涡旋式真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种采用不产生压缩热的膨胀式、并且具有能够进行有效率的吸引/喷出的构造的涡旋式真空泵。有关本发明专利技术的涡旋式真空泵（1）具备：壳体（5），在其内部划分形成动作空间（3）；一对驱动涡旋部件（13、16），配设在前述动作空间（3）内；以及从动涡旋部件（17，）配设在该一对驱动涡旋部件（13、16）之间；由立设在从动涡旋部件（17）的两侧的从动涡旋件卷板（19、20）、以及与各个从动涡旋件卷板（19、20）啮合的各个驱动涡旋部件（13、16）的驱动涡旋件卷板（12、15），划分形成移动空间（21、22）；该移动空间（21、22）从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板（12a）的规定范围中使其容积减小。

【技术实现步骤摘要】
涡旋式真空泵
本专利技术涉及涡旋式真空泵，所述涡旋式真空泵具备驱动涡旋部件及从动涡旋部件，使由前述驱动涡旋部件及从动涡旋部件划分形成的划分形成空间变化，从吸入口吸引气体。
技术介绍
专利文献1（日本特表2002－527670号公报）公开了一种涡旋式真空泵。该涡旋式真空泵具备膨胀器（膨胀机）及压缩器（压缩机），所述膨胀器及压缩器串联地作为2级配置在相同的壳体内，由相同的轴进行驱动，由此，该涡旋式真空泵容许通常伴随着再膨胀/压缩过程的过热。在该专利文献1中公开了，在涡旋式真空泵中，第1级是涡旋式的膨胀器，第2级是涡旋式的压缩器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2002－527670号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题如在专利文献1中公开那样，在作为真空泵使用膨胀器的情况下，放出袋内的空气压力与周围空气压力相比相当低，所以周围空气朝向放出袋再膨胀。因这样的周围空气的再膨胀，能量被消耗而产生过热。此外，在作为真空泵使用压缩器，在启动时或因向大气的泄漏而压缩器的入口空气为大气压的情况下，通常不进行润滑，或不能进行内部冷却，所以伴随着再膨胀/压缩过程的热给压缩器带来损伤，进而因再膨胀/压缩热，在涡旋元件产生过度的热增大，结果，有产生涡旋元件的前端、基体间的磨损这一不良状况。此外，在专利文献1所公开的涡旋式真空泵中，由于是膨胀器和压缩器的2级构造，所以产生装置自身大型化这一不良状况。因此，本专利技术提供一种采用不产生压缩热的膨胀式并且具有能够进行有效率的吸引/喷出的构造的涡旋式真空泵。用来解决课题的手段本专利技术是一种涡旋式真空泵，由在其内部划分形成与喷出口连通的动作空间的壳体、被该壳体旋转自如地保持的一对旋转轴、配设在前述动作空间内并固定在各自的旋转轴的一对驱动涡旋部件、配设在该一对驱动涡旋部件之间的从动涡旋部件、以及将从动涡旋部件旋转自如地保持在前述壳体的一对从动涡旋件承接部构成，由立设在从动涡旋部件的两侧的从动涡旋件卷板、以及与各个从动涡旋件卷板啮合的各个驱动涡旋部件的驱动涡旋件卷板，划分形成移动空间，在该涡旋式真空泵中，前述移动空间在前述旋转轴的中心侧与在一方的旋转轴形成的吸引口连通，在最外周端与前述动作空间连通，并且从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板的规定范围中使其容积减小。由此，在上述的涡旋式真空泵中，如果通过电动马达等的外部动力而旋转轴旋转，则在驱动涡旋部件及从动涡旋部件以高速旋转的同时，从动涡旋部件相对于驱动涡旋部件相对地进行回转运动，所以被从形成在旋转轴的吸引口吸引的流体被向从中心侧朝向外周方向容积扩大而被减压的移动空间吸引，向外周方向移动，在最外周卷板处使其容积减小而被压缩，能够经由动作空间从喷出口喷出。此外，优选的是，将前述驱动涡旋件卷板各自的最外周卷板的进行压缩的范围的宽度形成得宽。这样，有关本专利技术的驱动涡旋件卷板及从动涡旋件卷板通过在驱动涡旋件卷板及从动涡旋件卷板的最外周卷板（具体而言，距最外周端部为270°的范围或3π/2［rad］的范围）中使涡旋件卷板的宽度增大，能够承受作用在最外周卷板的离心力，并且能够承受流体的压缩时的压力。优选的是，在位于前述移动空间的最外周端的从动涡旋部件，形成排出孔，在该排出孔设置止回阀。由此，能够防止流体的喷出时的倒流，所以能够将被吸引的流体可靠地喷出。另外，作为喷出阀，优选的是以将排出孔覆盖的方式形成的簧片阀。进而，前述簧片阀为了减小离心力的影响，优选的是设置在从动涡旋部件的中心线上。优选的是各个驱动涡旋部件作为压力抵消机构，在其外周部分被连结。具体而言，优选的是将一方的驱动涡旋部件的驱动涡旋件卷板的外周部分嵌入到在另一方的驱动涡旋部件的对应的部分处形成的槽部中。由此，能够用驱动涡旋件卷板的强度将真空压支承，所以能够实现驱动涡旋部件的强度提高。此外，根据该构造，由于真空压不作用于轴承，所以能够延长轴承的寿命。此外优选的是，在形成有吸入口的旋转轴的端部，根据达成真空度而设置轴密封件或磁性流体密封件。在上述的构造中，由于只要仅将形成有吸引口的旋转轴的端部进行例如磁性流体密封就可以，所以构造变得简单，所以能够达成成本降低。专利技术效果根据本专利技术，由于从吸入口一边使气体膨胀一边进行吸引，所以不产生压缩热，所以有不需要冷却机构这一效果。此外，由于只要仅对具有吸引口的旋转轴周缘进行密封就可以，所以构造较简单，能够降低成本。进而，由于密封部是1处，所以也有能得到高真空这一效果。进而，由于即使流体是水蒸气等冷凝性气体也能够通过离心力进行分离，所以还有不需要气体镇流器（gasballast）等机构这一效果。进而，由于是压力抵消机构，所以还有真空压不作用于轴承这一效果。进而此外，由于真空部分仅为中央侧的移动空间，所以还有能较快地得到到达真空度这一效果。附图说明图1是表示有关本专利技术的实施例的涡旋式真空泵的结构的截面说明图。图2是表示有关本专利技术的实施例的膨胀、压缩的状态的说明图。图3是表示有关本专利技术的实施例的止回阀构造的说明图。图4是表示有关本专利技术的实施例的压力抵消机构的说明图。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施例进行说明。［实施例］有关本专利技术的实施例的涡旋式真空泵1如图1所示，具备壳体5，所述壳体5设置有喷出口2，且在其内部划分形成与该喷出口2连通的动作空间3。在前述动作空间3内配设有真空泵机构4。此外，前述壳体5由设置有喷出口2的圆筒侧面部5a、将形成有吸入口6的第1旋转轴7经由轴承9旋转自如地保持的壳体盖部5b、以及将与例如电动马达60等的外部动力连结的第2旋转轴8经由轴承10旋转自如地支承的壳体底部5c构成。另外，在第1旋转轴7的端部，根据达成真空度而设置有轴密封件或磁性流体密封件40。此外，第2旋转轴8和前述电动马达60经由联接器50连结。在前述第1旋转轴7，一体地成形有第1端板11，在该第1端板11的第1旋转轴7的相反侧面，设置有从中心方向朝向径向外方以螺旋状扩展的第1驱动涡旋件卷板12。由前述第1旋转轴7、第1端板11及第1驱动涡旋件卷板12构成第1驱动涡旋部件13。此外，在前述第2旋转轴8，一体地成形有第2端板14，在该第2端板14的第2旋转轴8的相反侧面，设置有从中心方向朝向径向外方以螺旋状扩展的第2驱动涡旋件卷板15。由前述第2旋转轴8、第2端板14及第2驱动涡旋件卷板15构成第2驱动涡旋部件16。在前述第1驱动涡旋部件13与前述第2驱动涡旋部件16之间，配设有从动涡旋部件17。该从动涡旋部件17形成有端板18和第1及第2从动涡旋件卷板19、20，所述第1及第2从动涡旋件卷板19、20在该端板18的两侧从中心方向朝向径向外方以螺旋状扩展。此外，前述从动涡旋部件17在其外周部分连结着第1及第2从动涡旋件承接部24、25，前述第1从动涡旋件承接部24经由轴承26被前述壳体盖部5b旋转自如地支承，前述第2从动涡旋件承接部25经由轴承27被前述壳体底部5c旋转自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涡旋式真空泵，由在其内部划分形成与喷出口连通的动作空间的壳体、被该壳体旋转自如地保持的一对旋转轴、配设在前述动作空间内并固定在各自的旋转轴的一对驱动涡旋部件、配设在该一对驱动涡旋部件之间的从动涡旋部件、以及将从动涡旋部件旋转自如地保持在前述壳体的一对从动涡旋件承接部构成，由立设在从动涡旋部件的两侧的从动涡旋件卷板、以及与各个从动涡旋件卷板啮合的各个驱动涡旋部件的驱动涡旋件卷板，划分形成移动空间，其特征在于，/n前述移动空间在前述旋转轴的中心侧与在一方的旋转轴形成的吸引口连通，在最外周端与前述动作空间连通，并且从中心侧朝向外周方向使其容积扩大，在最外周卷板的规定范围中使其容积减小。/n

【技术特征摘要】
20181108 JP 2018-2104431.一种涡旋式真空泵，由在其内部划分形成与喷出口连通的动作空间的壳体、被该壳体旋转自如地保持的一对旋转轴、配设在前述动作空间内并固定在各自的旋转轴的一对驱动涡旋部件、配设在该一对驱动涡旋部件之间的从动涡旋部件、以及将从动涡旋部件旋转自如地保持在前述壳体的一对从动涡旋件承接部构成，由立设在从动涡旋部件的两侧的从动涡旋件卷板、以及与各个从动涡旋件卷板啮合的各个驱动涡旋部件的驱动涡旋件卷板，划分形成移动空间，其特征在于，
前述移动空间在前述旋转轴的中心侧与在一方的旋转轴形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：川添新二，
申请(专利权)人：涡旋技研有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP