一种新型喷镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型喷镀装置，包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05‑1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。本实用新型专利技术结构简单，实用性强，不仅可以用于实验，也可以用于工业生产，同时制备纳米点、晶须、纳米薄膜；本实用新型专利技术通过高压将前驱体溶液均匀喷涂在衬底上，并且通过旋转机构，保证喷涂的均匀性；本实用新型专利技术通过电磁加热线圈可实现薄膜的快速分解、固化，从而提高薄膜的制备效率。

A new spray plating device

【技术实现步骤摘要】
一种新型喷镀装置
本技术涉及纳米薄膜制备设备
，尤其是一种新型喷镀装置。
技术介绍
20世纪90年代左右，纳米技术开始兴起，得益于其大的比较面积、局域表面效应、量子效应、纳米尺寸效应等优异性能，米纳材料被广泛应用于光电二极管、太阳能电池、光电探测器等领域。纳米材料分为零维、一维、二维。零维纳米材料主要是指纳米点、纳米球，一维纳米材料主要是指纳米线、纳米柱(晶须)、纳米纤维，二维纳米材料主要是指纳米片、纳米薄膜。目前制备纳米材料的设备大都是专用设备，不仅结构复杂，成本较高，而且很多都是用于工业生产的，兼容实验室研发和小规模生产的设备很少。尤其是能够同时用于制备纳米点、纳米柱(晶须)、纳米薄膜的设备几乎没有。因此，亟需要一种实验室用(兼顾生产的)、多功能的纳米制备设备。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种结构简单的喷涂装置。本技术的技术方案为：一种新型喷镀装置，包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05-1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。进一步的，所述的旋转机构包括旋转电机、以及与旋转电机连接的旋转轴，所述的样品台设置在旋转轴上端。进一步的，所述的加热机构为电磁加热线圈。进一步的，所述的进料筒的容积为10-1500mL，其用于装载前驱体溶液，并且所述的进料筒内侧壁上设置有保温层。进一步的，所述的样品台上开设有用于放置衬底的凹槽，所述凹槽的直径为1cm-4in。进一步的，所述的旋转机构的旋转速度为5-6000转/分钟。进一步的，所述的电磁加热线圈的加热的最高温度为600℃。进一步的，所述的进料管道上设置有进料阀，所述的高压气流管道上设置有进气阀。进一步的，所述喷头的形状为圆形，通过将喷头分成多个圆周，所述的喷孔呈圆周分布，且每个圆周上设置有4-16个喷孔。使用方法：(1)将干净的衬底放入样品台，并通过旋转机构旋转样品台，到达所需的转速；(2)给电磁加热线圈通电，将衬底加热到所需的温度；(3)将配置好的前驱体溶液倒入进料筒；(4)打开进气阀和进料阀，利用气流将前驱体溶液输送到喷头，并利用气流的强大的压力，将前驱体溶液以喷雾的形式溅射到衬底上；在高温下，前驱体溶液迅速分解，固化，从而在衬底上获得氧化物纳米粒子或者氧化物晶须或者氧化物多孔薄膜或者氧化物薄膜，产生的其他副产物则通过气泵抽走。本技术的有益效果为：1、本技术结构简单，实用性强，不仅可以用于实验，也可以用于工业生产，同时制备纳米点、晶须、纳米薄膜；2、本技术通过高压将前驱体溶液均匀喷涂在衬底上，并且通过旋转机构，保证喷涂的均匀性；3、本技术通过电磁加热线圈可实现薄膜的快速分解、固化，从而提高薄膜的制备效率。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中，1-壳体，2-样品台，3-转轴，4-加热机构，5-喷头，6-高压气流管道，7-进料管道，8-进料筒，9-进气阀，10-进料阀，11-喷孔。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明：如图1所示，一种新型喷镀装置，包括壳体1，以及设置在壳体1内的样品台2，所述的样品台2上开设有用于放置衬底的凹槽，所述凹槽的直径为1cm-4in。所述的样品台2设置在旋转机构上，所述的旋转机构的旋转速度为5-6000转/分钟。所述的旋转机构包括旋转电机、以及与旋转电机连接的旋转轴3，所述的样品台2设置在旋转轴3上端。所述的样品台2下端还设置有加热机构4，本实施例中所述的加热机构4采用电磁加热线圈，其最高加热温度为600℃。所述样品台2的上端还设置有一喷头5，所述喷头的形状为圆形，并且所述喷头5的下端设置有多个喷孔11，所述的喷孔呈圆周分布，并且在每个圆周面上分布4-16个喷孔11，所述的喷孔11的孔径为0.05-1mm，所述的喷头5通过高压气流管道6输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道6还通过进料管道7与进料筒8连通，所述的进料筒8内装有前驱体溶液，并且通过在进料筒8的内侧壁上图上保温层使其具有保温功能。所述的进料管道7上设置有进料阀10，所述的高压气流管道6上设置有进气阀9。使用方法：(1)将干净的衬底放入样品台2的凹槽内，并通过旋转机构旋转样品台2，使样品台2的转速达到500转/分钟；(2)给电磁加热线圈通电，将衬底加热到250℃；(3)将配置好的前驱体溶液倒入进料筒8；(4)打开进气阀9和进料阀10，利用气流将前驱体溶液输送到喷头5，并利用气流的强大的压力，其压力为1-20KG，将前驱体溶液以喷雾的形式溅射到衬底上；在高温下，前驱体溶液迅速分解，固化，从而在衬底上获得氧化物纳米粒子或者氧化物晶须或者氧化物多孔薄膜或者氧化物薄膜，产生的其他副产物则通过气泵抽走。(5)若衬底温度只能获得前驱体薄膜，则调节电磁加热线圈的电流，将衬底温度迅速加热到600℃，从而获得目标产物。上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理和最佳实施例，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型喷镀装置，其特征在于：包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05-1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型喷镀装置，其特征在于：包括壳体，以及设置在壳体内的样品台，所述的样品台设置在旋转机构上，所述的样品台下端还设置有加热机构，所述样品台的上端还设置有一喷头，所述的喷头上设置有多个喷孔，所述的喷孔的孔径为0.05-1mm，所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气，所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。


2.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的旋转机构包括旋转电机、以及与旋转电机连接的旋转轴，所述的样品台设置在旋转轴上端。


3.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的加热机构为电磁加热线圈。


4.根据权利要求1所述的一种新型喷镀装置，其特征在于：所述的进料筒的容积为10-1500mL，其用于装载前驱体溶液，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，刘俊杰，赵丽特，刘铭全，何鑫，李远兴，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：新型
国别省市：广东;44