全自动PE装卸片机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动PE装卸片机。该装卸片机包括机架、Z轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构一、X轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构二、连接平台、宽度调节机构、夹爪、旋转马达、吸盘组、定位台、花篮、石英舟和输送台，所述机架的顶板上固定有Z轴直线驱动机构和X轴直线驱动机构，Z轴直线驱动机构的滑座固定在Y轴直线驱动机构一的缸体上，Y轴直线驱动机构一的缸体滑配连接在机架的顶板上。本实用新型专利技术通过Z轴直线驱动机构和Y轴直线驱动机构一驱使夹爪将石英舟搬运到输送台上，输送台将石英舟传送至吸盘组下方，吸盘组将硅片取出并经由旋转马达旋转方向，从而插入到花篮内。提高了硅片的装卸效率。

Automatic PE loading and unloading machine

【技术实现步骤摘要】
全自动PE装卸片机
本技术涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动PE装卸片机。
技术介绍
硅片在加工过程中，需要将石英舟内加工好的硅片取出并放入到花篮内。但是现有的装卸硅片的工作效率较低。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种全自动PE装卸片机。通过Z轴直线驱动机构和Y轴直线驱动机构一驱使夹爪将石英舟搬运到输送台上，输送台将石英舟传送至吸盘组下方，吸盘组将硅片取出并经由旋转马达旋转方向，从而插入到花篮内。提高了硅片的装卸效率。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种全自动PE装卸片机，包括机架、Z轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构一、X轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构二、连接平台、宽度调节机构、夹爪、旋转马达、吸盘组、定位台、花篮、石英舟和输送台，所述机架的顶板上固定有Z轴直线驱动机构和X轴直线驱动机构，Z轴直线驱动机构的滑座固定在Y轴直线驱动机构一的缸体上，Y轴直线驱动机构一的缸体滑配连接在机架的顶板上，Y轴直线驱动机构一的滑座上固定有连接平台，连接平台上滑动连接有两个相互对称的夹爪，连接平台上安装有宽度调节机构，宽度调节机构与夹爪相连，X轴直线驱动机构的滑座固定在Y轴直线驱动机构二的缸体上，Y轴直线驱动机构二的滑座上固定有旋转马达，旋转马达的输出轴上固定有吸盘组，机架内固定有用于传送石英舟的输送台，输送台位于Y轴直线驱动机构一和Y轴直线驱动机构二的下方，输送台上固定有用于定位花篮的定位台。具体地，所述Z轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构一、X轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构二均为直线模组。具体地，所述宽度调节机构由正反螺纹丝杆、滚珠螺母和支撑座组成，正反螺纹丝杆两端分别通过支撑座转动连接在连接平台上，正反螺纹丝杆的正螺纹段和反螺纹段各自螺纹连接有滚珠螺母，两个滚珠螺母的外圈分别与两个夹爪固定。具体地，所述吸盘组是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。具体地，所述输送台为皮带输送机。具体地，所述定位台上固定有插销，插销插入花篮上的销孔内实现定位。本技术的有益效果是：本技术提供了一种全自动PE装卸片机。通过Z轴直线驱动机构和Y轴直线驱动机构一驱使夹爪将石英舟搬运到输送台上，输送台将石英舟传送至吸盘组下方，吸盘组将硅片取出并经由旋转马达旋转方向，从而插入到花篮内。提高了硅片的装卸效率。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图中1.机架，2.Z轴直线驱动机构，3.Y轴直线驱动机构一,4.X轴直线驱动机构，5.Y轴直线驱动机构二，6.连接平台，7.宽度调节机构，8.夹爪，9.旋转马达，10.吸盘组，11.定位台，12.花篮，13.石英舟，14.输送台，71.正反螺纹丝杆，72.滚珠螺母，73.支撑座。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。图1是本技术的结构示意图。一种全自动PE装卸片机，包括机架1、Z轴直线驱动机构2、Y轴直线驱动机构一3、X轴直线驱动机构4、Y轴直线驱动机构二5、连接平台6、宽度调节机构7、夹爪8、旋转马达9、吸盘组10、定位台11、花篮12、石英舟13和输送台14，所述机架1的顶板上固定有Z轴直线驱动机构2和X轴直线驱动机构4，Z轴直线驱动机构2的滑座固定在Y轴直线驱动机构一3的缸体上，Y轴直线驱动机构一3的缸体滑配连接在机架1的顶板上，Y轴直线驱动机构一3的滑座上固定有连接平台6，连接平台6上滑动连接有两个相互对称的夹爪8，连接平台6上安装有宽度调节机构7，宽度调节机构7与夹爪8相连，X轴直线驱动机构4的滑座固定在Y轴直线驱动机构二5的缸体上，Y轴直线驱动机构二5的滑座上固定有旋转马达9，旋转马达9的输出轴上固定有吸盘组10，机架1内固定有用于传送石英舟13的输送台14，输送台14位于Y轴直线驱动机构一3和Y轴直线驱动机构二5的下方，输送台14上固定有用于定位花篮12的定位台11。所述Z轴直线驱动机构2、Y轴直线驱动机构一3、X轴直线驱动机构4、Y轴直线驱动机构二5均为直线模组。所述宽度调节机构7由正反螺纹丝杆71、滚珠螺母72和支撑座73组成，正反螺纹丝杆71两端分别通过支撑座73转动连接在连接平台6上，正反螺纹丝杆71的正螺纹段和反螺纹段各自螺纹连接有滚珠螺母72，两个滚珠螺母72的外圈分别与两个夹爪8固定。所述吸盘组10是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组10上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。所述输送台14为皮带输送机。所述定位台11上固定有插销，插销插入花篮12上的销孔内实现定位。如附图1所示，吸盘组10的所有吸板均连接气泵，气泵启动使得吸板上的吸孔产生负压，从而吸住硅片。所有吸板之间间距相同，因此吸盘组3可以同时抓取按照一定间距摆放在石英舟13内的数个硅片，并将数个硅片同时插入到花篮12内。直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转，旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动，与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。输送台14(皮带输送机)是由两条相互平行的电机、皮带、传动轮和传送台组成，传送台两端分别转动有传动轮，传动轮均张紧在皮带内圈，其中一端的传动轮的轴固定在电机的输出轴上。电机驱使传动轮旋转，旋转的传动轮通过摩擦带动皮带传动。皮带通过摩擦力带动硅片进行传动。宽度调节机构7的调节方式为，用扳手夹住正反螺纹丝杆71中间的铣扁段进行旋转。旋转的正反螺纹丝杆71会驱使两个滚珠螺母72相反或相对移动，此时与两个滚珠螺母72外圈分别固定的两个夹爪8，就会沿着连接平台6上的滑槽进行相反或相对移动，这样就可以扩大或缩小两个夹爪8之间的间距，以此来适配不同长度的石英舟13。首先通过宽度调节机构7将两个夹爪8之间的间距，调节到与当前石英舟13相配合的距离。然后Y轴直线驱动机构一3驱使夹爪8进行上下移动。夹爪8为L形板，当夹爪8的水平部移动到石英舟13两侧凹槽正前方之后，启动Z轴直线驱动机构2，Z轴直线驱动机构2驱使夹爪8往前进行水平移动，直到将夹爪8的水平部移动到石英舟13两侧凹槽内。此时夹爪8将石英舟13从入料工位提起并移动至输送台14正上方，再将石英舟13放置到输送台14的皮带上。通过皮带将石英舟13水平移动，直到将石英舟13传送到吸盘组10下方。此时Y轴直线驱动机构二5驱使吸盘组10往下移动，从而将石英舟13内的硅片吸出。接着旋转马达9将吸盘组10及硅片旋转90度，再启动X轴直线驱动机构4，驱使吸盘组10及硅片朝花篮12的方向水平移动，直到将硅片插入到花篮12内。当花篮12插满之后，即可将花篮12从定位台11上提离取走。以上述依据本技术的理想本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动PE装卸片机，其特征是，包括机架(1)、Z轴直线驱动机构(2)、Y轴直线驱动机构一(3)、X轴直线驱动机构(4)、Y轴直线驱动机构二(5)、连接平台(6)、宽度调节机构(7)、夹爪(8)、旋转马达(9)、吸盘组(10)、定位台(11)、花篮(12)、石英舟(13)和输送台(14)，所述机架(1)的顶板上固定有Z轴直线驱动机构(2)和X轴直线驱动机构(4)，Z轴直线驱动机构(2)的滑座固定在Y轴直线驱动机构一(3)的缸体上，Y轴直线驱动机构一(3)的缸体滑配连接在机架(1)的顶板上，Y轴直线驱动机构一(3)的滑座上固定有连接平台(6)，连接平台(6)上滑动连接有两个相互对称的夹爪(8)，连接平台(6)上安装有宽度调节机构(7)，宽度调节机构(7)与夹爪(8)相连，X轴直线驱动机构(4)的滑座固定在Y轴直线驱动机构二(5)的缸体上，Y轴直线驱动机构二(5)的滑座上固定有旋转马达(9)，旋转马达(9)的输出轴上固定有吸盘组(10)，机架(1)内固定有用于传送石英舟(13)的输送台(14)，输送台(14)位于Y轴直线驱动机构一(3)和Y轴直线驱动机构二(5)的下方，输送台(14)上固定有用于定位花篮(12)的定位台(11)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种全自动PE装卸片机，其特征是，包括机架(1)、Z轴直线驱动机构(2)、Y轴直线驱动机构一(3)、X轴直线驱动机构(4)、Y轴直线驱动机构二(5)、连接平台(6)、宽度调节机构(7)、夹爪(8)、旋转马达(9)、吸盘组(10)、定位台(11)、花篮(12)、石英舟(13)和输送台(14)，所述机架(1)的顶板上固定有Z轴直线驱动机构(2)和X轴直线驱动机构(4)，Z轴直线驱动机构(2)的滑座固定在Y轴直线驱动机构一(3)的缸体上，Y轴直线驱动机构一(3)的缸体滑配连接在机架(1)的顶板上，Y轴直线驱动机构一(3)的滑座上固定有连接平台(6)，连接平台(6)上滑动连接有两个相互对称的夹爪(8)，连接平台(6)上安装有宽度调节机构(7)，宽度调节机构(7)与夹爪(8)相连，X轴直线驱动机构(4)的滑座固定在Y轴直线驱动机构二(5)的缸体上，Y轴直线驱动机构二(5)的滑座上固定有旋转马达(9)，旋转马达(9)的输出轴上固定有吸盘组(10)，机架(1)内固定有用于传送石英舟(13)的输送台(14)，输送台(14)位于Y轴直线驱动机构一(3)和Y轴直线驱动机构二(5)的下方，输送台(14)上固定有用于定位花篮(12)的定位台(11)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：向永富，
申请(专利权)人：苏州璞智自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32