一种显微热分布测试设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；所述三轴机械臂工作末端上设置有工位切换件，所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块。该显微热分布测试设备通过将微距热成像模块和显微相机模块设置在一工位切换件上，微距热成像模块和显微相机模块在工位切换件的作业工位上的位置相对固定，保证微距热成像模块与待测零件之间的距离为最佳距离，保证了微距热成像效果，具有良好的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种显微热分布测试设备
本技术涉及电气检测领域，具体涉及到一种显微热分布测试设备。
技术介绍
在电子元器件检测领域当中，电子元器件的高温失效分析等方面需要通过热分布测试实验进行测试。目前行业内热分布测试实验主要集中于宏观领域，微观领域的热分布测试实验较少；微观领域热分布测试实验对热成像仪与待测零件之间的距离要求严格，操作难度较大。
技术实现思路
为了降低显微热分布测试实验的操作难度，本技术实施例提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备操作难度低，热成像效果好，具有良好的实用性。相应的，本技术提供了一种显微热分布测试设备，所述显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；所述三轴机械臂工作末端上设置有具有若干个固定工位的工位切换件，所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块；所述工位切换件表面设置有若干个工位安装面，所述若干个工位安装面中的其中一个工位安装面对应的工位为作业工位，所述作业工位朝向所述二轴旋转支撑平台；所述显微相机模块和微距热成像模块分别设置在所述若干个工位安装面的其中两个安装面上；所述二轴旋转支撑平台包括二轴运动模块和旋转平台模块，所述旋转平台模块设置在所述二轴运动模块的输出端，所述二轴运动模块驱动所述旋转平台模块在平面内运动；所述旋转平台模块包括一绕自身轴线旋转的测试支撑板。可选的实施方式，所述测试柜还设置有工位切换组件；所述工位切换组件包括工位切换连接板、工位切换电机、工位切换主动轮和工位切换从动轮；所述工位切换连接板连接于三轴机械臂的工作末端上；所述工位切换电机本体固定在所述工位切换连接板上表面，所述工位切换电机输出轴穿过所述工位切换连接板并与所述工位切换主动轮连接，所述工位切换主动轮和工位切换从动轮之间啮合形成传动；所述工位切换件与所述工位切换从动轮连接固定，所述若干个工位安装面沿所述位切换从动轮轴线圆周均匀分布。可选的实施方式，所述显微相机模块包括CCD相机和直筒显微镜，所述CCD相机设置在所述工位切换件的其中一个工位安装面上；所述直筒显微镜设置在所述CCD相机镜头上。可选的实施方式，所述微距热成像模块包括热成像仪和微距镜头；所述热成像仪设置于所述工位切换件的其中一个工位安装面上，所述微距镜头设置在热成像仪的成像镜头上。可选的实施方式，所述二轴运动模块包括横向运动模块和纵向运动模块，所述纵向运动模块设置在所述横向运动模块的输出端上。可选的实施方式，所述横向运动模块包括底板、顶板、横向光杆、横向连接块、横向运动板和横向电机；所述底板和顶板相互固定平行，所述顶板中部沿横向开有横向通槽，两根所述横向光杆沿横向固定在所述顶板下方，且两根所述横向光杆设置位置分别位于所述横向通槽的纵向两侧；所述横向连接块数量为两个，每一个所述横向连接块两端分别滑动配合在两根所述横向光杆上；每一个所述横向连接块中部穿过所述横向通槽，所述横向运动板固定在两个所述横向连接块上；所述横向电机设置在所述顶板底面上，且所述横向电机驱动所述横向连接块沿所述横向光杆运动。可选的实施方式，所述纵向运动模块包括纵向导轨、纵向滑块、纵向丝杆和纵向电机；所述纵向导轨沿纵向固定在所述横向运动板上，所述纵向滑块滑动配合在所述纵向导轨上；所述纵向丝杆平行设置在在所述纵向导轨一侧；所述纵向电机设置在纵向丝杆其中一端上，且所述纵向电机输出轴与所述纵向丝杆同轴连接；所述纵向滑块基于与所述纵向丝杆配套的螺纹配合在所述纵向丝杆上。可选的实施方式，所述旋转平台模块还包括旋转平台电机，所述旋转平台电机本体设置在所述二轴运动模块的输出端上，所述旋转平台电机输出轴与所述测试支撑板连接固定。可选的实施方式，所述工位切换件上还设置有用于夹取待测零件的柔性夹爪模块，所述柔性夹爪模块设置在所述工位切换件的其中一个工位安装面上。本技术实施例提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备通过将微距热成像模块和显微相机模块设置在一工位切换件，微距热成像模块和显微相机模块在工位切换件的作业工位上的位置相对固定，一方面，微距热成像模块所得到的待测零件实物图像与显微相机模块的热成像图像对应关系明确，复合难度低；另一方面，通过显微相机模块对待测零件进行测距，保证微距热成像模块与待测零件之间的距离为最佳距离，保证了微距热成像效果，具有良好的实用性；工位切换件上还设置有柔性夹爪模块，在进行待测零件夹取时具有良好的保护性；工位切换件设置在三轴机械臂上，通过一组三轴机械臂实现对柔性夹爪模块、微距热成像模块和显微相机模块位置调整，具有良好的便利性；同时，通过三轴机械臂和二轴旋转支撑平台的配合调整待测零件的位置，调节效率较高；测试支撑板上设置的水冷接头和加热头，可高效对测试支撑板温度进行调节，有利于提高测试效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1示出了本技术实施例的显微热分布测试设备正视图；图2示出了本技术实施例的三轴机械臂的工作末端局部放大结构示意图；图3示出了本技术实施例的柔性夹爪模块三维结构示意图；图4示出了本技术实施例的显微相机模块；图5示出了本技术实施例的微距热成像模块；图6示出了本技术实施例的二轴旋转支撑平台三维结构示意图；图7示出了本技术实施例的横向运动模块三维结构示意图；图8示出了本技术实施例的纵向运动模块三维结构示意图；图9示出了本技术实施例的旋转平台模块三维结构示意图；图10示出了本技术实施例的夹持式探针模块三维结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备包括测试柜；所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴支撑平台；三轴机械臂的工作末端上设置有末端切换组件，末端切换组件上设置有显微相机模块和微距热成像模块；所述末端切换组件上设置有一作业工位，所述显微相机模块和微距热成像模块可分别切换至所述作业工位上进行作业。待测零件设置在所述二轴支撑平台上，通过显微相机模块，可获取待测零件在所述二轴支撑平台上的位置以及待测零件与所述显微相机模块之间的距离，利用显微相机模块和微距热成像模块在所述作业工位上相对位置固定的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微热分布测试设备，其特征在于，所述显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；/n所述三轴机械臂工作末端上设置有具有若干个固定工位的工位切换件；所述工位切换件表面设置有若干个工位安装面，所述若干个工位安装面中的其中一个工位安装面对应的工位为作业工位，所述作业工位朝向所述二轴旋转支撑平台；/n所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块，所述显微相机模块和微距热成像模块分别设置在所述若干个工位安装面的其中两个安装面上；/n所述二轴旋转支撑平台包括二轴运动模块和旋转平台模块，所述旋转平台模块设置在所述二轴运动模块的输出端，所述二轴运动模块驱动所述旋转平台模块在平面内运动；/n所述旋转平台模块包括一绕自身轴线旋转的测试支撑板。/n

【技术特征摘要】
1.一种显微热分布测试设备，其特征在于，所述显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；
所述三轴机械臂工作末端上设置有具有若干个固定工位的工位切换件；所述工位切换件表面设置有若干个工位安装面，所述若干个工位安装面中的其中一个工位安装面对应的工位为作业工位，所述作业工位朝向所述二轴旋转支撑平台；
所述工位切换件上设置有显微相机模块和微距热成像模块，所述显微相机模块和微距热成像模块分别设置在所述若干个工位安装面的其中两个安装面上；
所述二轴旋转支撑平台包括二轴运动模块和旋转平台模块，所述旋转平台模块设置在所述二轴运动模块的输出端，所述二轴运动模块驱动所述旋转平台模块在平面内运动；
所述旋转平台模块包括一绕自身轴线旋转的测试支撑板。


2.如权利要求1所述的显微热分布测试设备，其特征在于，所述测试柜还设置有工位切换组件；所述工位切换组件包括工位切换连接板、工位切换电机、工位切换主动轮和工位切换从动轮；
所述工位切换连接板连接于三轴机械臂的工作末端上；所述工位切换电机本体固定在所述工位切换连接板上表面，所述工位切换电机输出轴穿过所述工位切换连接板并与所述工位切换主动轮连接，所述工位切换主动轮和工位切换从动轮之间啮合形成传动；
所述工位切换件与所述工位切换从动轮连接固定，所述若干个工位安装面沿所述位切换从动轮轴线圆周均匀分布。


3.如权利要求1所述的显微热分布测试设备，其特征在于，所述显微相机模块包括CCD相机和直筒显微镜，所述CCD相机设置在所述工位切换件的其中一个工位安装面上；所述直筒显微镜设置在所述CCD相机镜头上。


4.如权利要求1所述的显微热分布测试设备，其特征在于，所述微距热成像模块包括热成像仪和微距镜头；所述热成像仪设置于所述工位切换件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：方方，林凯旋，邱岳，张凌寒，
申请(专利权)人：广东金鉴实验室科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44