一种激光定向检测碳化硅极性装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于碳化硅检测技术领域，尤其是一种激光定向检测碳化硅极性装置，针对现有的碳化硅极性测试操作不便，极性检测不准确的缺点，而提出如下方案，其包括机架，所述机架的一侧设有检测台和冷却水箱，机架的顶侧设有旋转工作台，旋转工作台的顶侧放置有碳化硅晶体，检测台的顶侧固定安装有两个滑轨，两个滑轨的顶侧滑动安装有同一个移动板，移动板的顶侧固定安装有安装架，安装架上设有安装板。碳化硅外圆和晶体磨削完成后，将待检测极性的碳化硅晶体放置在旋转工作台上，伺服电机控制安装板向右移动，探针触碰到碳化硅晶体的外圆时，旋转工作台开始旋转，当极性定向准确后，伺服电机停止，碳化硅晶体的极性测试准确，操作方便。

A device for detecting the polarity of silicon carbide by laser orientation

【技术实现步骤摘要】
一种激光定向检测碳化硅极性装置
本技术涉及碳化硅检测
，尤其涉及一种激光定向检测碳化硅极性装置。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，碳化硅又称碳硅石，在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。由于SiC的极性,它的两个(0001)面,即两个c面(硅面和碳面)无论在物理性质或是在晶体生长的某些习性上都会有显著的区别，不少人曾试图用各种方法判别SiC的两种c面,但至今尚未见有一种是方便而可靠的，一般用于判别极性晶面的方法有X射线反常吸收法、侵蚀法和生长外形分析法，但是现有技术中的碳化硅极性测试操作不便，极性检测不准确，因此需要一种激光定向检测碳化硅极性装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在碳化硅极性测试操作不便，极性检测不准确的缺点，而提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种激光定向检测碳化硅极性装置，包括机架，所述机架的一侧设有检测台和冷却水箱，机架的顶侧设有旋转工作台，旋转工作台的顶侧放置有碳化硅晶体，检测台的顶侧固定安装有两个滑轨，两个滑轨的顶侧滑动安装有同一个移动板，移动板的顶侧固定安装有安装架，安装架上设有安装板，安装板靠近旋转工作台的一侧设有探针，探针的两侧分别设有固定安装在安装板靠近旋转工作台一侧上的激光发射器和激光接受器，探针与旋转工作台相适配。优选的，所述检测台上固定安装有位于两个滑轨之间的伺服电机，伺服电机的输出轴通过联轴器固定安装有螺纹杆，移动板的底侧固定安装有位于两个滑轨之间的移动块，移动块的一侧开设有螺纹孔，螺纹杆的一端贯穿螺纹孔，且螺纹孔与螺纹杆相适配。优选的，所述机架远离检测台的一侧设有操作台，操作台上设有显示屏和键盘。与现有的技术相比，本技术的有益效果是：碳化硅外圆和晶体磨削完成后，将待检测极性的碳化硅晶体放置在旋转工作台上，伺服电机控制安装板向右移动，探针触碰到碳化硅晶体的外圆时，旋转工作台开始旋转，当极性定向准确后，伺服电机停止，碳化硅晶体的极性测试准确，操作方便。附图说明图1为本技术提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置的立体结构示意图；图2为本技术提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置的正视结构示意图；图3为本技术提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置的俯视结构示意图；图4为本技术提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置中检测台的俯视结构示意图；图5为本技术提出的一种激光定向检测碳化硅极性装置中检测台的正视结构示意图。图中：1机架、2检测台、3冷却水箱、4旋转工作台、5碳化硅晶体、6操作台、7显示屏、8键盘、9滑轨、10移动板、11安装架、12安装板、13激光发射器、14探针、15激光接受器、16伺服电机、17螺纹杆、18移动块、19螺纹孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-5，一种激光定向检测碳化硅极性装置，包括机架1，机架1的一侧设有检测台2和冷却水箱3，机架1的顶侧设有旋转工作台4，旋转工作台4的顶侧放置有碳化硅晶体5，检测台2的顶侧固定安装有两个滑轨9，两个滑轨9的顶侧滑动安装有同一个移动板10，移动板10的顶侧固定安装有安装架11，安装架11上设有安装板12，安装板12靠近旋转工作台4的一侧设有探针14，探针14的两侧分别设有固定安装在安装板12靠近旋转工作台4一侧上的激光发射器13和激光接受器15，探针14与旋转工作台4相适配。本技术中，检测台2上固定安装有位于两个滑轨9之间的伺服电机16，伺服电机16的输出轴通过联轴器固定安装有螺纹杆17，移动板10的底侧固定安装有位于两个滑轨9之间的移动块18，移动块18的一侧开设有螺纹孔19，螺纹杆17的一端贯穿螺纹孔19，且螺纹孔19与螺纹杆17相适配。本技术中，机架1远离检测台2的一侧设有操作台6，操作台6上设有显示屏7和键盘8。本技术中，碳化硅外圆和晶体磨削完成后，将待检测极性的碳化硅晶体5放置在旋转工作台4上，伺服电机16启动带动螺纹杆17在螺纹孔19内转动，由于移动板10被两个滑轨9限位只能够水平移动，从而带动移动板10向右移动，进而带动安装架11及安装板12向右移动，探针14触碰到碳化硅晶体5的外圆时，激光发射器13发射激光，旋转工作台4开始旋转，激光接受器15接收到激光发射器13所发射到碳化硅晶体5内的激光，并通过接收到的激光数据判断碳化硅晶体5的极性位置，当极性定向准确后，伺服电机16停止，碳化硅晶体5的极性测试准确，操作方便。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光定向检测碳化硅极性装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)的一侧设有检测台(2)和冷却水箱(3)，机架(1)的顶侧设有旋转工作台(4)，旋转工作台(4)的顶侧放置有碳化硅晶体(5)，检测台(2)的顶侧固定安装有两个滑轨(9)，两个滑轨(9)的顶侧滑动安装有同一个移动板(10)，移动板(10)的顶侧固定安装有安装架(11)，安装架(11)上设有安装板(12)，安装板(12)靠近旋转工作台(4)的一侧设有探针(14)，探针(14)的两侧分别设有固定安装在安装板(12)靠近旋转工作台(4)一侧上的激光发射器(13)和激光接受器(15)，探针(14)与旋转工作台(4)相适配。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光定向检测碳化硅极性装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)的一侧设有检测台(2)和冷却水箱(3)，机架(1)的顶侧设有旋转工作台(4)，旋转工作台(4)的顶侧放置有碳化硅晶体(5)，检测台(2)的顶侧固定安装有两个滑轨(9)，两个滑轨(9)的顶侧滑动安装有同一个移动板(10)，移动板(10)的顶侧固定安装有安装架(11)，安装架(11)上设有安装板(12)，安装板(12)靠近旋转工作台(4)的一侧设有探针(14)，探针(14)的两侧分别设有固定安装在安装板(12)靠近旋转工作台(4)一侧上的激光发射器(13)和激光接受器(15)，探针(14)与旋转工作台(4)相适配。

【专利技术属性】
技术研发人员：顾青龙，施尔畏，孔海宽，陈辉，
申请(专利权)人：安吉圆磨机械科技有限公司，中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心，
类型：新型
国别省市：浙江;33