【技术实现步骤摘要】
利用电子束光刻技术进行光栅纳米压印模板制作方法
本专利技术涉及光栅纳米压印模板的
,具体涉及利用电子束光刻技术进行光栅纳米压印模板制作方法。
技术介绍
纳米压印技术自从上世纪被提出,被认为是最具前景的纳米器件制造技术之一,为大规模,高度有序的纳米器件阵列提供了低成本制造的可能。目前,由于这一技术的独特性,也被广泛用于光学器件的研发。在纳米压印的过程中,模板的制作是核心,模板的质量会直接影响压印结构完整性和均一性。现有的技术方案中,通常会采用在硅,石英玻璃等硬材料作为衬底材料,通过掩模板对旋涂在硬衬底上的光刻胶进行光刻曝光,然后通过显影,得到所需结构,或者可采用机械刻划法、电子束直写曝光、激光直写曝光、激光干涉曝光、所以模板加工时间长、成本高,价格昂贵。现有技术的光栅模板制作具有以下的缺点:1、利用对光刻胶曝光制作的压印模板,需要单独设计掩模版,而且制作的结构由有机高分子材料构成,所以强调不够,经过多次压印后,结构会有损坏,影响压印的结构精度;2、利用热固化的过程中,在压印模板上的由有机高分子材料构成的结构由于温度升高,会发生形变,影响压印精度;3、利用紫外线对光刻胶曝光所制作的压印模板,由于光刻的精度限制,通常能做到微米级,做不到纳米级模板。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提出利用电子束光刻技术进行光栅纳米压印模板制作方法,在硅,或玻璃上利用电子束光刻结合感应耦合等离子刻蚀,反应离子束刻蚀的技术,进行纳米级压印模板的制作;其目的是将模板的制作工艺 ...
【技术保护点】
1.利用电子束光刻技术进行光栅纳米压印模板制作方法,其特征在于:包括以下步骤:/nS1:利用Auto CAD或电子束光刻设计软件对纳米结构光栅进行设计;/nS2:利用磁控溅射或者离子束沉积的方式将金属材料沉积到硅或者石英衬底上;/nS3:利用旋涂技术将一定量的电子束胶或者PMMA材料均匀覆盖在金属薄膜上,形成一层均匀的有机高分子薄膜/nS4:将涂覆有电子束胶或者PMMA材料的衬底通过烤箱进行完全烘干,烘干后再进行冷却;/nS5:将光栅设计图传输到仪器中进行识别和参数设定;/nS6:根据电子束胶的厚度和特性对电子束光刻所需要的电压进行调整;/nS7:利用电子束光刻将结构刻在电子胶或者PMMA薄膜上;/nS8:通过显影液进行显影,在通过定影剂进行定影后得到所需结构;/nS9:利用感应耦合的离子刻蚀对金属薄膜进行刻蚀;/nS10:利用去胶机去掉电子束胶或者PMMA,得到纳米压印模板所需结构;/nS11:去掉金属材料,得到具有倾斜角度的光栅。/n
【技术特征摘要】
1.利用电子束光刻技术进行光栅纳米压印模板制作方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1:利用AutoCAD或电子束光刻设计软件对纳米结构光栅进行设计;
S2:利用磁控溅射或者离子束沉积的方式将金属材料沉积到硅或者石英衬底上;
S3:利用旋涂技术将一定量的电子束胶或者PMMA材料均匀覆盖在金属薄膜上,形成一层均匀的有机高分子薄膜
S4:将涂覆有电子束胶或者PMMA材料的衬底通过烤箱进行完全烘干,烘干后再进行冷却;
S5:将光栅设计图传输到仪器中进行识别和参数设定;
S6:根据电子束胶的厚度和特性对电子束光刻所需要的电压进行调整;
S7:利用电子束光刻将结构刻在电子胶或者PMMA薄膜上;
S8:通过显影液进行显影,在通过定影剂进行定影后得到所需结构;
S9:利用感应耦合的离子刻蚀对金属薄膜进行刻蚀;
S10:利用去胶机去掉电子束胶或者...
【专利技术属性】
技术研发人员:马国斌,宋强,赵朔,汪涛,
申请(专利权)人:深圳珑璟光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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