一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架、工位和托盘，所述支架的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘，所述齿轮盘的底部安装有贯穿支架的旋盘，所述支架的顶部对称滑嵌有两组工位，且两组工位的外部靠近齿轮盘的一侧均固定连接有齿条，所述两组工位的顶部均设置有托盘。本实用新型专利技术中，首先，采用组合可调式结构，便于双工位之间间距的调节处理，既便于托盘的调节放置处理，同时也提升了托盘支架的适用性，其次，内部设置有装夹结构，当托盘放置在工位上时，可将托盘进行装夹处理，降低了托盘在工位上受力横移和晃动现象的产生，从而提升了托盘放置的稳定性。

A double position tray bracket for the preassembled cavity of the semiconductor etching machine

【技术实现步骤摘要】
一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架
本技术涉及半导体刻蚀机用托盘支架
，尤其涉及一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架。
技术介绍
刻蚀技术，主要应用在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。然而现有的半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架仍存在不足之处：首先，大多采用一体式结构，内部无设置调节结构，难以进行双工位之间间距的调节处理，不便于托盘的调节放置处理，其次，内部无设置装夹结构，托盘直接放置在工位的上方时，易受到外力的作用而产生横移和晃动，放置的稳定性较差。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决传统的半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，难以进行双工位之间的调节和固定处理，不便于托盘的调节放置处理的问题，而提出的一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架、工位和托盘，所述支架的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘，所述齿轮盘的底部安装有贯穿支架的旋盘，所述支架的顶部对称滑嵌有两组工位，且两组工位的外部靠近齿轮盘的一侧均固定连接有齿条，所述两组工位的顶部均设置有托盘。作为上述技术方案的进一步描述：所述支架的形状呈几型结构，所述支架的两端对称开设有两组安装孔。作为上述技术方案的进一步描述：所述旋盘的内部旋合连接有呈竖直分布的固定螺柱，且固定螺柱的顶端与支架的下端面相互贴合。作为上述技术方案的进一步描述：所述两组工位的两侧均通过转轴转动连接有呈L型结构的旋板，旋板和工位之间固定连接有呈弧形结构的挤压弹簧。作为上述技术方案的进一步描述：所述旋板的竖直端内侧位于托盘的上方固定连接有呈半球形结构的凸块。作为上述技术方案的进一步描述：两组所述旋板的水平端均固定连接有传动绳，两组所述传动绳的尾端位于支架的下方固定连接有拉板。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：1、本技术中，采用组合可调式结构，在支架的顶部设置有齿轮盘、旋盘和两组工位，同时两组工位通过齿条与齿轮盘传动连接，需要调节两组工位之间的间距时，转动旋盘，齿轮盘便可进行转动，在齿轮盘和齿条的传动作用下，两组工位便会同时向外或向内水平运动，调节到合适的间距后，便可旋紧旋盘上的固定螺柱，便完成了双工位间距的调节和固定处理，这种结构便于双工位之间间距的调节处理，既便于托盘的调节放置处理，同时也提升了托盘支架的适用性。2、本技术中，内部设置有装夹结构，在工位的两侧转动连接有呈L型的旋板，同时在旋板的底部设置有传动绳和拉板，需要将托盘放置或者取出工位时，将拉板竖直下压，在传动绳的传动作用下，两组旋板便会向外延展，便可将托盘放入或取出工位，松开拉板后，在挤压弹簧的弹力作用下，两组旋板便会复位至初始位置，这种结构当托盘放置在工位上时，可将托盘进行装夹处理，降低了托盘在工位上受力横移和晃动现象的产生，从而提升了托盘放置的稳定性。附图说明图1示出了根据本技术实施例提供的正视图；图2示出了根据本技术实施例提供的俯视图；图3示出了根据本技术实施例提供的工位的内部结构示意图。图例说明：1、支架；101、安装孔；2、齿轮盘；3、旋盘；301、固定螺柱；4、工位；5、托盘；6、旋板；601、凸块；7、拉板；8、传动绳；9、挤压弹簧；10、齿条。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架1、工位4和托盘5，支架1的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘2，齿轮盘2的底部安装有贯穿支架1的旋盘3，支架1的顶部对称滑嵌有两组工位4，且两组工位4的外部靠近齿轮盘2的一侧均固定连接有齿条10，两组工位4的顶部均设置有托盘5。具体的，如图1和图2所示，支架1的形状呈几型结构，支架1的两端对称开设有两组安装孔101，旋盘3的内部旋合连接有呈竖直分布的固定螺柱301，且固定螺柱301的顶端与支架1的下端面相互贴合，两组安装孔101的设置，便于支架1与半导体刻蚀机之间通过紧固件的安装和固定处理，固定螺柱301的设置，当固定螺柱301旋紧后，可限制旋盘3和齿轮盘2的自转，从而提升了工位4位置调节后固定的稳定性。具体的，如图1-3所示，两组工位4的两侧均通过转轴转动连接有呈L型结构的旋板6，旋板6和工位4之间固定连接有呈弧形结构的挤压弹簧9，旋板6的竖直端内侧位于托盘5的上方固定连接有呈半球形结构的凸块601，两组旋板6的水平端均固定连接有传动绳8，两组传动绳8的尾端位于支架1的下方固定连接有拉板7，呈L型结构旋板6的设置，便于托盘5的水平方向的限位以及传动绳8与拉板7之间的连接处理，挤压弹簧9的设置，便于旋板6的复位处理，凸块601的设置，降低了托盘5在两组旋板6之间竖直方向的晃动，从而提升了托盘5放置的稳定性，传动绳8和拉板7的设置，便于两组旋板6开合的控制处理。工作原理：使用时，将支架1通过安装孔101和紧固件安装至半导体刻蚀机的工作台上，便完成了支架1与半导体刻蚀机之间的安装处理，需要将托盘5放置在工位4上时，将拉板7竖直下压，在两组传动绳8的传动作用下，两组旋板6便会同时向外转动，便可将托盘5放置在工位4的顶部位于两组旋板6之间，松开拉板7后，在挤压弹簧9的弹力作用下，两组旋板6便会同时向内转动旋至与托盘5两外壁贴合，便完成了托盘5的装夹固定处理，根据实际的加工使用需求，需要进行两组工位4之间间距和位置的调节处理时，旋开旋盘3上的固定螺柱301，便可转动旋盘3，齿轮盘2便会发生转动，在齿轮盘2和齿条10之间的传动作用下，两组工位4便会同时向外或向内水平运动，当工位4调节到合适的位置后，便可旋紧旋盘3上的固定螺柱301，便完成了两组工位4之间的调节和固定处理。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架(1)、工位(4)和托盘(5)，其特征在于，所述支架(1)的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘(2)，所述齿轮盘(2)的底部安装有贯穿支架(1)的旋盘(3)，所述支架(1)的顶部对称滑嵌有两组工位(4)，且两组工位(4)的外部靠近齿轮盘(2)的一侧均固定连接有齿条(10)，所述两组工位(4)的顶部均设置有托盘(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，包括支架(1)、工位(4)和托盘(5)，其特征在于，所述支架(1)的顶部通过轴承套转动连接有齿轮盘(2)，所述齿轮盘(2)的底部安装有贯穿支架(1)的旋盘(3)，所述支架(1)的顶部对称滑嵌有两组工位(4)，且两组工位(4)的外部靠近齿轮盘(2)的一侧均固定连接有齿条(10)，所述两组工位(4)的顶部均设置有托盘(5)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，其特征在于，所述支架(1)的形状呈几型结构，所述支架(1)的两端对称开设有两组安装孔(101)。


3.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀机预装腔用双工位托盘支架，其特征在于，所述旋盘(3)的内部旋合连接有呈竖直分布的固定螺柱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉学东，
申请(专利权)人：南通通州东大机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32