用于半导体行业空调系统的超洁净风管技术方案

用于半导体行业空调系统的超洁净风管，包括至少两个筒状的风管节，各风管节的对接端通过法兰互相对接以形成完整的风管，对接的法兰通过螺栓或铆钉连接，所述筒状的风管节由板材通过咬口咬合连接而成，该咬口内填充有密封胶。该风管不产生灰尘颗粒，完全保证了风管的密封性，且简单易行，成本低廉，完全满足建造洁净等级为０至１０级的洁净室的需要。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及空调系统的风管结构，具体地说是指用于半导体行业空调系统的超洁净风管。
技术介绍
在科技发展日新月异的今天，半导体产业的发展也突飞猛进，半导体集成电路刻蚀工艺精度已经达到35纳米，这就要求建造更高洁净等级(0至10级)的洁净室，其空调系统的风管结构是影响洁净室洁净等级的重要因素。目前，公知的洁净风管就是在普通风管的基础上，增加了清洗和塑料布包装。该工艺可以满足建造洁净等级为1000级以下洁净室的需要，在建造洁净等级100级以上洁净室时已不能满足需要。因而，采用传统的洁净风管不可能建造出洁净等级为0至10级的洁净室。
技术实现思路
本技术提供一种用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其主要目的在于克服现有风管的结构无法满足建造高洁净等级洁净室要求的缺点。本技术采用如下技术方案：用于半导体行业空调系统的超洁净风管，包括至少两个筒状的风管节，各风管节的对接端通过法兰互相对接以形成完整的风管，对接的法兰通过螺栓或铆钉连接，所述筒状的风管节由板材通过咬口咬合连接而成，该咬口内填充有密封胶。由于密封胶填充于咬口内，可防止老化脱落，从而更有效地起到密封效果。前述用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其每一风管节由两片板材构成，每一片板材弯折成L形，两片L形板材对接成矩形的风管节，对接处通过咬口咬合连接。所述板材为无锌花连续热镀锌钝化无油板。无锌花连续热镀锌钝化无油板为本溪钢铁厂的新产品，此种板材无油，清洗方便，抗锈蚀能力强，无起壳，抗氧化，从源头上减少了灰尘的产生。所述法兰为经热浸锌处理的钢制法兰。法兰是在制作完毕后再进行热浸锌处理，因而整个法兰外表面全部覆盖镀锌层且光滑无毛刺。-->前述用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其互相对接的法兰之间夹设有密封带。进一步地，所述密封带为交联聚四氟乙烯发泡密封带。该密封带具有耐高温、不氧化、不老化、高韧性的特点，不会产生灰法，从而切断了垫料产生灰尘这一途径。前述用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其对接的法兰通过紫铜螺栓或或紫铜铆钉固定连接。紫铜螺栓或或紫铜铆钉质地柔软，铆接过程不会对板材表面的抗氧化层产生破坏。前述用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其风管节外周覆盖有环氧树脂漆膜。前述用于半导体行业空调系统的超洁净风管，还包括对夹式吊架，该对夹式调架包括夹设于风管上、下方的上夹杆、下夹杆，以及设于风管两侧的左吊杆、右吊杆，左吊杆、右吊杆穿过上夹杆、下夹杆的两端部，并且于该上夹杆上方、下夹杆下方通过螺母锁定，上夹杆、下夹杆与风管外侧壁之间夹设有聚氯丁烯橡胶减震垫。聚氯丁烯橡胶减震垫可有效地减轻风管震颤，从而减少风管部件震动互相磨擦产生微小颗粒，并且也可减小气流因风管震动而发生变化。由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：该风管不产生灰尘颗粒，完全保证了风管的密封性，且简单易行，成本低廉，完全满足建造洁净等级为0至10级的洁净室的需要。附图说明图1为本技术风管的整体结构示意图；图2为图1中A-A向视图；图3为本技术风管吊架的结构示意图；图4为图1中A处局部放大图；图5为图2中B处局部放大图。具体实施方式下面参照图1至图5说明本技术的具体实施方式。本实施方式提供用于半导体行业空调系统的超洁净风管，参照图1，该风管包括三个筒状的风管节1、2、3，风管节的数量通常并不止三个，在此为了说明方便，图1仅示出-->三个风管节1、2、3。各风管节1、2、3的对接端分别通过法兰12、21和22、31互相对接以形成完整的风管，对接的法兰12、21和22、31通过螺栓或铆钉连接。同时参照图4，互相对接的法兰12、21之间夹设有密封带5，该密封带5为交联聚四氟乙烯发泡密封带，该密封带具有耐高温、不氧化、不老化、高韧性的特点，不会产生灰法，从而切断了垫料产生灰尘这一途径。锁合法兰12、21的螺栓6为紫铜螺栓，也可用紫铜铆钉代替，紫铜螺栓或或紫铜铆钉质地柔软，铆接过程不会对板材表面的抗氧化层产生破坏。法兰22、31之间的连接结构与法兰12、21的连接结构相同。参照图2，风管节2由两片板材23、24构成，各板材23、24弯折成L形，两片L形板材对接成截面为矩形的风管节2，对接处分别通过咬口7、8咬合连接。同时参照图5，该咬口7内填充有密封胶70，由于密封胶70填充于咬口7内，可防止老化脱落，从而更有效地起到密封效果。咬口8的结构与咬口7相同。风管节2外周覆盖有环氧树脂漆膜20，既保证了风管内气流的洁净等级，又提高了风管外洁净室内空气的洁净度。参照图3，该风管采用对夹式吊架4安装固定，该对夹式调架4包括夹设于风管上、下方的上夹杆41、下夹杆42，以及设于风管两侧的左吊杆43、右吊杆44，左吊杆43、右吊杆44穿过上夹杆41、下夹杆42的两端部，并且于该上夹杆41上方、下夹杆42下方通过螺母锁定，上夹杆41、下夹杆42与风管外侧壁之间夹设有聚氯丁烯橡胶减震垫9。聚氯丁烯橡胶减震垫9可有效地减轻风管震颤，从而减少风管部件震动互相磨擦产生微小颗粒，并且也可减小气流因风管震动而发生变化。上述风管节2采用板材为无锌花连续热镀锌钝化无油板。无锌花连续热镀锌钝化无油板为本溪钢铁厂的新产品，此种板材无油，清洗方便，抗锈蚀能力强，无起壳，抗氧化，从源头上减少了灰尘的产生。上述法兰12、21、22、31为经热浸锌处理的钢制法兰。法兰是在制作完毕后再进行热浸锌处理，因而整个法兰外表面全部覆盖镀锌层且光滑无毛刺。上述仅为本技术的一个具体实施方式，但本技术的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本技术进行非实质性的改动，均应属于侵犯本技术保护范围的行为。-->本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于半导体行业空调系统的超洁净风管，包括至少两个筒状的风管节，各风管节的对接端通过法兰互相对接以形成完整的风管，对接的法兰通过螺栓或铆钉连接，其特征在于：所述筒状的风管节由板材通过咬口咬合连接而成，该咬口内填充有密封胶。

【技术特征摘要】
1.用于半导体行业空调系统的超洁净风管，包括至少两个筒状的风管节，各风管节的对接端通过法兰互相对接以形成完整的风管，对接的法兰通过螺栓或铆钉连接，其特征在于：所述筒状的风管节由板材通过咬口咬合连接而成，该咬口内填充有密封胶。2.如权利要求1所述的用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其特征在于：所述每一风管节由两片板材构成，每一片板材弯折成L形，两片L形板材对接成矩形的风管节，对接处通过咬口咬合连接。3.如权利要求1或2所述的用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其特征在于：所述板材为无锌花连续热镀锌钝化无油板。4.如权利要求1或2所述的用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其特征在于：所述法兰为经热浸锌处理的钢制法兰。5.如权利要求1所述的用于半导体行业空调系统的超洁净风管，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔玉音，张延卫，苏龙军，吴建伟，
申请(专利权)人：崔玉音，张延卫，苏龙军，吴建伟，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]