部、在周向隔着大致相等的间隔而配设于整周的多个气体导入通路、以及对这些多个气体导入通路中的每一个供给真空腔室外部的气体的旋转接头，
所述多个气体导入通路中的每一个具有沿着筒辊的旋转轴方向隔着大致相等的间隔而向外周面侧开口的多个气体释放孔，所述旋转接头进行控制以对位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体且不对未位于卷绕有长条基板的角度范围内的气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，
所述旋转接头由剖面为凸形的旋转环单元以及圆筒状的固定环单元构成，所述旋转环单元由与筒辊同轴地设置的圆筒基部及圆筒凸部构成，所述固定环单元中嵌入有所述旋转环单元的圆筒凸部，所述圆筒凸部与所述固定环单元各自形成有与筒辊的中心轴平行的气体控制用滑动接触面，
所述旋转环单元具有分别与多个所述气体导入通路连通的多个气体供给通路，并且这些多个气体供给通路中的每一个气体供给通路在旋转环单元中的圆筒凸部的所述气体控制用滑动接触面具有旋转开口部，该旋转开口部在与所述气体供给通路所连通的气体导入通路在筒辊外周面上的角度位置对应的角度位置开口，
所述固定环单元具有气体分配通路，该气体分配通路由在固定环单元的圆筒内周面沿整个周向设置的环状凹槽构成，并且具有通过嵌入在环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件来使所述固定环单元的气体控制用滑动接触面封闭的固定封闭部、以及不使所述气体控制用滑动接触面封闭的固定开口部，而且所述气体分配通路与真空腔室外部的供给配管连通，并且，所述固定开口部，在旋转环单元中的圆筒凸部的旋转开口部所相对的固定环单元的气体控制用滑动接触面上的区域中，在卷绕有所述长条基板的角度范围内开口，
嵌入在所述环状凹槽内的规定区域的圆弧状填料部件，在与上述旋转环单元的气体控制用滑动接触面相向的一侧的一面的两端侧具有端部倾斜面，该端部倾斜面是填料部件的厚度从该填料部件的长度方向端部侧朝向旋转环单元的所述气体控制用滑动接触面方向逐渐变厚而成，并且，所述圆弧状填料部件通过填料安装夹具来安装于所述环状凹槽内。


3.如权利要求1或2所述的筒辊，其中，
形成于圆弧状填料部件的长度方向两端侧的所述端部倾斜面中的长度方向的尺寸设定为，在旋转环单元的气体控制用滑动接触面隔着规定间隔地设置的旋转开口部的所述间隔以上。


4.如权利要求1～3中任一项所述的筒辊，其中，
形成有所述端部倾斜面的圆弧状填料部件的长度方向两端侧用固定机构来固定于环状凹槽内，所述两端侧以外的部位由设置于圆弧状填料部件的背面侧的施力机构向旋转环单元的气体控制用滑动接触面侧进行施力来安装。


5.如权利要求1～4中任一项所述的筒辊，其中，
所述圆弧状填料部件由氟系树脂构成。


6.一种长条基板处理装置，
其具备：真空腔室；在该真空腔室内以卷对卷的方式输送长条基板的输送机构；对长条基板实施施加热负荷的处理的处理机构；以及，筒辊，该筒辊具有在周向隔着大致相等的间隔配设于整周的多个气体导入通路及对这些多个气体导入通路中的每一个供给真空腔室外部的气体的旋转接头，并且，所述筒辊在由循环的制冷剂冷却后的外周面的一部分卷绕长条基板从而对长条基板进行冷却，
所述多个气体导入通路中的每一个具有沿着筒辊的旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：大上秀晴，
申请(专利权)人：住友金属矿山株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP