基板干燥方法及基板处理装置制造方法及图纸

向基板的上表面供给包括升华性物质和溶剂的溶液即干燥前处理液。然后，通过使溶剂从基板上的干燥前处理液蒸发，从而在基板上的干燥前处理液中析出升华性物质的固体。然后，使升华性物质的固体的至少一部分溶解于基板上的干燥前处理液。然后，通过使溶剂从溶解有升华性物质的固体的干燥前处理液蒸发，从而在基板上析出升华性物质的固体。然后，通过使升华性物质的固体升华，从而从基板的上表面除去升华性物质的固体。

Substrate drying method and substrate treatment device

【技术实现步骤摘要】
基板干燥方法及基板处理装置
本申请要求2018年11月9日提出的日本专利申请2018-211715号的优先权，本申请的全部内容通过引用构成。本专利技术涉及干燥基板的基板干燥方法及基板处理装置。基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置及有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。
技术介绍
在半导体装置及FPD等制造工序中，根据需要对半导体晶片及FPD用玻璃基板等基板进行处理。这样的处理包括向基板供给药液或冲洗液等处理液。在供给处理液之后，从基板除去处理液，使基板干燥。在逐张处理基板的单片式基板处理装置中进行旋转式干燥，即，通过利用基板的高速旋转除去基板上的液体来干燥基板。在基板表面形成有图案的情况下，干燥基板时，会因附着于基板的处理液的表面张力而引起的力施加于图案而发生图案倒塌。作为应对，采用向基板供给IPA(异丙醇)等表面张力小的液体，或者，向基板供给液体相对于图案的接触角接近90度的疏水剂的方法。但是，即便是使用IPA或者疏水剂，因为使图案倒塌的倒塌力不会为零，所以，因图案强度而异，即使采用这些应对也会有不能充分防止图案倒塌的情况。最近，作为防止图案倒塌的技术，升华式干燥受到关注。例如日本JP2012-243869A公开了进行升华式干燥的基板干燥方法及基板处理装置。在日本JP2012-243869A所记载的升华式干燥中，向基板的上表面供给升华性物质的溶液，基板上的DIW被置换为升华性物质的溶液。然后，蒸发升华性物质的溶剂，析出升华性物质。由此，在基板的上表面形成由固体升华性物质构成的膜。然后，加热基板。由此，基板上的升华性物质升华，而从基板除去。通常，与通过基板的高速旋转除去液体的旋转式干燥及利用IPA的IPA干燥等以往的干燥方法相比，升华式干燥的图案倒塌率低。但是，如果图案强度极低，即使实施升华式干燥，也会有不能够充分防止图案倒塌的情况。
技术实现思路
本专利技术的一实施方式提供一种基板干燥方法，其包括：干燥前处理液供给工序，向形成有图案的基板的上表面供给干燥前处理液，并在所述基板的所述上表面形成所述干燥前处理液的液膜，所述干燥前处理液是包含相当于溶质的升华性物质和溶解有所述升华性物质的溶剂的溶液；第一析出工序，通过使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体；第一溶解工序，使所述升华性物质的固体的至少一部分溶解于所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液；最终析出工序，通过使所述溶剂从溶解了所述升华性物质的固体的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上析出所述升华性物质的固体；升华工序，通过使所述升华性物质的固体升华，从而从所述基板的所述上表面除去所述升华性物质的固体。根据该方法，向基板的上表面供给相当于干燥前处理液的、升华性物质和溶剂的溶液。由此，在基板的上表面上形成干燥前处理液的液膜。然后，使溶剂从干燥前处理液蒸发。干燥前处理液中的升华性物质的浓度随着溶剂的蒸发而上升。若升华性物质的浓度达到升华性物质的饱和浓度，则升华性物质的固体在干燥前处理液中析出。开始析出升华性物质的固体时，基板的上表面残留有干燥前处理液。使升华性物质的固体的至少一部分溶解于该干燥前处理液。然后，再次使溶剂从干燥前处理液蒸发。由此，溶剂的含有量减少，升华性物质的固体在基板的上表面上析出。然后，使升华性物质的固体升华，并从基板除去。如此一来，干从基板除去燥前处理液，基板得到干燥。在最初析出升华性物质的固体前，干燥前处理液不仅存在于图案间，还存在于图案的上方。半导体晶片或FPD用基板等基板上的图案的间隔狭窄。若图案的间隔狭窄，存在于图案间的干燥前处理液与干燥前处理液的基体的性质不同，也就是说，存在于图案间的干燥前处理液与位于从干燥前处理液的表面(上表面)到图案的上表面的范围内的的干燥前处理液的性质不同。二者的性质区别随着图案的间隔变窄而显著。若图案的间隔狭窄，则最初析出升华性物质的固体时，会出现仅在干燥前处理液的基体析出升华性物质的固体，而在基板的上表面内形成图案之间不存在或者几乎不存在升华性物质的固体的不完全析出区域的情况。在此情况下，图案之间的干燥前处理液的表面张力施加于图案的侧面，所以，使升华性物质的固体升华时，不完全析出区域内的图案会倒塌。这成为图案倒塌率上升(恶化)的原因。与此相对，若使析出的升华性物质的固体溶解于干燥前处理液后，再次析出升华性物质的固体，则即便在图案之间的空间等狭窄空间也能够形成升华性物质的固体的结晶核。因此，如果在使析出的升华性物质的固体溶解于干燥前处理液后，再次析出升华性物质的固体，则即便图案的间隔狭窄，也能够防止出现不完全析出区域或者减小其面积。由此，能够减少图案的倒塌并降低图案的倒塌率。在所述实施方式中，可以将下述特征中的至少一个加入所述基板干燥方法。所述第一析出工序包括：室温析出工序，通过将所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液维持为小于或等于室温的温度，并使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体。根据该方法，不是通过加热干燥前处理液使溶剂从干燥前处理液蒸发，而是将干燥前处理液维持为小于或等于室温的温度，并使溶剂从干燥前处理液蒸发。在此情况下，在干燥前处理液的表面，升华性物质的浓度局部上升，在干燥前处理液的表面或者其附近析出升华性物质的固体。与此同时，干燥前处理液残留于升华性物质的固体与图案的上表面之间。升华性物质的固体溶解于该干燥前处理液。与此相对，若通过加热干燥前处理液使溶剂从干燥前处理液蒸发，则干燥前处理液的温度上升至高于室温的值，且干燥前处理液中的升华性物质的浓度上升。在使升华性物质的浓度上升后，若通过自然冷却或者强制冷却干燥前处理液使升华性物质的固体析出，则会存在干燥前处理液的基体的大部分或者全体变化为升华性物质的固体的情况。若图案的上方未残留干燥前处理液，升华性物质的固体不会高效溶解于干燥前处理液。即便图案之间残留有干燥前处理液，升华性物质的固体溶解于图案之间的干燥前处理液的效率也不及升华性物质的固体溶解于干燥前处理液的基体的效率。因此，通过将干燥前处理液的基体的一部分维持为液体，能够使升华性物质的固体高效地溶解于干燥前处理液。所述第一溶解工序包括：加热工序，以高于室温的加热温度加热所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液。根据该方法，加热基板的上表面上的干燥前处理液，使干燥前处理液的温度上升至高于室温的值。能够通过干燥前处理液的温度上升来促进升华性物质的固体向干燥前处理液的溶解。由此，能够使升华性物质的固体高效地溶解于干燥前处理液。并且，因为随着开始加热而开始强制溶解升华性物质的固体，所以，通过变更开始加热的时机，能够在任意时期开始强制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板干燥方法，其中，包括：/n干燥前处理液供给工序，向形成有图案的基板的上表面供给干燥前处理液，并在所述基板的所述上表面形成所述干燥前处理液的液膜，所述干燥前处理液是包含相当于溶质的升华性物质和溶解有所述升华性物质的溶剂的溶液；/n第一析出工序，通过使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体；/n第一溶解工序，使所述升华性物质的固体的至少一部分溶解于所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液；/n最终析出工序，通过使所述溶剂从溶解了所述升华性物质的固体的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上析出所述升华性物质的固体；/n升华工序，通过使所述升华性物质的固体升华，从而从所述基板的所述上表面除去所述升华性物质的固体。/n

【技术特征摘要】
20181109 JP 2018-2117151.一种基板干燥方法，其中，包括：
干燥前处理液供给工序，向形成有图案的基板的上表面供给干燥前处理液，并在所述基板的所述上表面形成所述干燥前处理液的液膜，所述干燥前处理液是包含相当于溶质的升华性物质和溶解有所述升华性物质的溶剂的溶液；
第一析出工序，通过使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体；
第一溶解工序，使所述升华性物质的固体的至少一部分溶解于所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液；
最终析出工序，通过使所述溶剂从溶解了所述升华性物质的固体的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上析出所述升华性物质的固体；
升华工序，通过使所述升华性物质的固体升华，从而从所述基板的所述上表面除去所述升华性物质的固体。


2.根据权利要求1所述的基板干燥方法，其中，
所述第一析出工序包括：室温析出工序，通过将所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液维持为小于或等于室温的温度，并使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体。


3.根据权利要求1或2所述的基板干燥方法，其中，
所述第一溶解工序包括：加热工序，以高于室温的加热温度加热所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液。


4.根据权利要求3所述的基板干燥方法，其中，
所述加热工序包括：间接加热工序，通过从所述基板的下方加热所述基板，从而以所述加热温度加热所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液。


5.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木悠太，高桥弘明，尾辻正幸，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP