真空腔室运动部件冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，包括：第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另一端连通；第三管路，为冷却液管路源管；软管，该软管用于第二管路与第三管路的连通，且软管的长度大于第二管路与第三管路的连接距离；其中，所述滑轨水平地安装在运动部件上方的真空腔室上，并与所述给定运动方向平行。依据本实用新型专利技术的真空腔室运动部件冷却装置适于运动部件的冷却。

Cooling device for moving parts of vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
真空腔室运动部件冷却装置
本技术涉及一种用于真空腔室运动部件冷却的装置。
技术介绍
真空腔室自身及其内存在大量的需要被冷却的部件，适配有各种各样的冷却装置，这些冷却装置包括针对固定部件的固定式冷却装置和针对运动部件的活动式冷却装置。对于固定式冷却装置，如中国专利文献CN208829749U，其公开了一种用于真空腔室的冷却结构，其在真空腔室的外表面构造流道壁，用于真空腔室自身的冷却，相对而言，固定式冷却装置因不必考虑管路自身的伸长量，设置相对简单。由于固定式冷却装置设置简单，因此，即便是针对运动部件，往往也采用固定式冷却装置进行冷却，但只能在运动部件到达给定的位置时才能够对其冷却，而不能全时段冷却，很有可能造成运动部件的热损伤甚至是损坏。此外，使用固定式冷却装置冷却运动部件，还存在两个方面的问题，其一是在固定的位置对运动部件进行冷却，需要在该固定的位置配置用于快速连接运动部件上冷却系统的快接部件，其密封性能相对较差，对真空腔室真空度的影响相对较大。另一个方面的问题是，适配于特定位置对运动部件进行冷却，所适配的冷却装置非常复杂，如专门设置特定的冷却腔，在运动部件运动到冷却腔所在的位置时能够将运动部件纳入，不仅结构复杂，而且占用空间大。中国专利文献CN202913050U公开了一种真空镀膜机用伸缩冷却辊，其包括筒状的辊筒套，套装在辊筒套内的辊芯，和以螺旋方式缠绕在辊筒套上的冷却液输送管，并且该冷却液输送管路采用金属波纹管。在该专利文献中，当辊筒套、辊芯产生热胀冷缩时，金属波纹管产生的长度变化不会导致冷却装置本身产生损坏。不过其所实现的仍然不是针对运动部件的冷却，仅仅是通过冷却装置自身弹性的变化，适应冷却对象个体的热涨冷缩。经过研究，专利技术人发现，真空腔室运动部件中的运动方式都是规律性的，运动路径是确定的，在此条件下，专利技术人认为采用适配于运动部件运动方式的活动式冷却装置存在有可能性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种适于对运动部件冷却的真空腔室运动部件冷却装置。依据本技术的实施例，提供了一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，包括：第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另一端连通；第三管路，为冷却液管路源管；软管，该软管用于第二管路与第三管路的连通，且软管的长度大于第二管路与第三管路的连接距离；其中，所述滑轨水平地安装在运动部件上方的真空腔室上，并与所述给定运动方向平行。上述真空腔室运动部件冷却装置可选地，若配有滑轨时，所述第二管路为硬质管。可选地，所述滑轨为槽型结构，于槽底开有缝隙；缝隙的宽度大于第一管路的外径，并小于第二管路的外径，第一管路经由缝隙与第二管路连通，第二管路导滑于槽型结构。可选地，所述滑轨构造为于运动部件开启工作行程末端上方设置的一支撑槽；所述第二管路水平地支撑在支撑槽上并导滑于支撑槽。可选地，软管自由悬垂。可选地，提供一滑杆，软管搭设在滑杆上。可选地，于滑杆上套装有多个滑环，软管成螺旋状套在滑杆上；每匝软管的上端固定在相应的滑环上。可选地，软管与滑环间的连接为通过连接绳的连接。可选地，滑杆的两端设有限位结构或者限位部件，以限定滑环的行程。可选地，所述软管为尼龙管。在本专利技术的实施例中，将管路配置成多节段结构，其中一个节段为软管，这些节段中的第一管路和第二管路可根据是否设置滑轨配置成硬质管或者对管路硬度无要求。由于真空腔室中运动部件的运动形式较为单一，多是平移。因此，在给定的运动方向上，第二管路为滑轨所导引，或自身具有刚性，而具有支撑能力，在此条件下，软管可适配于运动部件的运动产生悬垂度的变化，保持连通，而不会产生运动干涉。附图说明图1为一实施例中真空腔室运动部件冷却装置配置结构示意图。图2为一实施例中真空腔室运动部件冷却装置配置结构示意图，图中省略挡帘。图3为再一实施例中真空腔室运动部件冷却装置结构示意图，图中省略挡帘。图4为有一实施例中真空腔室运动部件冷却装置结构示意图，图中省略挡帘。图中：1.第一硬质管，2.运动部件，3.滑动槽，4.软质管，5.挡帘，6.支撑槽，7.悬垂部分，8.第二硬质管，9.滑杆，10.滑环，11.连接绳。具体实施方式参照说明附图1~4，图中所示的运动部件2是炉门，在真空室中的运动部件极少，一般都是静定结构。对于炉门而言，其运动方向多是水平的移动，合炉时会有微量的炉门进出方向的运动，即便是采用硬质管，硬质管也会一定的弹性，并不影响炉门的合炉。在图1~4所示的结构中，用于炉门冷却循环的管路是多节段结构，图中比较典型的特征有两个，其一是图中所示的软质管4，另一则是第一硬质管1的管径小于第二硬质管4的直径。对于前述的炉门而言，其在图1~图4所示的结构中左右运动，炉门水平方向的运动量在于其可以完全避开炉口，稍大于炉门的直径即可。如果真空腔室运动部件冷却装置配有其它的运动部件，可参考炉门的冷却装置中管路配置。进一步地，真空腔室运动部件冷却装置中的多节段管路包括第一管路、第二管路、第三管路和软质管7，在下文中简称为软管。对于软管，优选尼龙管，也可以采用橡胶质管或者具有类似物理性质的管路。除了软管外，其余管路都可以采用硬质管，部分管路在一些实施例中还可以采用软质的管路。对于第一管路，如图1~4中所示的第一硬质管1，对于第一管路其可以采用如图中所示的硬质管，也可以采用软质管7，其主要用于连通，在一些实施例中还可以起到支撑作用。第一管路如图1~4所示，其直接连接在如图中所示的运动部件2上，运动部件2上设有独立的冷却管路。如图1所示的结构中，第一硬质管1用于运动部件2与第二硬质管2的连通。图3和图4中所示的结构中，第二管路即图中所示的第二硬质管4，若第一管路也是硬质管时，两者所形成的总成具有一定的支撑能力，由此，软质管7可被支撑在足够高度，而不与运动部件2产生运动干涉。在一些实施例中，第二管路可被给定的滑轨所导引，在此条件下，第一管路、第二管路均不需要是硬质管，常规管道也都可用。需要说明的是，即便第一管路和第二管路均为硬质管时，也不排除滑轨的使用，在于如图3和4中第一硬质管1和第二硬质管4连接所形成结构处于悬伸状态，第一硬质管1与运动部件2连接处所受到的力过大，容易失效，当第二硬质管4受到滑轨的支撑后，第一硬质管1与运动部件2间的受力环境会大幅改善。对于第三管路，如图2~4中所示的第三硬质管8，其固定设置，符合设备中管路的一般装配结构。第三管路用作冷却液管路源管。对于软管，如图2~4所示的软质管7，该软质管7的长度除了连接本身所需要的长度外，还需要加上运动部件2所容许的长度，此为计算长度。进而加上0.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，其特征在于，包括：/n第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；/n第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另一端连通；/n第三管路，为冷却液管路源管；/n软管，该软管用于第二管路与第三管路的连通，且软管的长度大于第二管路与第三管路的连接距离；/n其中，所述滑轨水平地安装在运动部件上方的真空腔室上，并与所述给定运动方向平行。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室运动部件冷却装置，适用于运动部件具有给定运动方向的冷却装置，其特征在于，包括：
第一管路，该第一管路的一端与运动部件上的冷却部分连通；
第二管路，该第二管路导向于给定的滑轨或第二管路与第一管路均为硬质管，该第二管路与第一管路的另一端连通；
第三管路，为冷却液管路源管；
软管，该软管用于第二管路与第三管路的连通，且软管的长度大于第二管路与第三管路的连接距离；
其中，所述滑轨水平地安装在运动部件上方的真空腔室上，并与所述给定运动方向平行。


2.根据权利要求1所述的真空腔室运动部件冷却装置，其特征在于，若配有滑轨时，所述第二管路为硬质管。


3.根据权利要求2所述的真空腔室运动部件冷却装置，其特征在于，所述滑轨为槽型结构，于槽底开有缝隙；
缝隙的宽度大于第一管路的外径，并小于第二管路的外径，第一管路经由缝隙与第二管路连通，第二管路导滑于槽型结构。


4.根据权利要求2所述的真空腔室运...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋德鹏，姜良斌，
申请(专利权)人：济南力冠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37