试样分散装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能使粉末试样以相比以往更高的水平均匀分散的试样分散装置，其包括：容器(1)，内部形成有分散室(11)，粉末试样(S)在分散室(11)分散；以及导入机构(J)，利用所述容器(1)的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器(1)的外侧导入所述分散室(11)内，所述导入机构(J)具备包含粉末试样(S)的气体流经的导入管(2)，以及设置于所述导入管(2)的多个节流件。

Sample disperser

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】试样分散装置
本专利技术涉及制作在SEM等电子显微镜、光学显微镜、拉曼显微镜等装置上进行观察的测定试样的试样分散装置。
技术介绍
以往，用显微镜等观察粉末试样时，制作将粉末试样的颗粒在试样板上均匀分散的测定试样。制作这种测定试样的试样分散装置，具备形成有内部保持规定的真空度并在内部配置试样板的试样分散室的容器，以及利用容器的内外的压力差将粉末试样导入所述试样分散室内的导入机构。例如，在专利文献1所示的试样分散装置中，粉末试样的导入机构包括：以贯穿容器的内外的方式设置的导入管；在导入管中设置在容器的外侧即基端部的粉末试样的料斗；在所述导入管中形成在容器内的顶端部的喇叭状扩大开口的喷出口部；配置在所述喷出口部内的扩散器；以及设置在导入管上的用以开闭容器的内外的阀门。所述导入机构在阀门关闭的状态下容器内被充分减压时，敞开所述阀门，利用容器的内外的压力差使粉末试样从喷出口部喷出。进而，从喷出口部喷出的粉末试样通过和扩散器碰撞，将粉末试样中处于凝聚状态的颗粒团粉碎，得到均匀的分散状态。可是，由于近年的图像分析技术的提高而以更高的分辨率进行分析，所以要求测定试样的颗粒的分散性高于以往水平，上述结构的试样分散装置越来越难以应对所述要求。现有技术文献专利文献1：日本专利公报3530453号
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供能使粉末试样以相比以往更高的水平均匀分散的试样分散装置。即，本专利技术的试样分散装置包括：容器，内部形成有分散室，粉末试样在所述分散室分散；以及导入机构，利用所述容器的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器的外侧导入所述分散室内，所述导入机构具备：包含粉末试样的气体流经的导入管；以及设置于所述导入管的多个节流件。按照这种构成，包含粉末试样的气体，每次通过多个节流件时至少被压缩，每当此时流体的加速度发生变化，对气体中的粉末试样的颗粒施加剪切力。因此，在粉末试样中凝聚的颗粒团上，多次重复作用使各颗粒分开的方向的力，可以使其分散为一个个颗粒。此外，即使存在未充分分散而保持凝聚状态的颗粒团，凝聚状态的颗粒团和分散的颗粒相比，在通过多个节流件时被导入管或节流件的壁面吸附等的可能性较高。因此，通过设置多个节流件，也可以发挥使通过各节流件期间分散的颗粒更容易通过的过滤器作用。因此，使凝聚状态的颗粒团比以往更难以被导入分散室内，能够提高分散的颗粒的比例，能得到例如在显微镜等使用的测定试样所要求的颗粒的分散性。为了使包含粉末试样的气体每次通过多个节流件时重复压缩和膨胀，对凝聚状态的颗粒团的剪切力大幅变化而更容易被分散，可以是在所述导入管中在流体通过了所述多个节流件后或通过所述多个节流件时成为最小流道径后，流道径扩大。为了防止粉末试样导入分散室内之后导入不含粉末试样的气体，从而防止颗粒在分散室内飞扬而损害均匀性，可以是还具备将所述分散室内减压的减压器，所述导入机构还包括：试样室，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，收容粉末试样和规定容量的气体；以及分隔结构，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，分隔所述试样室内和所述分散室之间，在导入粉末试样时敞开。在以往的试样分散装置中，为了分隔容器的内外而设置了阀门，但是存在所述阀门会被粉末试样的一部分堵塞或产生污垢的问题。为了不发生这种问题而不在导入机构上设置阀门，可以是所述分隔结构具备将所述容器上形成的导入粉末试样的导入开口分隔的分隔膜，所述导入机构包括：弹性隔壁体，设置在所述容器的外侧且内部形成所述试样室；以及膜敞开构件，设置在所述弹性隔壁体的所述内部，通过使所述弹性隔壁体变形，而使所述膜敞开构件接触并破坏所述分隔膜。此外，按照这种构成，用于破坏所述分隔膜的结构，能够不形成机械性可动部和滑动部或者间隙，因此不会因粉末试样进入等而污染装置。此外，由于粉末试样不易残留而产生污垢，所以相比以往能够减少清扫和保养的工夫。为了减少将粉末试样导入分散室内的准备作业，并且能在容器的外侧简单形成规定容量的试样室，可以是所述分隔结构包括：固定构件，安装在所述容器的外侧，与所述导入开口的周围之间夹入所述分隔膜的周边部；贯穿孔，形成于所述固定构件，在所述固定构件安装于所述容器的状态下与所述导入开口相对；以及卡合突起，在所述固定构件中形成在所述贯穿孔的与所述容器相反侧的开口的周围，和所述弹性隔壁体的内侧面卡合。作为适合使包含粉末试样的气体重复压缩和膨胀的具体结构，可以列举所述多个节流件是如下喷嘴：在流动方向上具有规定长度，并具有随着从所述导入管的基端侧向顶端侧前进而流道径变小的部分。为了使粉末试样在分散室内消除凝聚状态后向分散室内以喷雾状喷射，可以是所述多个节流件中的一个在所述分散室内形成粉末试样的喷出口。为了能高效捕集在分散室内分散的粉末试样而形成例如显微镜用的测定试样等，可以是还具备电压施加机构，对所述分散室内设置的捕集粉末试样的捕集构件施加与粉末试样相反电位的电压。为了使凝聚的颗粒通过多个节流件期间更容易和壁面等碰撞而提高分散的颗粒的均匀性，可以是所述多个节流件中的至少一个和其他节流件在所述导入管内将中心轴错开设置。为了使凝聚的颗粒中颗粒径大于规定值的颗粒不易通过导入管内到达分散室内，可以是所述多个节流件中的至少一个呈顶端部堵塞的筒状且侧面上形成有孔。按照这种本专利技术的试样分散装置，由于导入管中设有多个节流件，所以能够针对粉末试样中的凝聚状态的颗粒团多次施加剪切力，使其成为分散的颗粒。此外，例如对于直径较大的凝聚状态的颗粒团，和分散的颗粒比较，在多次通过节流件时被导入管或节流件的表面内捕捉的可能性较高。因此，能使导入分散室内的粉末试样的分散性比以往更高。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式的试样分散装置的示意图。图2是表示同实施方式中的试样分散装置的分散开始时的状态的示意图。图3是表示同实施方式中的导入机构的立体示意图。图4是表示同实施方式中的导入机构的分解状态的立体分解示意图。图5是表示本专利技术的第二实施方式的试样分散装置的导入机构的结构的断面示意图。图6是表示本专利技术的第三实施方式的试样分散装置的导入机构的结构的断面示意图。图7是表示本专利技术的第三实施方式的试样分散装置的导入机构的结构的立体示意图。附图标记说明100试样分散装置1容器11分散室12减压器13保持构件14导入开口J导入机构2导入管21喷嘴(节流件)3弹性隔壁体31试样室32针(膜敞开构件)4分隔结构41基座部42分隔膜43固定构件51密封件52圆形槽53突出部54贯穿孔55环状槽56卡合突起S粉末试样具体实施方式参照各图说明本专利技术的第一实施方式的试样分散装置100。第一实施方式的试样分散装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种试样分散装置，其特征在于包括：/n容器，内部形成有分散室，粉末试样在所述分散室分散；以及/n导入机构，利用所述容器的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器的外侧导入所述分散室内，/n所述导入机构具备：/n包含粉末试样的气体流经的导入管；以及/n设置于所述导入管的多个节流件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170911 JP 2017-1739241.一种试样分散装置，其特征在于包括：
容器，内部形成有分散室，粉末试样在所述分散室分散；以及
导入机构，利用所述容器的内外的压力差，将包含粉末试样的气体从所述容器的外侧导入所述分散室内，
所述导入机构具备：
包含粉末试样的气体流经的导入管；以及
设置于所述导入管的多个节流件。


2.根据权利要求1所述的试样分散装置，其特征在于，在所述导入管中在流体通过了所述多个节流件后或通过所述多个节流件时成为最小流道径后，流道径扩大。


3.根据权利要求1所述的试样分散装置，其特征在于，
还具备将所述分散室内减压的减压器，
所述导入机构还包括：
试样室，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，收容粉末试样和规定容量的气体；以及
分隔结构，在粉末试样导入所述分散室内之前的状态中，分隔所述试样室内和所述分散室之间，在导入粉末试样时敞开。


4.根据权利要求3所述的试样分散装置，其特征在于，
所述分隔结构具备将所述容器上形成的导入粉末试样的导入开口分隔的分隔膜，
所述导入机构包括：
弹性隔壁体，设置在所述容器的外侧且内部形成所述试样室；以及
膜敞开构件，设置在所述弹性隔壁体的所述内部，通过使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：名仓诚，青柳和磨，南昌宏，馆野宏志，清水智也，上野楠夫，
申请(专利权)人：株式会社堀场制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP