一种砷烷气体吸收过滤系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本发明专利技术提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。

An absorption and filtration system for Arsene gas

【技术实现步骤摘要】
一种砷烷气体吸收过滤系统
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。
技术介绍
近几年来，由于半导体产业的蓬勃发展，作为必需原材料的砷烷气体也迎来快速发展。目前，国内制备砷烷厂家主要采用化学制备法，化学制备法工艺简单，原料易得，设备投资少，但是产物收率低，杂质含量高，需要经过复杂的精制处理后方可使用。国外的主流砷烷厂家通常使用电化学法，电化学法可在恒定浓度条件下产生砷烷，收率及纯度高，装置易于控制，相比于化学制备法有很明显的产能优势，同时也更有利于产品的系统集成。因此，电化学制备法将成为砷烷气体制备的主流方法，势必引起国内相关研发单位和生产企业的重点关注和优先发展。在制备砷烷气体的试验过程中，目前还没有一套综合性能优良的尾气处理方案，用以吸收制备装置所产生的砷烷气体。由于砷烷气体无色，易燃，易爆的特性，如果防护不当，即使很小的流量，也可以造成很大的人体伤害。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是提供一种砷烷气体吸收过滤系统，能够在制备砷烷气体的试验过程中，安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种砷烷气体吸收过滤系统，包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。进一步地，还包括通风橱，所述手套箱和所述气体过滤装置均设置于所述通风橱中，所述气体过滤装置的出气口与第三输送管路的一端相连，所述第三输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。进一步地，还包括设置于所述通风橱中的砷烷气体检测器，所述第一输送管路设有第一检测口，所述第一检测口通过第一检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。具体地，所述手套箱设有第二检测口，所述第二检测口通过第二检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。具体地，位于所述通风橱中的所述第三输送管路设有第三检测口，所述第三检测口通过第三检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。具体地，所述通风橱中设有第四检测口，所述第四检测口通过第四检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。具体地，所述砷烷气体检测器的出气口通过第四输送管路与所述第一输送管路相连。具体地，所述第一输送管路上设有第一单向阀，所述第二输送管路上分别设有第一风机和第二单向阀，所述第三输送管路上设有第二风机。具体地，所述气体过滤装置的进气口与稀释空气输送管路的一端相连，所述稀释空气输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。具体地，所述电解槽的进气口与第一氮气管路相连，所述第一氮气管路依次穿过所述手套箱、所述通风橱与氮气源相连；所述手套箱设有氮气入口，所述氮气入口与第二氮气管路相连，所述第二氮气管路穿过所述通风橱与所述氮气源相连。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有如下优点：本专利技术提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，从而更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。本专利技术提供的砷烷气体吸收过滤系统，手套箱和气体过滤装置均设置于通风橱中，即使手套箱或气体过滤装置存在砷烷气体漏出，也都能够被通风橱的排风系统完全处理，作为安全冗余以应对极端情况，起到双重的防护作用。本专利技术提供的砷烷气体吸收过滤系统，在通风橱中设置砷烷气体检测器，砷烷气体检测器分别连接四个检测口，通过四个检测口分别实时检测第一输送管路、手套箱、第三输送管路以及通风橱是否存在砷烷气体泄露，从而及时、准确的掌握砷烷气体吸收过滤系统的运行状态，进一步保证了整个系统的安全、可靠运行。附图说明图1是本专利技术实施例砷烷气体吸收过滤系统的示意图。图中：1：电解槽；2：气体过滤装置；3：手套箱；4：第一输送管路；5：第二输送管路；6：第一风机；7：通风橱；8：第三输送管路；9：砷烷气体检测器；10：第一检测口；11：第一检测管路；12：第二检测口；13：第二检测管路；14：第三检测口；15：第三检测管路；16：第四检测口；17：第四检测管路；18：第四输送管路；19：第一单向阀；20：第二单向阀；21：第二风机；22：稀释空气输送管路；23：第一氮气管路；24：氮气源；25：第二氮气管路。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，本专利技术实施例提供一种砷烷气体吸收过滤系统，包括电解槽1、气体过滤装置2以及手套箱3。所述电解槽1设置于所述手套箱3中，所述电解槽1的出气口与第一输送管路4的一端相连，所述第一输送管路4的另一端穿过所述手套箱3与所述气体过滤装置2的进气口相连。所述电解槽1产生的砷烷气体被输送至所述气体过滤装置2中进行吸收过滤。所述手套箱3通过第二输送管路5与所述气体过滤装置2的进气口相连。本专利技术实施例所述的砷烷气体吸收过滤系统，由于将所述电解槽1设置于所述手套箱3中，将所述手套箱3通过所述第二输送管路5与所述气体过滤装置2相连，则即使所述电解槽1存在泄漏，也能够通过所述第二输送管路5将泄露的砷烷气体输送至所述气体过滤装置2，最终被所述气体过滤装置2吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，进而保证系统能够安全、可靠实现对砷烷气体的吸收和过滤。进一步来说，所述第二输送管路5上设有用于抽取所述手套箱3内部空气向所述气体过滤装置2输送的第一风机6。在所述第一风机6的抽吸作用下，能够使所述手套箱3内形成负压环境，则所述电解槽1存在泄漏时，能够及时的将所述电解槽1泄露到所述手套箱3中的砷烷气体通过所述第二输送管路5输送至所述气体过滤装置2，进一步避免了砷烷气体的外泄，有效提高了对砷烷气体的吸收和过滤。进一步来说，本专利技术实施例所述的砷烷气体吸收过滤系统，还包括通风橱7，所述手套箱3和所述气体过滤装置2均设置于所述通风橱7中。所述气体过滤装置2的出气口与第三输送管路8的一端相连，所述第三输送管路8的另一端穿过所述通风橱7设置于所述通风橱7外部。通过在所述手套箱3和所述气体过滤装置2的外部设置所述通风橱7，即使所述手套箱3和所述气体过滤装置2存在砷烷气体泄露，也能够被所述通风橱7的排风系统完全处理，也即所述通风橱7能够作为安全冗余以应对极端情况，从而起到双重的防护作用。更进一步来说，本专利技术实施例所述的砷烷气体吸收过滤系统，还包括设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。


2.根据权利要求1所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：还包括通风橱，所述手套箱和所述气体过滤装置均设置于所述通风橱中，所述气体过滤装置的出气口与第三输送管路的一端相连，所述第三输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。


3.根据权利要求2所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：还包括设置于所述通风橱中的砷烷气体检测器，所述第一输送管路设有第一检测口，所述第一检测口通过第一检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。


4.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述手套箱设有第二检测口，所述第二检测口通过第二检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。


5.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：位于所述通风橱中的所述第三输送管路设有第三检测口，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文杰，赵青松，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11