一种激光测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉一种激光测量装置，包括待测激光光源；用于衰减待测激光光源出射的激光能量的衰减装置；积分球，积分球设置在衰减装置后，激光经过衰减装置后，通过积分球的入射孔进入积分球内；光测量装置，光测量装置设置在积分球上。其中，衰减装置包括衰减器和冷却装置，光测量装置包括光探测器和光谱分析仪。本实用新型专利技术公开一种激光测量装置，通过衰减装置配备积分球来衰减被测激光的功率密度，使其衰减至常规光电/光伏传感器可以承受的水平，继而采用光测量装置进行直接测量，适用于连续和脉冲激光的功率、波形等参数测量。

A laser measuring device

【技术实现步骤摘要】
一种激光测量装置
本技术涉及光学测量
，具体涉及一种激光测量装置。
技术介绍
在激光测量领域，针对大功率的激光测量，传统且较为成熟的主要是基于量热型原理，现有产品如热电堆式探测器等，此类探测器主要采用吸收体将入射光尽可能高效率地转化为热，由于吸收体材料的温升与入射光能量成正比，即可通过测量吸收体的温升实现激光功率/能量等参数的测量。然而，此类激光探测器普遍响应速度慢，恢复时间长，不适用于脉冲激光的测量，且无法检测脉冲波形等参数，测量精度也不高。近些年，有研究人员提出了分光测量的方案（CN201610305698.7）：首先使用分光元件将大功率的激光光束进行分光，然后将分光后的各路光束分别入射到各个测量仪器中，实现对多个参数的同步测量。然而此类方案存在较大的问题，如光学元件吸收部分激光功率后，温度上升继而影响光学元件的光学行为，即光路上的各种元件对测量结果的准确性存在较大的影响；同时，不同功率的被测激光对光学元件的温度影响存在一定差异，即不同被测激光所造成光路上的各种元件对测量结果准确性影响也不一致，因此无法较好地对测量结果实现准确的修正。此外，实际测量操作，分光元件对准精度要求较高，激光入射角度不同、激光光斑大小不同都会影响分光效果，对定标和测量均有挑战。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述问题，提供一种激光测量装置，可较好实现连续激光和脉冲激光的准确测量。本技术公开了一种激光测量装置，待测激光光源；衰减装置，所述的衰减装置用于衰减待测激光光源出射的激光；积分球，所述积分球设置在所述的衰减装置后，所述的激光经过所述衰减装置后，入射所述积分球的入射孔；光测量装置，所述光测量装置设置在积分球上。本技术采用积分球配合衰减装置，先通过衰减装置将入射激光的功率进行衰减，积分球将衰减装置衰减后的光束均匀地发散至其内表面，最终将激光功率衰减至常规光电/光伏传感器可以承受的水平，继而采用光辐射测量装置进行直接测量，较好解决了响应速度慢、恢复时间长等问题，同时保证了测量结果的准确度，适用于连续和脉冲激光的功率、波形等参数测量。作为一种技术方案，所述的衰减装置包括衰减器和与所述的衰减器热接触的冷却装置。具体的，衰减器可对被测激光的功率密度进行合理的衰减，以满足光学测量元件的量程范围。理想的衰减器与入射激光的波长、入射角度和偏振态等参数不相关，仅仅对入射激光的幅值进行相应的衰减，并且在一定范围内的衰减是线性的。冷却装置用于冷却衰减器，保证衰减器长时间的正常运行。作为一种技术方案，所述的衰减器具有网孔结构，衰减比可通过设置孔面积的占空比实现。进一步的，所述的衰减器为金属或者玻璃材质。具体的，具有网孔结构的金属或者玻璃材质，如金属网筛或网格玻璃，其透射比与入射激光的波长无关，仅衰减入射激光幅值，可作为理想的衰减器。优选导热好的金属或金属氧化物材质。作为一种技术方案，所述的冷却装置为风冷却装置或冷却剂冷却装置。具体的，冷却装置可为风冷却装置和冷却剂冷却装置，分别以空气和冷却液作为冷却介质，来保证衰减器的正常运行。进一步的，所述冷却剂包括水或防冻液。具体的，冷却剂冷却装置中的冷却剂具体可为水，油或者含金属氧化物的纳米流体，或则其它液体如防冻液等。作为一种技术方案，所述光测量装置为两个及两个以上，包括光探测器和光谱分析仪。具体的，光探测器和光谱分析仪用于实现激光光谱、波长、带宽等参数的测量。作为一种技术方案，所述积分球内，位于所述积分球内设置有散光器。具体的，散光器进一步可降低入射激光的功率密度，提高积分球的损伤阈值。作为一种技术方案，所述衰减装置入射端设置有光吸收筒。具体的，光吸收筒可对激光的回射光进行妥善处理，防止辐射事故，且保护环境物品。附图说明附图1为实施例1的一种激光测量装置；附图2为本技术的衰减装置；附图3为实施例2的一种激光测量装置；1-待测激光光源；2-衰减装置；2-1衰减器；2-2冷却装置；3-入射孔；4-散光器；5-积分球；6-光测量装置；6-1-光探测器；6-2-光谱分析仪；7-激光；8-光吸收筒。具体实施方式：下面结合具体实施例对本技术作进一步说明，但本技术不仅限于以下实施例。实施例1如图1、图2所示，本实施例公开了一种激光测量装置，包括待测激光光源1；用于衰减待测激光光源1出射的激光7能量的衰减装置2；积分球5，积分球5设置在衰减装置2后，激光7经过衰减装置2后，通过积分球5的入射孔3进入积分球5内；光测量装置6，光测量装置6设置在积分球5上。积分球5上设置有光测量装置6，包括光探测器6-1和光谱分析仪6-2。其中，如图2所示，衰减装置2包括阵列衰减器2-1和冷却装置2-2。作为优先的实施方式，本技术的一种激光测量装置，先采用衰减装置2来衰减待测激光光源1出射的激光7能量，配备的积分球5将衰减装置2衰减后的激光7光束均匀地发散至其内表面，最终使待测激光光源1出射的激光7衰减至光测量装置6可以承受的水平，继而通过积分球5上设置的光测量装置6进行测量。实施例2如图2、图3所示，本实施例公开了一种激光测量装置。与实施例1相比，增加了光吸收筒8和散光器4。光吸收筒8设置在衰减装置2的入射端；散光器4设置在积分球5内，激光7通过衰减装置2后沿着入射孔3直接入射至积分球5内的散光器4上。以上结合附图对本技术的具体实施方式作了说明，但本领域技术人员应当理解，以上实施例仅是为了进行说明，而不是为了限制本技术的范围。本领域技术人员应当理解，可在不脱离本技术的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本技术的保护范围由所附的权利要求来限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光测量装置，其特征在于，包括：/n待测激光光源（1）；用于衰减待测激光光源（1）出射的激光（7）能量的衰减装置（2）；/n积分球（5），所述积分球（5）设置在所述的衰减装置（2）后，所述的激光（7）经过所述衰减装置（2）后，通过积分球（5）的入射孔（3）进入所述积分球（5）内；/n光测量装置（6），所述光测量装置（6）设置在积分球（5）上。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光测量装置，其特征在于，包括：
待测激光光源（1）；用于衰减待测激光光源（1）出射的激光（7）能量的衰减装置（2）；
积分球（5），所述积分球（5）设置在所述的衰减装置（2）后，所述的激光（7）经过所述衰减装置（2）后，通过积分球（5）的入射孔（3）进入所述积分球（5）内；
光测量装置（6），所述光测量装置（6）设置在积分球（5）上。


2.如权利要求1所述的一种激光测量装置，其特征在于，所述的衰减装置（2）包括衰减器（2-1）和与所述的衰减器（2-1）热接触的冷却装置（2-2）。


3.如权利要求2所述的一种激光测量装置，其特征在于，所述的衰减器（2-1）具有网孔结构。


4.如权利要求2或3所述的一种激光测量装置，其特征在于，所述的衰减器（2-1）为金属或者玻璃材质。

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【专利技术属性】
技术研发人员：潘建根，许耀东，徐秉政，
申请(专利权)人：杭州远方光电信息股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33