一种中大型MO源圆柱型钢瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且进气管的出口与弧型曲面中心对应配合，用于在钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；MO源封装空间的体积范围在5000‑10000mL；本实用新型专利技术在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，通过对钢瓶本体底部内侧壁进行改进，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。

A large and medium Mo cylinder

【技术实现步骤摘要】
一种中大型MO源圆柱型钢瓶
本技术属于MO源封装容器
，具体涉及了一种中大型MO源圆柱型钢瓶。
技术介绍
MO源(MetalorganicSource)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。如公开号为CN109852948A的中国专利技术专利在
技术介绍
中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源供给饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请专利技术人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种中大型MO源圆柱型钢瓶，在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，通过对钢瓶本体底部内侧壁进行改进，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。本技术采用的技术方案如下：一种中大型MO源圆柱型钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且所述进气管的出口与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积范围在5000-10000mL。优选地，所述弧型曲面包括位于中心的平面单元和位于平面单元外周的弧型曲面单元，其中，所述弧型曲面外径是所述平面单元直径的3.5-6倍。优选地，所述钢瓶本体高度是所述钢瓶本体外径的1.8-3倍。优选地，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段包括位于上方的第一竖直部和位于下方的第二竖直部，所述第一竖直部与所述第二竖直部之间通过弯折部一体连接，且所述第二竖直部的出口位于所述弧型曲面的中心轴线上且与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域。优选地，所述第二竖直部长度是第一竖直部长度的4-8倍。优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧型曲面的中心轴线重合。优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。优选地，所述钢瓶本体上端部固定设有位于所述进气阀和出气阀外周的圆弧把手，其中，所述圆弧把手直径大于所述钢瓶本体外径，所述圆弧把手通过若干弯折固定架固定焊接在所述钢瓶本体上端部。本技术在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，对钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面的结构设计，使得进气管的出口与弧型曲面中心对应配合，用于在钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；同时本技术的圆柱型钢瓶本体采用一体成型结构设计，不需要额外安装结构，加工以及安装工序简单便捷，制造成本低，非常适合应用于MO源封装空间体积体积范围在5000-10000mL的MO源钢瓶中。附图说明附图1是本技术具体实施方式下中大型MO源圆柱型钢瓶10的结构示意图；附图2是图1的俯视图。具体实施方式本技术实施例公开了一种中大型MO源圆柱型钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且进气管的出口与弧型曲面中心对应配合，用于在钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；MO源封装空间的体积范围在5000-10000mL。本技术实施例在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，对钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面的结构设计，使得进气管的出口与弧型曲面中心对应配合，用于在钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域，该高效鼓泡对流区域可以有效避免MO源在钢瓶本体的MO源封装空间内发生晶型尺寸、堆积度和物料高度等问题，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果；同时本技术实施例的圆柱型钢瓶本体采用一体成型结构设计，不需要额外安装结构，加工以及安装工序简单便捷，制造成本低，非常适合应用于MO源封装空间体积体积范围在5000-10000mL的MO源钢瓶中。为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。请参见图1和图2所示，一种中大型MO源圆柱型钢瓶10，包括设有MO源封装空间11且呈圆柱状的钢瓶本体12，MO源封装空间11的体积范围在5000-10000mL；具体优选地，在本实施方式中，MO源封装空间11的体积为7500mL；在本实施方式中，钢瓶本体12上端部分别设有与MO源封装空间11连通的进气管13和出气管14，同时进气管13和出气管14上分别安装有进气阀15a和出气阀15b，其中，钢瓶本体12底部内侧壁采用弧型曲面20；优选地，在本实施方式中，弧型曲面20包括位于中心的平面单元20a和位于平面单元20a外周的弧型曲面单元20b，其中，弧型曲面外径D10是平面单元直径D20的3.5-6倍；钢瓶本体高度H10是钢瓶本体外径D30的1.8-3倍；具体优选地，在本实施方式中，弧型曲面外径D10为138.5mm，平面单元直径D20为27mm，钢瓶本体高度H10为356mm，钢瓶本体外径D30为145mm；优选地，在本实施方式中，进气管13包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间11外部的外进气管段131以及位于MO源封装空间11内部的内进气管段132，其中，内进气管段132包括位于上方的第一竖直部132a和位于下方的第二竖直部132c，第一竖直部132a与第二竖直部132c之间通过弯折部132b一体连接，且第二竖直部132c的出口133位于弧型曲面20的中心轴线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且所述进气管的出口与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积范围在5000-10000mL。/n

【技术特征摘要】
1.一种中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且所述进气管的出口与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积范围在5000-10000mL。


2.如权利要求1所述的中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，所述弧型曲面包括位于中心的平面单元和位于平面单元外周的弧型曲面单元，其中，所述弧型曲面外径是所述平面单元直径的3.5-6倍。


3.如权利要求1所述的中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，所述钢瓶本体高度是所述钢瓶本体外径的1.8-3倍。


4.如权利要求1所述的中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛亮，郑江，
申请(专利权)人：常熟制药机械厂有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32