体声波谐振器制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成。本实施例的技术方案，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。

Bulk acoustic resonator

【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器
本技术实施例涉及谐振器
，尤其涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
理想体声波谐振器是由上电极、压电层和下电极组成的声学堆，该谐振器具有尺寸小、性能好、适用于集成电路等优点。体声波谐振器通常激发沿压电层厚度方向的传播的纵向体声波，该纵向体声波是影响体声波谐振器品质的主要因素。然而，现有的体声波谐振器除了产生期望的纵向体声波外，往往还会在器件中产生其他形式的驻波，增加了体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生了不利影响。
技术实现思路
本技术提供一种体声波谐振器，以阻止其他形式的驻波的产生，减少体声波谐振器的噪声，提升体声波谐振器的性能。第一方面，本技术实施例提供了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，所述压电层设置在所述上电极和所述下电极之间；所述压电层在所述下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。可选地，所述上电极和所述下电极在垂直于所述体声波谐振器的厚度方向的平面上的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。可选地，相邻所述锯齿结构的中心间距大于或等于2微米。可选地，所述压电层在所述下电极的垂直投影的所有边界均包括多个锯齿结构。可选地，多个所述锯齿结构在所述边界上依次首尾相连。可选地，所述锯齿结构的形状包括三角形或梯形。可选地，所述体声波谐振器在垂直于其厚度方向的平面上的垂直投影的形状包括多边形。可选地，所述上电极和所述下电极的材质为金、钼、铝、铬和镍中的任一种。可选地，所述压电层的材质为锆钛酸铅压电陶瓷、氧化锌和氮化铝中的任一种。本技术实施例提供了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。附图说明图1是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的平面结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的立体结构示意图；图3是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的垂直投影示意图；图4是现有技术中的一种体声波谐振器的平面结构示意图；图5是本技术实施例提供的另一种体声波谐振器的立体结构示意图；图6是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的阻抗和频率的函数曲线示意图；图7-15是本技术实施例提供的另一种体声波谐振器的垂直投影示意图；图16是本技术实施例提供的另一种体声波谐振器的阻抗和频率的函数曲线示意图；图17-18是本技术实施例提供的另一种体声波谐振器的垂直投影示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。图1是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的平面结构示意图，具体示出了该体声波谐振器的平面侧视结构；图2是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的立体结构示意图，具体示出了该体声波谐振器的立体侧视结构；图3是本技术实施例提供的一种体声波谐振器的垂直投影示意图，图3示意性地示出了如图1-2所示的体声波谐振器中的压电层2在下电极3上的垂直投影形状。如图1-3所示，该体声波谐振器包括：上电极1、压电层2和下电极3，压电层2设置在上电极1和下电极3之间；压电层2在下电极3的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构A。如图1-2所示，本实施例提供的体声波谐振器，可基于体声波的谐振技术，应用压电效应，接入外加电源后将电能信号转换为对应的声波信号从而形成谐振。具体地，上电极1可接入外加电源的一极，下电极3可接入外加电源的另一极，压电层2在通电后会随着外加电源产生的电场的变化发生相应的膨胀或收缩等形变，从而在压电层2的厚度方向ao上产生纵向体声波，该纵向体声波传播到上电极1与空气交界处以及下电极3与空气交界处时能够发生反射，从而在压电层2中形成振荡。如图1-3所示，可以将压电层2沿厚度方向ao的侧面设置多个锯齿结构，使压电层2的侧面形成不规则边缘，当压电层2沿厚度方向ao向下电极3进行垂直投影时，下电极3表面上的垂直投影呈现与压电层2侧面边缘形状一致的至少部分边界包括多个锯齿结构A的形状。图4是现有技术中的一种体声波谐振器的平面结构示意图，具体示出了现有技术中的体声波谐振器的平面侧视结构。如图4所示，现有技术中的体声波谐振器的压电层2’与上电极1’和下电极3’的尺寸与形状一致，压电层2’的侧面呈现规则平面结构，所有边缘均是直线。然而，现有技术中的体声波谐振器接入外加电源后，压电层2’中除了会产生期望的纵向体声波外，还会产生横向体声波，形成驻波后会增加体声波谐振器的噪声，降低了体声波谐振器的性能。本实施例提供的体声波谐振器，包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。图5是本技术实施例提供的另一种体声波谐振器的立体结构示意图。如图5所示，可选地，在上述技术方案的基础上，上电极1和下电极3在垂直于体声波谐振器的厚度方向的平面上的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构A。具体地，参考图5，可以在上电极1、压电层2和下电极3的侧面均设置多个锯齿结构A，使上电极1、压电层2和下电极3的侧面均形成不规则边缘，当上电极1、压电层2和下电极3沿体声波谐振器的厚度方向ao进行垂直投影时，垂直投影呈现与上电极1、压电层2和下电极3侧面边缘形状一致的至少部分边界包括多个锯齿结构A的形状(垂直投影的具体形状可参考图3)。这样当该体声波谐振器接入外加电源后，压电层2中产生的除纵向体声波外的其他方向，例如横向体声波在压电层2中传播时，传播到上电极1、压电层2和下电极3的多个锯齿形侧面与空气接触的表面会发生更加杂乱无章的反射或漫反射，阻止了横向驻波或其他方向驻波的形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：/n上电极、压电层和下电极，所述压电层设置在所述上电极和所述下电极之间；/n所述压电层在所述下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：
上电极、压电层和下电极，所述压电层设置在所述上电极和所述下电极之间；
所述压电层在所述下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。


2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述上电极和所述下电极在垂直于所述体声波谐振器的厚度方向的平面上的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。


3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，相邻所述锯齿结构的中心间距大于或等于2微米。


4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电层在所述下电极的垂直投影的所有边界均包括多个锯齿结构。
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【专利技术属性】
技术研发人员：缪建民，张瑞珍，
申请(专利权)人：迈感微电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31