一种理疗仪生产用晶圆清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种理疗仪生产用晶圆清理装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部通过电机、减速器、凸轮机构和曲柄滑块机构，使花篮实现上下、左右的往复运动，花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。本实用新型专利技术适合增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，清洗速度快，清洗效率高，可小批量清洗尺寸相同或不同的晶圆，节约清洗时间，初步将晶圆按不同尺寸进行分类，方便后续加工，提高了实用性。

A wafer cleaning device for physiotherapy production

【技术实现步骤摘要】
一种理疗仪生产用晶圆清理装置
本技术涉及晶圆清洗
，尤其是一种理疗仪生产用晶圆清理装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆生产加工需要使用到清洗装置，但现有的清洗装置清洗不干净，从而造成晶圆清洗效果差的现象，不方便使用者对晶圆的后续加工，降低了晶圆的实用性，在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗，且晶圆在清洗时的特点一般为少批量、多尺寸，而传统的清洗花篮多为单一尺寸，为了提高清洗效果需要重新制作不同尺寸的专用的清洗花篮，大大的增加了工装成本。
技术实现思路
为了克服现有技术中所存在的上述缺陷，本技术提供了一种理疗仪生产用晶圆清理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种理疗仪生产用晶圆清理装置，包括传动箱和花篮，所述传动箱位于花篮上方，所述传动箱内部顶部设置第一电机，所述第一电机输出端与第一减速箱固定连接，所述第一减速箱连接凸轮，所述凸轮通过转轴与传动箱转动连接，所述凸轮转轴下方设滑轮，所述滑轮与凸轮抵触，所述滑轮与竖直设置的推杆转动连接，所述推杆穿过水平固定杆，所述推杆侧壁上设圆周凸起，所述圆周凸起与水平固定杆之间的推杆上套设弹簧，所述弹簧底端与水平固定杆上表面固定连接，所述弹簧顶端与圆周凸起底面固定连接，所述推杆穿过水平固定杆的末端连接一段水平的滑槽，所述滑槽内设圆形的滑块，所述滑块与连杆右端转动连接，所述连杆左端与曲柄末端转动连接，所述曲柄输入端连接第二减速箱，所述第二减速箱与第二电机输出端连接，所述滑块下方连接花篮，所述花篮两相对侧壁开设对应的插槽，所述插槽上设置由上到下设第一滤板、第二滤板和第三滤板，所述滤板孔径依次减小，所述花篮底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮悬挂在清洗腔内部，所述清洗腔内设超声波发生装置。上述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置，所述插槽设置3～5对。上述的一种理疗仪生产用晶圆清理装置，所述清洗仓底部设进水口和出水口。本技术的有益效果是，本技术通过传动箱对花篮的上下左右的晃动作用，增强了清洗液与晶圆的作用效果，在超声波的作用下，达到了快速清洗的目的，提高了清洗的效率，解决了现有的清洗装置清洗不干净的、效果差的问题，通过花篮侧壁上凹槽插入滤板，可小批量清洗尺寸相同或不同的晶圆，节约清洗时间，可初步将晶圆按不同尺寸进行分类，方便使用者对晶圆的后续加工，提高了晶圆的实用性。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术传动箱的结构示意图；图3为本技术花篮的结构示意图。图中1.传动箱，2.花篮，3.第一电机，4.第一减速箱，5.凸轮，6.滑轮，7.推杆，8.水平固定杆，9.圆周凸起，10.弹簧，11.滑槽，12.滑块，13.连杆，14.曲柄，15.第二减速箱，16.第二电机，17.插槽，18.第一滤板，19.第二滤板，20.第三滤板，21.清洗腔，22.超声波发生装置，23.进水口，24.出水口。具体实施方式为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面结合附图对本技术做进一步的说明，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本技术的一个实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，根据此附图和实施例获得其他的实施例，都属于本技术的保护范围。一种理疗仪生产用晶圆清理装置，包括传动箱1和花篮2，所述传动箱1位于花篮2上方，所述传动箱1内部顶部设置第一电机3，所述第一电机3输出端与第一减速箱4固定连接，所述第一减速箱4连接凸轮5，所述凸轮5通过转轴与传动箱1转动连接，所述凸轮5转轴下方设滑轮6，所述滑轮6与凸轮5抵触，所述滑轮6与竖直设置的推杆7转动连接，所述推杆7穿过水平固定杆8，所述推杆7侧壁上设圆周凸起9，所述圆周凸起9与水平固定杆8之间的推杆7上套设弹簧10，所述弹簧10底端与水平固定杆8上表面固定连接，所述弹簧10顶端与圆周凸起9底面固定连接，所述推杆7穿过水平固定杆8的末端连接一段水平的滑槽11，所述滑槽11内设圆形的滑块12，所述滑块12与连杆13右端转动连接，所述连杆13左端与曲柄14末端转动连接，所述曲柄14输入端连接第二减速箱15，所述第二减速箱15与第二电机16输出端连接，所述滑块12下方连接花篮2，所述花篮2两相对侧壁开设对应的插槽17，所述插槽17上设置由上到下设第一滤板18、第二滤板19和第三滤板20，所述滤板孔径依次减小，所述花篮2底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮2悬挂在清洗腔21内部，所述清洗腔21内设超声波发生装置22。详细的，所述插槽17设置3对，所述清洗腔21底部设进水口23和出水口24。以上实施例仅为本技术的示例性实施例，不用于限制本技术，本技术的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本技术的实质和保护范围内，对本技术做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种理疗仪生产用晶圆清理装置，包括传动箱(1)和花篮(2)，其特征在于：所述传动箱(1)位于花篮(2)上方，所述传动箱(1)内部顶部设置第一电机(3)，所述第一电机(3)输出端与第一减速箱(4)固定连接，所述第一减速箱(4)连接凸轮(5)，所述凸轮(5)通过转轴与传动箱(1)转动连接，所述凸轮(5)转轴下方设滑轮(6)，所述滑轮(6)与凸轮(5)抵触，所述滑轮(6)与竖直设置的推杆(7)转动连接，所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)，所述推杆(7)侧壁上设圆周凸起(9)，所述圆周凸起(9)与水平固定杆(8)之间的推杆(7)上套设弹簧(10)，所述弹簧(10)底端与水平固定杆(8)上表面固定连接，所述弹簧(10)顶端与圆周凸起(9)底面固定连接，所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)的末端连接一段水平的滑槽(11)，所述滑槽(11)内设圆形的滑块(12)，所述滑块(12)与连杆(13)右端转动连接，所述连杆(13)左端与曲柄(14)末端转动连接，所述曲柄(14)输入端连接第二减速箱(15)，所述第二减速箱(15)与第二电机(16)输出端连接，所述滑块(12)下方连接花篮(2)，所述花篮(2)两相对侧壁开设对应的插槽(17)，所述插槽(17)上设置由上到下设第一滤板(18)、第二滤板(19)和第三滤板(20)，所述滤板孔径依次减小，所述花篮(2)底面、背面和正面为滤网且孔径最小，所述花篮(2)悬挂在清洗腔(21)内部，所述清洗腔(21)内设超声波发生装置(22)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种理疗仪生产用晶圆清理装置，包括传动箱(1)和花篮(2)，其特征在于：所述传动箱(1)位于花篮(2)上方，所述传动箱(1)内部顶部设置第一电机(3)，所述第一电机(3)输出端与第一减速箱(4)固定连接，所述第一减速箱(4)连接凸轮(5)，所述凸轮(5)通过转轴与传动箱(1)转动连接，所述凸轮(5)转轴下方设滑轮(6)，所述滑轮(6)与凸轮(5)抵触，所述滑轮(6)与竖直设置的推杆(7)转动连接，所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)，所述推杆(7)侧壁上设圆周凸起(9)，所述圆周凸起(9)与水平固定杆(8)之间的推杆(7)上套设弹簧(10)，所述弹簧(10)底端与水平固定杆(8)上表面固定连接，所述弹簧(10)顶端与圆周凸起(9)底面固定连接，所述推杆(7)穿过水平固定杆(8)的末端连接一段水平的滑槽(11)，所述滑槽(11)内设圆形的滑块(12)，所述滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋吉宝，陈标，王峰，石磊，
申请(专利权)人：青岛和祥电器有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37