【技术实现步骤摘要】
一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法
本专利技术涉及光学元件检测领域,特别涉及一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法。
技术介绍
高反射光学元件在高功率激光、引力波探测、高精细度激光腔、痕量气体传感、光学原子钟等领域有广泛应用,在这些应用中高反射光学元件中的缺陷对系统性能会产生重要影响,同时缺陷也是衡量高反射光学元件质量的一个重要指标。对于高反射光学元件而言,缺陷,特别是尺度小至微米的微小缺陷由于镀膜工艺的限制而不可避免,因此准确、高分辨测量这些缺陷对降低高反射光学元件中的微小尺度缺陷密度、提高光学元件整体性能尤为重要。光腔衰荡技术作为一种高灵敏的微弱损耗测试技术,可用于测量高反射光学元件反射率的微小变化,从而检测高反射光学元件的缺陷。与其他的缺陷检测方法相比,光腔衰荡技术直接测量反射率的微小变化,因此特别适用于高反射光学元件反射率缺陷的检测,直接面向高反射光学元件应用中可能存在的问题。然而,传统光腔衰荡技术测量高反射光学元件反射率均匀性(成像)时对照射到被测光学元件表面的激光束光斑尺寸没有控制,光斑尺寸一般在零点几毫米到几毫米,这样对高反射光学元件微米尺度的缺陷难以分辨。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:如何在保留传统光腔衰荡技术高灵敏度优点的同时,提高反射率单点探测的空间分辨率,使高反射光学元件微小缺陷的高分辨检测成为可行。为实现上述目的,本专利技术提出一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法,其特征在于:由平面耦合腔镜、凹面高反射腔镜 ...
【技术保护点】
1.一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法,其特征在于:由平面耦合腔镜、凹面高反射腔镜和被测平面高反射光学元件组成折叠衰荡光腔,激光器输出的激光束经模式匹配透镜组整形后从耦合光腔进入衰荡光腔,通过探测从凹面高反射腔镜输出的光腔衰荡信号实现对平面高反射光学元件的反射率进行测量;将一高增透透镜插入衰荡光腔中聚焦激光束于被测平面高反射光学元件表面,降低激光束在被测高反射光学元件表面的光斑尺寸,并将被测平面高反射光学元件放置于二维位移台上进行位置二维扫描,实现被测高反射光学元件反射率的高分辨二维扫描成像。/n
【技术特征摘要】
1.一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法,其特征在于:由平面耦合腔镜、凹面高反射腔镜和被测平面高反射光学元件组成折叠衰荡光腔,激光器输出的激光束经模式匹配透镜组整形后从耦合光腔进入衰荡光腔,通过探测从凹面高反射腔镜输出的光腔衰荡信号实现对平面高反射光学元件的反射率进行测量;将一高增透透镜插入衰荡光腔中聚焦激光束于被测平面高反射光学元件表面,降低激光束在被测高反射光学元件表面的光斑尺寸,并将被测平面高反射光学元件放置于二维位移台上进行位置二维扫描,实现被测高反射光学元件反射率的高分辨二维扫描成像。
2.根据权利要求1所述的一种高反射光学元件反射率分布高分辨成像测量的方法,其特征在于:插入光腔中的高增透...
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