蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法技术

形成于掩模片(15)的有效部(YA)以横跨被蒸镀基板的多个有源区域(3)的方式进行设置，有效部(YA)具有第一区域(YA1)以及第二区域(YA2)，第一区域(YA1)按照每个有源区域(3)而设置为与有源区域(3)对应的形状，在第二区域(YA2)且第一区域(YA1)外设置有对多个蒸镀孔(H)进行遮蔽的遮蔽部(25)。

Evaporated mask and the manufacturing method of evaporated mask

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法
本专利技术涉及一种蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法。
技术介绍
如专利文献1所记载那样，在有机EL显示装置中，在各像素上图案化形成发光层时，使用蒸镀掩模。如图18的(a)所示，将分别为片状的多个覆盖片112与多个支撑片113呈格子状且相互正交地安装于具有框开口部111a的框状的掩模框111。多个覆盖片112以及多个支撑片113在安装于掩模框111时，向外架设(拉伸)两端部并且将两端部附近熔接于掩模框111。由此，将多个覆盖片112以和与掩模框111的长边方向(纸面中的上下方向)正交的短边方向(纸面中的左右方向)平行的方式安装于掩模框111。此外，将多个支撑片113以与掩模框111的长边方向平行的方式安装于掩模框111。接着，将形成有对位标记的对准片114以对位标记来到规定位置的方式沿框开口部111a的短边安装于掩模框111。并且，以对位标记为基准，将短条状的多个掩模片115的两端部向外架设(拉伸)并且将两端部附近熔接于掩模框111。在掩模片115形成有多个有效部115a。有效部115a为排列形成有多个蒸镀孔的区域，所述多个蒸镀孔用于按照被蒸镀基板的每个像素来蒸镀蒸镀层。在图18的示例中，有效部115a具有与被蒸镀基板的有源区域对应的形状。如图18的(b)所示，以在通过多个覆盖片112和多个支撑片113划分出的所有开口部包含有效部115a的方式，架设并且熔接多个掩模片115。并且，将多个掩模片115各自的熔接的部分的外侧的多余部分切去。由此，完成蒸镀掩模110。在使用蒸镀掩模110进行蒸镀时，从蒸镀源气化或升华的蒸镀粒子穿过有效部115a的蒸镀孔而附着于被蒸镀基板的像素。附着于该像素的蒸镀粒子成为发光层。因此，有效部115a具有与被蒸镀基板的有源区域对应的形状，在与通过多个覆盖片112和多个支撑片113划分出的开口部相比面积较小的区域形成有图案。并且，被蒸镀基板中的蒸镀发光层的位置由蒸镀掩模中的设置于各蒸镀孔的开口图案的位置来决定，被蒸镀基板中的蒸镀有发光层的有源区域的外形由有效部115a的外形来决定。如此，形成有有效部115a的掩模片115特别形成有与像素对应的多个蒸镀孔，因此需要位置精度良好地安装于掩模框111。根据掩模片115，有效部115a为长方形，因此在将掩模片115安装于掩模框111时，即使对掩模片115的端部施加向外的力，施加于有效部115a周围的应力也易于均匀化且能够将掩模片115比较位置精度良好地安装于掩模框111。现有技术文献专利文献专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2012-132096号”
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题以往，有机EL显示装置的显示区域的外形为智能电话等的应用标准的正方形或长方形且易于制作。近年来，正在开发通过不使用玻璃而是使用薄膜作为支承体，从而具有柔性(能够弯折)的有机EL显示装置。特别是此种柔性有机EL显示装置的支承体不是玻璃而是薄膜，因此易于加工且能够切为各种形状。并且，例如在智能电话或其他电子设备中为了实现设计方面的差异化，要求针对显示区域的外形制成例如在各角部设置圆弧(圆)、或设置用于配置摄像头以及扬声器的切口(凹口)的形状等的不是正方形或长方形的异形。当这样的异形切割部分存在有发光层时，在之后的密封工序中一部分发光层成为未被密封而露出的状态，因此无法确保可靠性。因此，在蒸镀发光层的蒸镀工序中，需要以在异形切割部分不蒸镀发光层的方式设置掩模。此外，当例如如后述的图19以及图18所示那样，将图18所示的掩模片115中的有效部115a的外形根据有源区域的异形切割部分的形状而设为与异形切割部分相同的形状时，在将掩模片115安装于掩模框111时，蒸镀孔的位置精度变差。而且，近年来，越来越要求像素的高清晰化，因此越来越要求防止蒸镀孔的位置精度下降地将掩模片115安装于掩模框111。本专利技术是鉴于所述以往的问题点而完成的，其目的在于提供一种即使有源区域为正方形或长方形以外的异形的形状，也能够精度良好地图案化形成蒸镀层的蒸镀掩模。解决问题的方案为了解决所述课题，本专利技术的一方式所涉及一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的该像素上蒸镀蒸镀层，其特征在于，具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，所述有效部具有第一区域和第二区域，所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，在所述第二区域设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。为了解决所述课题，本专利技术的一方式所涉及一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的该像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的制造方法的特征在于，具有如下工序：蒸镀孔形成工序，通过在掩模片上形成多个蒸镀孔，从而以横跨多个所述有源区域的方式进行设置有效部；遮蔽部形成工序，通过在所述有效部中的、与所述有源区域对应的形状的外侧形成对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部，从而按照每个该有源区域设置与所述有源区域对应的形状的第一区域，并且设置设置有所述遮蔽部的第二区域。专利技术效果根据本专利技术的一方式，起到如下效果：即使有源区域为正方形或长方形以外的异形的形状，也能够精度良好地图案化形成的蒸镀层。附图说明图1为表示第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的结构的图。图2为表示第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的制造工序的图。图3为第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的基板的俯视图。图4为图3的基板的有机EL显示面板形成区域的剖视图。图5为表示用于形成第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的发光层时的蒸镀工序的情形的示意图。图6为第一实施方式的有源区域3局部放大图。图7为表示第一实施方式所涉及的有机EL显示面板中的发光层的蒸镀工序的图。图8为表示制作第一实施方式所涉及的蒸镀掩模的情形的图。图9为表示第一实施方式的掩模片的结构的图。图10为表示在第一实施方式的掩模片中的有效部形成遮蔽部的情形的图。图11为表示从第二面侧观察到的第一实施方式的蒸镀掩模的一部分的情形的图。图12为在第一实施方式的蒸镀工序中进行蒸镀时的蒸镀掩模以及TFT基板的剖视图。图13为表示第一实施方式的变形例1所涉及的蒸镀掩模的结构的图。图14为表示第一实施方式的变形例2所涉及的蒸镀掩模的结构的图。图15为表示第二实施方式所涉及的有机EL显示面板中的发光层的蒸镀工序的图。图16为表示制作第二实施方式所涉及的蒸镀掩模的情形的图。图17示出制作以往的蒸镀掩模的情形，(a)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的图，(b)为表示所制成的蒸镀掩模的俯视图。图18为表示将有效部的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的特征在于，/n具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，/n所述有效部具有第一区域和第二区域，/n所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，/n在所述第二区域中设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的特征在于，
具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，
所述有效部具有第一区域和第二区域，
所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，
在所述第二区域中设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部以横跨所述第二区域所包含的多个蒸镀孔的方式进行设置。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部设置于与所述掩模片中的、和所述被蒸镀基板对置的第一面相反侧的第二面。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部为树脂。


5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部为光固化性树脂。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述有效部为正方形或长方形。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
在所述有效部中设置有形状不同的多个所述第一区域。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述第一区域包含供所述第二区域从该第一区域的一边朝向内部方向突出的切口，
在所述第一区域外且被所述切口包围的区域内的所述多个蒸镀孔被所述遮蔽部遮蔽。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述第二区域包含浮岛部，所述浮岛部被所述第一区域包围的区域且不与该第一区域的外形接触。


10.一种蒸镀掩模的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山渕浩二，中岛信作，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP