一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口技术方案

本实用新型专利技术涉及材料工程技术领域，且公开了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀，所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口，所述真空密封口的顶部设有固定螺丝，所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口。该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，通过采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置，能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下，将激光玻璃密封窗口拆卸下来，实现对玻璃窗口的高效清洁，解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题，确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体。

A detachable sealing window for laser incidence in pulsed laser deposition system

【技术实现步骤摘要】
一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口
本技术涉及材料工程
，具体为一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口。
技术介绍
随着现代微电子行业的发展，人们对小型化高性能集成电子器件的需求日益增加，用于制造这种电子器件的材料也趋于复杂化，因此需要制备高性能的新型薄膜材料来满足市场需求。当薄膜制备技术达到原子精度时，就能精确的调控薄膜材料的微观结构从而进一步实现对其性能的精密调控。脉冲激光沉积技术是目前世界范围内使用最广的一种先进的新型薄膜制备技术，能实现对薄膜沉积在原子精度上的调控，它是伴随着激光技术的进步而发展起来的，其主要优点有：更容易获得与靶材组分相一致的薄膜材料；沉积效率高，实验周期相对较短；制备的薄膜材料样品组分均一；对靶材原料的限制较少，可以用于制备多种薄膜材料；工艺参数的可调节性腔，对薄膜质量控制的手段多样；系统兼容性强，可以搭载多种组合配件。真空沉积系统作为脉冲激光沉积系统的重要组件之一，其主体是一个封闭的真空腔体，是薄膜材料生长的关键装置，高能准分子激光脉冲从脉冲激光器发射出，经过光学透镜的聚焦与调节，最后从真空沉积系统的激光入射玻璃窗口进入真空腔体，激光进入真空腔体后轰击在靶材表面，与靶材表面产生强烈的物理作用，产生大量的溅射粒子，这些溅射粒子中有一部分很容易附着在激光入射的玻璃窗口上，从而在玻璃窗口内侧产生污染物，这些污染物的存在会导致玻璃窗口的透光率降低，从而使得激光在穿过玻璃窗口时出现能量降低，光斑的均匀度变差等一系列问题，激光质量的降低会导致薄膜材料制备过程中出现生长不均匀，结晶性差等严重的问题，最终会影响到薄膜材料的性能以及后续的应用，同时真空腔体处于一个高度真空密封的状态，要去清洗玻璃窗口就必须要让真空腔体破除真空状态并使其暴露于大气之中，再拆下玻璃窗口清洗，但这种做法会极大的改变真空腔体的内部气氛环境，影响薄膜制备时的沉积条件，进而会降低薄膜样品的重复性，这一难题的出现使得我们不能高效的去清洗沉积在玻璃窗口内侧的污染物，导致污染物长期的附着在玻璃窗口上。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对上述
技术介绍
提出的不足，本技术提供了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，解决了上述
技术介绍
提出的问题。(二)技术方案本技术提供如下技术方案：一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀，所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口，所述真空密封口的顶部设有固定螺丝，所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口，所述闸板阀正面的另一侧设有进气口，且进气口的正面设有进气管，所述闸板阀的另一侧设有连接口，且连接口的另一侧设有阀门制动杆，所述阀门制动杆的另一侧设有阀门开关旋转手柄。优选的，所述激光入射玻璃窗口的外径值与真空密封口的内径值相等，且激光入射玻璃窗口的制作材质透光。优选的，所述固定螺丝的数量为六个，且六个固定螺丝均匀分布在真空密封口的顶部。优选的，所述阀门开关旋转手柄的一侧固定安装有把手，且把手的外表面设有防滑纹。优选的，所述闸板阀通过真空管道与真空腔体相连。优选的，所述闸板阀外具有可拆卸的镜子，且其将闸板阀隔离。优选的，所述闸板阀一侧设有进气管道。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，具备以下有益效果：1、该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，通过对传统的激光玻璃密封窗口进行改造，采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置，利用闸板阀隔离开真空腔体与激光玻璃密封窗口，能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下，使得激光玻璃密封窗口能做到随时拆卸，实现对玻璃窗口的高效清洁，既解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题，确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体，又很好的保护了真空腔体内部的气体氛围。附图说明图1为本技术结构整体示意图；图2为本技术结构剖面示意图。图中：1、真空腔体；2、闸板阀；3、真空密封口；4、固定螺丝；5、激光入射玻璃窗口；6、进气口；7、进气管；8、连接口；9、阀门制动杆；10、阀门开关旋转手柄。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-2所示，一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀2，闸板阀2顶部的一侧固定安装有真空密封口3，真空密封口3的顶部螺纹套接有固定螺丝4，真空密封口3内腔的顶部固定套接有激光入射玻璃窗口5，闸板阀2正面的另一侧固定安装有进气口6，且进气口6的正面固定套接有进气管7，闸板阀2的另一侧固定安装有连接口8，且连接口8的另一侧固定安装有阀门制动杆9，阀门制动杆9的另一侧固定安装有阀门开关旋转手柄10。其中，激光入射玻璃窗口5的外径值与真空密封口3的内径值相等，且激光入射玻璃窗口5的制作材质透光，实现了更好的将激光入射玻璃窗口5固定在真空密封口3的内腔，达到更好的稳定性。其中，固定螺丝4的数量为六个，且六个固定螺丝4均匀分布在真空密封口3的顶部，实现了更好的将真空密封口3固定连接在一起，达到更加稳定的连接效果。其中，阀门开关旋转手柄10的一侧固定安装有把手，且把手的外表面设有防滑纹，实现了转动把手的过程中更好的带动阀门开关旋转手柄10进行同步转动，达到了转动过程中的便捷性。其中，闸板阀2通过真空管道与真空腔体1相连。其中，闸板阀2外具有可拆卸的镜子，且其将闸板阀2隔离。其中，闸板阀2一侧设有进气管道。在对可拆卸的激光入射玻璃密封窗口使用时：首先通过转动阀门开关旋转手柄10，由阀门制动杆9的活动来控制闸板阀2的关闭，使激光入射玻璃密封窗口5与真空腔体1之间隔离开来，接着打开进气阀门，让氮气从进气管7进入闸板阀2和激光入射玻璃密封窗口5的间隙空间中，使空间中的气压恢复到大气压的水平，然后取下固定激光入射玻璃窗口5六角螺丝，将激光入射玻璃密封窗口5从真空密封口3上拆下，清洗玻璃表面，接着清洗完成后，再将激光入射玻璃密封窗口5用六角螺丝重新固定在真空密封口3上，最后转动阀门开关旋转手柄10，由阀门制动杆9的活动来控制闸板阀2的开启，使闸板阀2重新打开。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀(2)，其特征在于：所述闸板阀(2)顶部的一侧设有真空密封口(3)，所述真空密封口(3)的顶部设有固定螺丝(4)，所述真空密封口(3)内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口(5)，所述闸板阀(2)正面的另一侧设有进气口(6)，且进气口(6)的正面设有进气管(7)，所述闸板阀(2)的另一侧设有连接口(8)，且连接口(8)的另一侧设有阀门制动杆(9)，所述阀门制动杆(9)的另一侧设有阀门开关旋转手柄(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀(2)，其特征在于：所述闸板阀(2)顶部的一侧设有真空密封口(3)，所述真空密封口(3)的顶部设有固定螺丝(4)，所述真空密封口(3)内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口(5)，所述闸板阀(2)正面的另一侧设有进气口(6)，且进气口(6)的正面设有进气管(7)，所述闸板阀(2)的另一侧设有连接口(8)，且连接口(8)的另一侧设有阀门制动杆(9)，所述阀门制动杆(9)的另一侧设有阀门开关旋转手柄(10)。


2.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述激光入射玻璃窗口(5)的外径值与真空密封口(3)的内径值相等，且激光入射玻璃窗口(5)的制作材质透光。


3.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄传威，魏思聪，廖肇龙，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：新型
国别省市：广东;44