本实用新型专利技术公开了一种划片机切割水清洗液自动加液装置，涉及晶圆划片机加液技术领域，旨在解决通过现有技术中的自动喷液装置只能对划片机进行一对一的喷液，效率较低的技术问题，其技术方案要点是箱体内部设置有分隔板，分隔板把箱体分为混液区域和驱动区域；箱体位于混液区域内装有混合液，分隔板上开设有若干供液孔，箱体顶壁位于混液区域处设置有供液口，箱体位于供液口处设置有供液盖；箱体位于驱动区域内设置有若干驱动泵，驱动泵的一端管道连接在供液孔上，箱体位于供液区域的侧壁上设置有若干出液口，驱动泵的另一端连接有出液管，出液管贯穿出液口并延伸至箱体外部，出液管内设置有水流量传感器，达到提高了对划片机加液的效率的效果。
An automatic filling device of cutting water cleaning liquid for dicing machine
【技术实现步骤摘要】
一种划片机切割水清洗液自动加液装置
本技术涉及晶圆划片机加液
，更具体地说，它涉及一种划片机切割水清洗液自动加液装置。
技术介绍
划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。现有申请号为CN2017208484736的中国专利提供了一种芯片划片自动喷液装置，包括下托板、防护框、划片机、喷液机构、导杆、上托板、气缸、行程开关，上托板固定，气缸推动下托板下移，行程开关触发，保护液经进液管泵入缓冲箱内，随后再经分液块进入雾化喷头，使得保护液经雾化喷头喷出，液雾喷向划片机与待加工芯片接触处，从而保护划片区域，防止芯片氧化。但是，当划片机将固定在主轴刀架上的金刚石刀片通过高速旋转对吸附在真空底盘上的晶圆进行切割，切割时需要用到主轴冷却水以及晶圆表面清洗用水，晶圆由于长时间浸泡在切割水当中，切割晶圆掉落在水中的硅粉会附着在晶圆芯片表面从而影响芯片表面的洁净度，并对后道工序作业产生比较大的影响，需要在切割水中添加适当比例的清洗液来吸附切割过程中附在晶圆表面的硅粉，清洗液的比例以及添加的量难以把控；通过现有技术中的自动喷液装置只能对划片机进行一对一的喷液，效率较低，故有待改善。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种划片机切割水清洗液自动加液装置，其具有提高了对划片机加液的效率的优势。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种划片机切割水清洗液自动加液装置，包括箱体，所述箱体内部设置有分隔板，所述分隔板把箱体分为混液区域和驱动区域；所述箱体位于混液区域内装有混合液，所述分隔板上开设有若干供液孔，所述箱体顶壁位于混液区域处开设有供液口，所述箱体位于供液口处设置有供液盖；所述箱体位于驱动区域内设置有若干驱动泵，所述驱动泵的一端对应管道连接在供液孔上，所述箱体位于供液区域的侧壁上开设有若干出液口，所述驱动泵的另一端连接有出液管，所述出液管贯穿出液口并延伸至箱体外部，所述出液管远离出液口方向的端部设置有水流量传感器，所述箱体位于驱动区域的侧壁设置有修理盖。通过采用上述技术方案，当划片机开始工作时，水流量传感器感应到水流信号发出电信号，驱动泵把箱体位于混液区域内调配好的混合液通过不同的供液管运输至各个划片机上；通过多个驱动泵对多个同时工作的划片机进行混合液的输送，提高了对划片机加液的效率。进一步地，所述箱体位于混液区域处的侧壁上开设有第一观察口，所述箱体位于第一观察口处设置有第一观察板。通过采用上述技术方案，操作人员可肉眼观察箱体内混合液的使用情况，当液位快降低至最低液位时，可把提前配好的混合液倒入箱体内。进一步地，所述箱体表面设置有输送控制开关，所述输送控制开关与驱动泵之间为电信号连接。通过采用上述技术方案，当划片机在不工作时，操作人员通过输送控制开关关闭驱动泵，减少在划片机不工作时一旦水流量传感器发生故障，驱动泵向划片机处供给混合液的情况发生。进一步地，所述箱体顶壁上设置有备用箱，所述驱动区域内设置有供水泵，所述供水泵的一端与备用箱之间管道连接有供水管，所述供水泵的另一端连接有清水管，所述备用箱顶壁开设有加液口，所述备用箱位于加液口处设置有加液盖，所述备用箱底壁设置有电磁阀，所述电磁阀的一端连通至混液区域内，所述电磁阀的另一端与备用箱管道连接，所述备用箱外侧壁设置有备用控制开关，所述备用控制开关与电磁阀之间为电信号连接。通过采用上述技术方案，操作人员向备用箱内倒置清洗液，并打开供水泵的开关，供水泵向备用箱内通过供水管输送高压力的水流，高压力的水流流经供水管向备用箱内喷出有冲击力的清水；备用箱内的清洗液被高冲击力的水流冲散起到了混合搅拌的作用；同时当操作人员通过第一观察板观察到箱体位于混液区域内的混合液低于最低水位线时，操作人员可通过备用控制开关上控制打开电磁阀，使得备用箱内储备搅拌好的混合液流至箱体的混液区域内。进一步地，所述供水管远离供水泵方向的端口垂直连通的防喷管。通过采用上述技术方案，由于供水管为竖直向上的喷射水流的，水流容易通过加液口渗漏至备用箱外部，故通过与供水管垂直的防喷管把冲击水流向下喷射而出，提高对清洗液和清水的搅拌。进一步地，所述备用箱侧壁开设有第二观察口，所述备用箱位于第二观察口处设置有第二观察板。通过采用上述技术方案，操作人员通过第二观察板观察备用箱内混合液的液位情况，当到达指定的位置时，操作人员关闭供水泵，得到固定比例的混合液。进一步地，所述备用箱内部放置有第一液位高度传感器，所述第一液位高度传感器与供水泵之间为电信号连接。通过采用上述技术方案，当操作人员一时不查，在混合液的液位高度到达指定位置后，未能及时关闭供水泵，第一液位高度传感器在感应到后，及时发出停止工作的电信号给供水泵；为配置固定比例的混合液提供双重保险。进一步地，所述备用箱内顶壁上设置有第二液位高度传感器，所述第二液位高度传感器与供水泵之间为电信号连接。通过采用上述技术方案，一旦第一液位高度传感器发生故障且操作人员未能及时观察备用箱内混合液的液面情况，第二液位高度传感器即可在设定的指定液面高度发出停止工作的电信号给供水泵，同时也减少了由于供水泵一直工作，混合液溢出备用箱的情况发生。综上所述，本技术具有以下有益效果：1、通过多个驱动泵对多个同时工作的划片机进行混合液的输送，提高了对划片机加液的效率；2、通过备用箱可提前配比搅拌混合液，提高了自动加液装置的工作效率。附图说明图1为本实施例的结构示意图；图2为本实施例中用于体现分隔板与驱动泵之间位置关系的结构示意图。图中：1、箱体；11、分隔板；111、供液孔；12、供液口；13、供液盖；14、驱动泵；15、出液口；151、出液管；152、水流量传感器；16、修理盖；17、第一观察口；171、第一观察板；18、输送控制开关；19、供水泵；191、供水管；192、清水管；193、防喷管；2、备用箱；21、加液口；211、加液盖；22、电磁阀；23、备用控制开关；24、第一液位高度传感器；25、第二液位高度传感器；26、第二观察口；261、第二观察板。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例：一种划片机切割水清洗液自动加液装置，参照图1和图2，其包括箱体1，箱体1内部焊接有分隔板11，分隔板11把箱体1分为混液区域和驱动区域；箱体1位于混液区域内装有由水和清洗液混合均匀的混合液，分隔板11上开设有若干供液孔111，箱体1顶壁位于混液区域处开设有供液口12，箱体1位于供液口12处设置有供液盖13，供液盖13直接盖置在箱体1上。参照图1和图2，箱体1位于驱动区域内放置有若干驱动泵14，驱动泵14优选为水泵，驱动泵14的一端对应管道连接在供液孔111上，箱体1位于供液区域的侧壁上开设有若干出液口15，驱动泵14的另一端连接有出液管151，出液本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种划片机切割水清洗液自动加液装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有分隔板(11)，所述分隔板(11)把箱体(1)分为混液区域和驱动区域；所述箱体(1)位于混液区域内装有混合液，所述分隔板(11)上开设有若干供液孔(111)，所述箱体(1)顶壁位于混液区域处开设有供液口(12)，所述箱体(1)位于供液口(12)处设置有供液盖(13)；所述箱体(1)位于驱动区域内设置有若干驱动泵(14)，所述驱动泵(14)的一端对应管道连接在供液孔(111)上，所述箱体(1)位于供液区域的侧壁上开设有若干出液口(15)，所述驱动泵(14)的另一端连接有出液管(151)，所述出液管(151)贯穿出液口(15)并延伸至箱体(1)外部，所述出液管(151)远离出液口(15)方向的端部设置有水流量传感器(152)，所述箱体(1)位于驱动区域的侧壁设置有修理盖(16)。/n
【技术特征摘要】
1.一种划片机切割水清洗液自动加液装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有分隔板(11)，所述分隔板(11)把箱体(1)分为混液区域和驱动区域；所述箱体(1)位于混液区域内装有混合液，所述分隔板(11)上开设有若干供液孔(111)，所述箱体(1)顶壁位于混液区域处开设有供液口(12)，所述箱体(1)位于供液口(12)处设置有供液盖(13)；所述箱体(1)位于驱动区域内设置有若干驱动泵(14)，所述驱动泵(14)的一端对应管道连接在供液孔(111)上，所述箱体(1)位于供液区域的侧壁上开设有若干出液口(15)，所述驱动泵(14)的另一端连接有出液管(151)，所述出液管(151)贯穿出液口(15)并延伸至箱体(1)外部，所述出液管(151)远离出液口(15)方向的端部设置有水流量传感器(152)，所述箱体(1)位于驱动区域的侧壁设置有修理盖(16)。
2.根据权利要求1所述的一种划片机切割水清洗液自动加液装置，其特征在于：所述箱体(1)位于混液区域处的侧壁上开设有第一观察口(17)，所述箱体(1)位于第一观察口(17)处设置有第一观察板(171)。
3.根据权利要求1所述的一种划片机切割水清洗液自动加液装置，其特征在于：所述箱体(1)表面设置有输送控制开关(18)，所述输送控制开关(18)与驱动泵(14)之间为电信号连接。
4.根据权利要求1所述的一种划片机切割水清洗液自动加液装置，其特征在于：所述箱体(1)顶壁上设置有备...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴斌，吴家乐，杭丹丹，杭琪琪，
申请(专利权)人：南通鑫晶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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