高精度线性马达一次对位平台制造技术

一种高精度线性马达一次对位平台，其包含有：一平台、一平台基座、多个线性马达驱动组件、多个电磁铁、多个限位开关及多个回授量测系统；该平台基座上设有各呈X轴方向及Y轴方向的各线性马达驱动组件、各电磁铁、各限位开关及各回授量测系统，各线性马达驱动组件上设有该平台；该线性马达驱动组件设有：一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座、一荷重盘；其中该长滑轨、各长滑轨滑块及该短滑轨、该短滑轨滑块利用主动承座呈垂直角度相叠设置。

High precision linear motor primary alignment platform

【技术实现步骤摘要】
高精度线性马达一次对位平台
本专利技术提供一种高精度线性马达一次对位平台，尤指一种精密对位平台，具有方便组装、成本低且具高精度，完成工作物一次对位功能，可节省对位作业工时。
技术介绍
随着现今产业的导向，近年来随着工具机、各种产业机械与量测仪器的高精度化，因此，不论是在精密机械、半导体产业、微奈米科技皆朝微小化与精密化发展，再加上超精密的加工机、半导体制程装置、电子信息机器与原子力显微镜等皆需要高精密的对位技术与仪器进行辅助，使得半导体技术进入到奈米级的领域，进而成为目前的主流之一。依上述可得知，目前，在短行程的对位平台大多以伺服马达搭配配滚珠螺杆驱动，且大多为利用刚性结构来架构平台，使其平台对位产生较小的误差，再配合回授量测结构，来进行平台对位作业，但其位移行程对位还无法达到微米(μm)等级以内，且平台X轴及Y轴需多次对位，才能完成工作物精准对位，拉长了对位作业时间，即提高了生产成本，所以如何同时达到短行程作动与奈米级的精密对位，以完成工作物一次对位，节省对位作业工时，实为一大瓶颈问题，而亟待加以改进。本专利技术人有鉴于此，并且依据多年从事此领域的相关经验，细心观察及研究，并配合学理运用，乃针对前述现有对位平台结构上所面临的问题深入探讨，且积极寻求解决之道，经过长期研究与开发，已成功开发出一种高精度线性马达一次对位平台，进而提出一种合理且有效的本专利技术，以克服现有对位平台结构的缺点并期使更为实用，以符合使用者的需求。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于：提供一种高精度线性马达一次对位平台，借以能高精度一次完成工作物精准对位，可节省工作物对位作业工时、降低生产成本，在相同的对位要求下，本专利技术亦可减少能源的消耗，而具有节能减碳的功效。又，本专利技术的另一目的在提供高精度线性马达一次对位平台，因其X轴及Y轴的线性马达驱动组件结构相同，不仅能降低制造成本，且可快速简易装配。为达上述目的，本专利技术一种高精度线性马达一次对位平台，包含：一平台，该平台上设有多个枢设孔；一平台基座，该平台基座上设有多个线性马达驱动组件、多个电磁铁及多个限位开关，各线性马达驱动组件上设有该平台，其特征在于：各线性马达驱动组件设有：一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座及一荷重盘；其中该长滑轨、各长滑轨滑块、该短滑轨及该短滑轨滑块利用该主动承座，呈垂直角度相叠设置，各限位开关各设于各主动承座外侧，并于该平台基座上设有多个回授量测系统，各回授量测系统各设有一光学读头及一光学尺，各线性马达动子一侧处各设有该光学读头，该平台基座上设有各光学尺以对应各光学读头，令该平台以各线性马达驱动组件驱动，使该平台呈沿X轴方向及Y轴方向移动状态，并以各光学读头及各光学尺感测移动距离，提升该平台移动对位的精确度。本专利技术的主要目的功效在于：提供一种高精度线性马达一次对位平台，指一种应用于各种液晶面板制造、半导体制造、检查设备、网印设备或印刷电路板制造设备中，对位平台进行对位移动的作业；本专利技术利用各线性马达驱动组件驱动，配合各回授量测系统及各长滑轨及各短滑轨的设置，可减低该平台移动摩擦阻力、提升对位精度、承载重负荷，并借由线性马达驱动特性来消除X轴方向、Y轴方向的移动间隙产生现象，借此，各线性马达驱动组件，受线性马达动子驱动可带动各主动承座在长滑轨上滑移，并让各主动承座上的各光学读头移动，再经由各光学尺测量移动行程，使各主动承座成为可移动的支点，并由各限位开关来限定其左右移动最大行程，各线性马达驱动组件上的各主动承座一起进行对位作业时，X轴方向的各主动承座可带动Y轴方向的各荷重盘在各短滑轨上滑移，Y轴方向的各主动承座可带动X轴方向的各荷重盘在各短滑轨上滑移，各荷重盘平均分布锁设于该平台下方形成支撑点，使该平台的各个支撑点负载力平均，并于对位完成后由该平台基座上各电磁铁吸附该平台，避免该平台停止动作时产生抖动情形，令该平台对位工作物进行检测；借此，提供一种高精度线性马达一次对位平台，尤指一种精密对位平台，具有方便组装、成本低且具高精度，完成工作物一次对位功能，可节省对位作业工时。附图说明图1是本专利技术较佳实施例的组合立体示意图。图2是本专利技术较佳实施例的平台立体分解示意图。图3是本专利技术较佳实施例的立体分解示意图。图4是本专利技术较佳实施例的俯视平台一次对位示意图。图5是本专利技术另一较佳实施例的立体分解示意图。图6是本专利技术又一较佳实施例的立体分解示意图。具体实施方式本专利技术是一种高精度线性马达一次对位平台，随附图例示的本专利技术的具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本专利技术，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。图式与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本专利技术的申请专利范园内，根据本专利技术的具体实施例的设计与需求而进行变化；请参阅图l至图3所示，一种高精度线性马达一次对位平台，其结构包含有：一平台1、一平台基座2、多个线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6；该平台基座2上设有各线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6，各线性马达驱动组件3上设有该平台1；该平台1上设有多个枢设孔11；各线性马达驱动组件3包含有：一长滑轨31、二长滑轨滑块32、一主动承座33、一线性马达动子34、一线性马达定子35、一短滑轨36、一短滑轨滑块37、一荷重盘基座38及一荷重盘39；各长滑轨31上设有各长滑轨滑块32，各长滑轨31侧边平行设置有该线性马达定子35，各长滑轨滑块32上各锁设各主动承座33；各主动承座33底侧锁设有各线性马达动子34，各主动承座33顶侧设有该短滑轨36及该短滑轨滑块37，该短滑轨滑块37上锁设该荷重盘39及该荷重盘基座38，该荷重盘39其上端处设有一转盘391，该平台1上的各枢设孔11穿设各枢设件7锁设于各荷重盘39的转盘391上，令各荷重盘39的转盘391与该平台1锁固，该荷重盘39锁设固定于该荷重盘基座38上端处；而该荷重盘基座38是以多个枢设件7与该短滑轨滑块37锁固；其中该长滑轨31、该长滑轨滑块32及该短滑轨36、该短滑轨滑块37利用该主动承座33，呈垂直角度相叠设置；各长滑轨31上各设有多个枢设孔锁设于该平台基座2的四个周边，各长滑轨滑块32顶侧各设有多个枢设孔321，并于各长滑轨滑块32底侧各设有一长滑槽322，各长滑槽322与各长滑轨31卡设结合；该主动承座33上设有多个枢设孔331锁设于各长滑轨滑块32，该主动承座33其中段处设有一凹槽332，该凹槽332顶侧处设有至少一枢设孔3321锁设该短滑轨36，该主动承座33其一侧处设有一片体333，该片体333与该光学读头61枢设固定；各短滑轨滑块37其顶侧设有多个枢设孔371，各短滑轨滑块37其底侧各设有一短滑槽372，该短滑槽372与该短滑轨36卡设结合；该荷重盘基座38其顶侧设有多个枢设孔381及多个枢设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度线性马达一次对位平台，包含：一平台，该平台上设有多个枢设孔；一平台基座，该平台基座上设有多个线性马达驱动组件、多个电磁铁及多个限位开关，各线性马达驱动组件上设有该平台，其特征在于：各线性马达驱动组件设有：一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座及一荷重盘；其中该长滑轨、各长滑轨滑块、该短滑轨及该短滑轨滑块利用该主动承座，呈垂直角度相叠设置，各限位开关各设于各主动承座外侧，并于该平台基座上设有多个回授量测系统，各回授量测系统各设有一光学读头及一光学尺，各线性马达动子一侧处各设有该光学读头，该平台基座上设有各光学尺以对应各光学读头，令该平台以各线性马达驱动组件驱动，使该平台呈沿X轴方向及Y轴方向移动状态，并以各光学读头及各光学尺感测移动距离，提升该平台移动对位的精确度。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度线性马达一次对位平台，包含：一平台，该平台上设有多个枢设孔；一平台基座，该平台基座上设有多个线性马达驱动组件、多个电磁铁及多个限位开关，各线性马达驱动组件上设有该平台，其特征在于：各线性马达驱动组件设有：一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座及一荷重盘；其中该长滑轨、各长滑轨滑块、该短滑轨及该短滑轨滑块利用该主动承座，呈垂直角度相叠设置，各限位开关各设于各主动承座外侧，并于该平台基座上设有多个回授量测系统，各回授量测系统各设有一光学读头及一光学尺，各线性马达动子一侧处各设有该光学读头，该平台基座上设有各光学尺以对应各光学读头，令该平台以各线性马达驱动组件驱动，使该平台呈沿X轴方向及Y轴方向移动状态，并以各光学读头及各光学尺感测移动距离，提升该平台移动对位的精确度。


2.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台，其特征在于：其中各长滑轨上设有各长滑轨滑块，各长滑轨一侧处平行设置该线性马达定子，并于各长滑轨滑块上各锁设有各主动承座。


3.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台，其特征在于：其中各主动承座底侧锁设有各线性马达动子，各主动承座顶侧设有该短滑轨及该短滑轨滑块，该短滑轨滑块上锁设有该荷重盘及该荷重盘基座。


4.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台，其特征在于：其中该平台上设有各枢设孔，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱毓英，宋柏苇，
申请(专利权)人：全研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71