阻抗测试装置制造方法及图纸

一种阻抗测试装置，包括：样品台，用于放置被测样品；固定机构，所述固定机构固定在所述样品台上；探针固定座，所述探针固定座设置在所述固定机构上；探针组件，包括至少两个探针套管以及装设于所述探针套管内的探针，所述探针套管固定于所述探针固定座上。所述阻抗测试装置可以提高测试结果的精确性以及满足精细化样品测试的需求。

Impedance test device

【技术实现步骤摘要】
阻抗测试装置
本技术涉及电学性能测试
，尤其涉及一种阻抗测试装置。
技术介绍
随着科技的进步和发展，液晶显示器得到了广泛的应用，其中，薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay,TFT-LCD)由于具有低的功耗、优异的画面以及较高的生产良率等性能，目前逐渐占据了显示领域。TFT-LCD中的彩色滤光基板主要由透明玻璃基板、黑矩阵层(BM层)和彩色光阻层(RGB层)等结构组成。黑矩阵层(BM层)需要具有高遮光性能和高电绝缘性，避免低阻抗的BM层在使用过程中出现导通的风险，因此需要对BM层进行阻抗测试。传统的测试装置存在测量可操作性不强、无法满足精细化样品测量需求等不足，因此如何提高测量可操作性、满足精细化样品的测试需求是亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种阻抗测试装置，可以提高测试过程的可操作性及满足精细化样品测试的需求。为解决上述技术问题，本技术实施例提供一种阻抗测试装置，包括：样品台，用于放置被测样品；固定机构，所述固定机构固定在所述样品台上；探针固定座，所述探针固定座设置在所述固定机构上；探针组件，包括至少两个探针套管以及装设于所述探针套管内的探针，所述探针套管固定于所述探针固定座上。可选的，所述固定机构包括：垂直于所述样品台的第一支架，所述固定机构通过所述第一支架固定在所述样品台上。可选的，所述固定机构还包括：平行于所述样品台的第二支架，所述第二支架设置在所述第一支架上，可沿所述第一支架移动。可选的，所述第一支架上设有滑槽，所述第二支架端部伸入所述滑槽，沿所述滑槽移动。可选的，所述固定机构还包括：固定部，所述固定部设置在所述第二支架上，可沿所述第二支架移动。可选的，所述固定部上设有开孔，所述第二支架通过所述开孔贯穿所述固定部，所述固定部沿所述第二支架移动。可选的，所述固定机构还包括：升降部，所述升降部与所述固定部固定连接。可选的，所述探针固定座固定在所述升降部上，所述升降部带动所述探针固定座在垂直于所述样品台的方向上移动。可选的，所述升降部在垂直于所述样品台方向上的最大移动量程为60mm。可选的，所述探针固定座的材料为阻值大于1017欧姆的绝缘树脂材料。可选的，所述探针和所述被测样品的接触面直径最小数值为0.5mm。与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下有益效果：所述探针套管固定在所述探针固定座上，所述探针装设于所述探针套管内，在测试过程中，一方面保证探针之间的间距固定，不需要每次测试时人为选取探针间距，提高操作便利性，同时避免人为选取探针间距造成测试结果不稳定，提高测试结果的准确性；另一方面，探针装设在所述探针套管中，可以避免探针过细时固定不稳，防止出现探针歪斜的情况，避免对测试结果造成不良影响。进一步，所述探针和所述被测样品的接触面直径最小数值为0.5mm。测试时，所述探针要和所述被测试样品完全接触，两者之间的接触面直径小可以降低被测样品图形的最小宽度，满足精细化样品的测试需求。附图说明图1是本技术提供的阻抗测试装置一实施例的结构示意图；图2是本技术提供的阻抗测试装置一实施例的结构爆炸图；图3是本技术提供的阻抗测试装置中探针组件一实施例的结构示意图。具体实施方式由
技术介绍
可知，黑矩阵层(BM层)是TFT-LCD中的彩色滤光基板的重要组成，黑矩阵层(BM层)要求具有高阻抗，否则会有导通风险。因此在实际使用前，需要对BM层进行阻抗测试，以确定BM层的阻抗满足要求。传统的测试装置在测量时，首先，测试用的两个探针之间的间距不固定，需要人为选取探针间距，人工手动选取间距会有很大的不确定性，无法保证每次选取的间距完全一致，因此会造成测试结果存在误差；其次，传统的测试装置通常选用砝码电极或贴片式电极，电极的尺寸较大，需要被测样品的图形宽度也较大，无法测量精细化的样品。为了解决上述问题，专利技术人经研究获得了一种阻抗测试装置，所述阻抗测试装置的探针装设于所述探针套管中，所述探针套管固定在所述探针固定座上，探针之间的间距固定，不需要人为选取间距，可以避免人为选取间距的不稳定性，提高测试结果的准确性；探针装设于探针套管中，更容易固定牢固，避免探针歪斜造成对测试结果的不良影响。为使本技术的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。图1是本技术提供的阻抗测试装置一实施例的结构示意图。图2是本技术提供的阻抗测试装置一实施例的结构爆炸图结合参考图1和图2，本技术一实施例中的阻抗测试装置1，包括样品台10、固定机构11、探针固定座12及探针组件13。所述样品台10用于放置被测样品，所述固定机构11固定在所述样品台10上，所述探针固定座12固定在所述固定机构11上。本实施例中，所述样品台10的材料为绝缘胶木板，表面光滑，无裸露的金属螺母，可以确保高压测试过程中测试人员的人身安全。本实施例中，所述探针固定座12呈板状，所述探针固定座12的材料为阻值大于1017欧姆的绝缘树脂材料。探针固定座的阻值对测试结果有影响，当探针固定座的阻值小于1017欧姆时，会有微量电流经探针固定座流出，影响测量结果准确性，因此选用阻值大于1017欧姆的绝缘树脂材料可以提高测试精确性。参考图3，其中，所述探针组件13包括探针套管131和探针132。所述探针套管131固定于所述探针固定座12上，所述探针132装设于所述探针套管131内。本实施例中，所述探针组件13具有两个探针套管131，每个探针套管131中有对应的探针132。其他实施例中，也可以根据实际测试情况，采用四个探针套管等。本实施例中，所述探针固定座12上开设有两个开孔，所述探针套管131直接插入所述开孔中进行固定，两个探针套管131间的距离固定。探针间距固定可以避免人为选取探针间距的不稳定性，避免人工选取探针间距造成不稳定性，可以提高测试的准确度。本实施例中，所述探针132采用插入式的方法装设于所述探针套管131内，且所述探针132可拆卸。探针先插入探针套管中再固定是因为，在探针较细时，直接在探针固定座上固定不易稳定，容易在测试过程中出现歪斜的情况，先装设在探针套管中可以增加探针固定的稳定性；并且，探针与探针套管可拆卸，方便更换探针，可以简化测试方法，提高测试效率。本实施例中，所述探针132的最小直径为0.5mm，即所述探针132与被测样品的接触面直径最小为0.5mm。在阻抗测试时，探针需要与被测样品完全接触，如果探针直径过大，在测量精细化的样品时，图形的线宽很小，无法做到探针全部与被测样品接触，所以探针直径小，可以降低被测样品的最小线宽，满足测量精细化样品的需求。继续参考图1和图2，所述固定机构11包括垂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阻抗测试装置，其特征在于，包括：/n样品台，用于放置被测样品；/n固定机构，所述固定机构固定在所述样品台上；/n探针固定座，所述探针固定座设置在所述固定机构上；/n探针组件，包括至少两个探针套管以及装设于所述探针套管内的探针，所述探针套管固定于所述探针固定座上。/n

【技术特征摘要】
1.一种阻抗测试装置，其特征在于，包括：
样品台，用于放置被测样品；
固定机构，所述固定机构固定在所述样品台上；
探针固定座，所述探针固定座设置在所述固定机构上；
探针组件，包括至少两个探针套管以及装设于所述探针套管内的探针，所述探针套管固定于所述探针固定座上。


2.如权利要求1所述的阻抗测试装置，其特征在于，所述固定机构包括：垂直于所述样品台的第一支架，所述固定机构通过所述第一支架固定在所述样品台上。


3.如权利要求2所述的阻抗测试装置，其特征在于，所述固定机构还包括：平行于所述样品台的第二支架，所述第二支架设置在所述第一支架上，可沿所述第一支架移动。


4.如权利要求3所述的阻抗测试装置，其特征在于，所述第一支架上设有滑槽，所述第二支架端部伸入所述滑槽，沿所述滑槽移动。


5.如权利要求3所述的阻抗测试装置，其特征在于，所述固定机构还包括：固定部，所述固定部设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，包盛梅，汤建中，华缜，
申请(专利权)人：上海仪电显示材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31