微元件及其接收基板和转移方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示面板技术领域，公开了一种微元件及其接收基板和转移方法、显示装置。该接收基板包括：板体；电极阵列，包括若干电极组件，若干电极组件阵列设置于板体一侧，各电极组件包括有螺旋状电极；驱动电路，包括输入端和输出端，输入端用于输入驱动信号，输出端连接螺旋状电极一端，螺旋状电极另一端连接一开关；其中，在开关导通、驱动电路的输入端输入驱动信号时，螺旋状电极产生磁场，以吸附带有磁体的微元件。通过上述方式，本发明专利技术能够提高微元件的转移效率。

Micro element and its receiving substrate, transfer method and display device

【技术实现步骤摘要】
微元件及其接收基板和转移方法、显示装置
本专利技术涉及显示面板
，特别是涉及一种微元件及其接收基板和转移方法、显示装置。
技术介绍
发光二极管(LightEmittingDiode，LED)是一种光电半导体元件，其具有低功耗、尺寸小亮度高、易与集成电路匹配、可靠性高等优点，作为光源被广泛应用。并且，随着LED技术的成熟，直接利用LED作为自发光显示点像素的LED显示器或MicroLED(微型发光二极管)显示器的技术也逐渐被广泛应用。其中，MicroLED显示屏综合了TFT-LCD和LED显示屏的技术特点，其显示原理是将LED结构设计进行薄膜化、微小化、阵列化，之后将MicroLED从最初的生长衬底上转移到电路基板上，目前MicroLED技术发展的难点之一就在于MicroLED的转移过程。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要解决的技术问题是提供一种微元件及其接收基板和转移方法、显示装置，能够提高微元件的转移效率。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种微元件的接收基板，该接收基板包括：板体；电极阵列，包括若干电极组件，若干电极组件阵列设置于板体一侧，各电极组件包括有螺旋状电极；驱动电路，包括输入端和输出端，输入端用于输入驱动信号，输出端连接螺旋状电极一端，螺旋状电极另一端连接一开关；其中，在开关导通、驱动电路的输入端输入驱动信号时，螺旋状电极产生磁场，以吸附带有磁体的微元件。为解决上述技术问题，本专利技术采用的又一个技术方案是：提供一种微元件，该微元件包括本体，该本体包括有磁体，磁体用于使微元件能够被接收基板的螺旋状电极所产生的磁场吸附；凸条，该凸条设置于本体与接收基板固定连接的一侧，凸条在处于正确组装状态时，其嵌入于接收基板中。为解决上述技术问题，本专利技术采用的又一个技术方案是：提供一种显示装置，该显示装置包括：板体；电极阵列，包括若干电极组件，若干电极组件阵列设置于板体一侧，各电极组件包括有螺旋状电极；驱动电路，包括输入端和输出端，输入端用于输入驱动信号，输出端连接螺旋状电极一端，螺旋状电极另一端连接一开关；微元件，包括磁体，微元件具有磁体的一端固定于电极组件；其中，螺旋状电极能够在开关导通、驱动电路的输入端输入驱动信号时产生磁场，以吸附微元件具有磁体的一端。为解决上述技术问题，本专利技术采用的又一个技术方案是：提供一种微元件的转移方法，该转移方法包括：提供微元件和如上述实施例所阐述的微元件的接收基板；其中，微元件包括磁体；将接收基板和微元件置于一流体环境中；向接收基板驱动电路的输入端输入驱动信号，并且周期性导通开关，以使螺旋状电极产生磁场，吸附带有磁体的微元件于电极组件；直至接收基板上的各电极组件均安装有微元件，则停止向输入端输入驱动信号以及停止导通开关。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术，本专利技术提供一种微元件的接收基板。该接收基板包括板体、电极阵列以及驱动电路。电极阵列包括若干电极组件，各电极组件包括有螺旋状电极。驱动电路包括输入端和输出端，输入端用于输入驱动信号，输出端连接螺旋状电极一端，螺旋状电极另一端连接一开关。在开关导通，并且向驱动电路的输入端输入驱动信号时，电极组件上的螺旋状电极中形成电流。螺旋状电极中的电流流路呈现螺旋状，使得螺旋状电极产生对应的磁场，以吸附带有磁体的微元件，进行微元件的转移工作。本专利技术利用螺旋状电极所产生的磁场，高效吸附微元件，在提高微元件转移过程的可控性的同时，提高微元件的转移效率。附图说明图1是本专利技术微元件的接收基板一实施例的结构示意图；图2是本专利技术驱动电路一实施例的结构示意图；图3是图2所示驱动电路中各信号的时序控制示意图；图4是本专利技术电极组件一实施例的俯视结构示意图；图5是本专利技术微元件一实施例的结构示意图；图6是图5所示微元件的仰视结构示意图；图7是本专利技术电极组件与微元件组装形式第一实施例的结构示意图；图8是本专利技术电极组件与微元件组装形式第二实施例的结构示意图；图9是本专利技术电极组件与微元件组装形式第三实施例的结构示意图；图10是本专利技术电极组件另一实施例的俯视结构示意图；图11是本专利技术微元件另一实施例的仰视结构示意图；图12是本专利技术显示装置一实施例的结构示意图；图13是本专利技术微元件的转移方法一实施例的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。为解决现有技术中微元件转移效率较低的技术问题，本专利技术的一实施例提供一种微元件的接收基板。该接收基板包括：板体；电极阵列，包括若干电极组件，若干电极组件阵列设置于板体一侧，各电极组件包括有螺旋状电极；驱动电路，包括输入端和输出端，输入端用于输入驱动信号，输出端连接螺旋状电极一端，螺旋状电极另一端连接一开关；其中，在开关导通、驱动电路的输入端输入驱动信号时，螺旋状电极产生磁场，以吸附带有磁体的微元件。以下进行详细阐述。MicroLED显示器是一种以在一个基板上集成的高密度微小尺寸的LED阵列作为显示像素实现图像显示的显示器，每一个像素可定址、单独驱动点亮，将像素点距离从毫米级降低至微米级，MicroLED显示器和有机发光二极管显示器一样属于自发光显示器。微转移技术是目前制备MicroLED显示器的主流方法，其具体制备过程为：首先在蓝宝石基板生长出MicroLED，然后通过激光剥离技术将MicroLED从蓝宝石基板上分离，随后使用转移头将MicroLED从蓝宝石基板上吸附到接收基板预留的位置上，然后释放，即完成将MicroLED转移到接收基板上的工作，故而制得MicroLED显示器。目前转移头一般采用通电吸附或PDMS方式粘附进行转移，然而PDMS剥离时较难控制剥离效果，静电吸附需要对每个转移头进行导通，不仅复杂而且效果欠佳。除此之外，还可以通过控制磁流变液的状态实现MicroLED与转移头之间进行物理连接，但这种方式不仅效率低，而且容易造成磁流变液的泄漏，导致对MicroLED造成污染。在上述MicroLED的转移过程中，由于MicroLED的尺寸微小并且数量巨大，对MicroLED的操作存在非常大的限制，因此包括上述几种转移方式在内的现有转移方法均存在转移效率较低且产品良率较低的问题。有鉴于此，本专利技术的一实施例提供一种微元件的接收基板，能够解决现有技术中所存在包括上述MicroLED在内的微元件的转移效率较低的技术问题。请参阅图1，图1是本专利技术微元件的接收基板一实施例的结构示意图。在一实施例中，接收基板1用于接收来自生长基板的微元件2(包括上述MicroLED)。接收基板1包括板体11、电极阵列12以及驱动电路13。电极阵列12包括若干电极组件121，若干电极组件121阵列设置于板体11的一侧，各电极组件121分别包括有螺旋状电极1211，螺旋状电极1211用于吸附微元件2，以使微元件2正确安装于接收基板1上。驱动电路13包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的接收基板，其特征在于，包括：/n板体；/n电极阵列，所述电极阵列包括若干电极组件，所述若干电极组件阵列设置于所述板体一侧，各所述电极组件包括有螺旋状电极；/n驱动电路，所述驱动电路包括输入端和输出端，所述输入端用于输入驱动信号，所述输出端连接所述螺旋状电极一端，所述螺旋状电极另一端连接一开关；/n其中，在所述开关导通、所述驱动电路的所述输入端输入所述驱动信号时，所述螺旋状电极产生磁场，以吸附带有磁体的所述微元件。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的接收基板，其特征在于，包括：
板体；
电极阵列，所述电极阵列包括若干电极组件，所述若干电极组件阵列设置于所述板体一侧，各所述电极组件包括有螺旋状电极；
驱动电路，所述驱动电路包括输入端和输出端，所述输入端用于输入驱动信号，所述输出端连接所述螺旋状电极一端，所述螺旋状电极另一端连接一开关；
其中，在所述开关导通、所述驱动电路的所述输入端输入所述驱动信号时，所述螺旋状电极产生磁场，以吸附带有磁体的所述微元件。


2.根据权利要求1所述的接收基板，其特征在于，所述开关包括第一端、第二端以及控制端，所述第一端连接所述螺旋状电极，所述第二端接地，所述控制端用于输入开关信号，以控制所述第一端和所述第二端连接或断开。


3.根据权利要求1所述的接收基板，其特征在于，所述电极组件设有与所述微元件形状匹配的凹凸嵌合防呆结构。


4.根据权利要求3所述的接收基板，其特征在于，所述电极组件内设有层叠的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的槽口位于所述电极组件表面，所述第二凹槽的槽口位于所述第一凹槽的槽底，所述第一凹槽的槽底面积大于所述第二凹槽的槽口面积，所述微元件上的第一凸条、第二凸条可嵌入于所述第一凹槽、所述第二凹槽中，以形成所述防呆结构。


5.根据权利要求4所述的接收基板，其特征在于，所述第二凹槽包括十字交叉并且连通的第一子凹槽和第二子凹槽，所述第一子凹槽、所述第二子凹槽所定义的所述第一凹槽槽底的四个角落均设置有所述螺旋状电极。


6.根据权利要求4所述的接收基板，其特征在于，所述第二凹槽包括至少两组第一子凹槽和第二子凹槽，各组所述第一子凹槽和第二子凹槽分别设置于所述第一凹槽槽底的不同角落，并且每组的所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱先锐，王程功，洪志毅，刘玉春，李之升，曹轩，夏继业，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32