表面分析装置制造方法及图纸

提供一种表面分析装置。表面分析装置具备：载置试样的试样台；以及以与试样台相向的方式配置的悬臂及驱动悬臂的悬臂驱动部。驱动机构构成为：在取出试样台时，以使测定部与试样台在悬臂与试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的方向上滑动。

Surface analysis device

【技术实现步骤摘要】
表面分析装置
本专利技术涉及一种表面分析装置。
技术介绍
作为以往的分析装置,在日本特开平8-101219号公报中公开了一种扫描型探针显微镜，其使用设置有探针的悬臂来对试样面上的微细结构进行分析。在专利文献1所公开的扫描型探针显微镜中，包括光学系统的测定部可移动地固定到相对于试样台以规定的位置关系固定的基座。测定部配置于试样台的上方。在测定试样时，通过使测定部从测定时的位置后退，来在试样台的上方形成用于更换试样的空间，由此，能够容易地进行试样的更换作业。
技术实现思路
然而，在日本特开平8-101219号公报所公开的结构中，在更换试样时，在将试样台固定的状态下使包括光学系统的测定部移动。因此，存在以下担忧：由于作业者的手无意间触碰到光学系统的调整把手或者由于撞击被传递到光学系统而导致在光学系统中发生光轴偏移。另外，在更换试样时，在测定部内使悬臂移动之后才能够移动试样。使该悬臂移动的工序需要劳力和时间，因此存在以下担忧：更换试样的作业整体耗费劳力和时间。本专利技术是鉴于如上所述的问题而完成的，本专利技术的目的在于提供一种能够容易地取出试样的表面分析装置。基于本公开的表面分析装置对试样表面进行分析，该表面分析装置具备：试样台，其载置试样；测定部，其包括以与上述试样台相向的方式配置的悬臂以及驱动上述悬臂的悬臂驱动部；以及驱动机构，其使上述测定部与上述试样台相对地进行位移。上述驱动机构构成为：以使上述测定部与上述试样台在上述悬臂与上述试样台相向的第一方向上分离的方式使上述试样台相对于上述测定部相对地进行位移，之后使上述试样台在与上述第一方向交叉的第二方向上滑动。根据上述结构，在取出试样时，以使测定部与试样台在上述悬臂与上述试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的第二方向上滑动。因此，在试样台滑动时，在试样台与测定部分离的状态下试样台进行移动，因此能够防止测定部与试样台发生干扰。另外，即使不等待测定部内的悬臂驱动部对悬臂的移动，也能够如上所述那样通过使测定部与试样台相对地进行位移来取出试样。因此，能够容易地进行试样更换，而无需耗费劳力和时间来进行试样更换。关于上述基于本公开的表面分析装置，优选的是，上述驱动机构包括：试样台保持部，其保持上述试样台；以及移动机构，其使上述试样台在测定位置与试样取出位置之间移动。上述第一方向也可以是上下方向。在该情况下，优选的是，上述移动机构构成为：以使上述试样台在上述测定位置与退避位置之间升降的方式使上述试样台保持部升降，以使上述试样台在上述试样取出位置与上述退避位置之间移动的方式使上述试样台保持部滑动，上述退避位置位于比上述测定位置靠下方的位置。根据上述结构，在取出试样时，使试样台相对于测定部退避到下方后使试样台滑动。另一方面，在放置试样时，进行与其相反的动作。因此，在试样台滑动时，在试样台相对于测定部而言下降的状态下试样台进行移动，因此能够防止测定部与试样台发生干扰。另外，不是使测定部移动，而是通过使试样台保持部移动从而能够使试样台在测定位置与试样取出位置之间移动。因此，与使测定部移动来取出试样的结构以及拆下测定部来取出试样的结构相比，能够抑制测定部中包括的测定设备的位置发生变动。并且，不需要拆下测定部的作业，因此能够在取出试样时减少作业的负担和作业时间。除此以外，将试样取出位置设置于在上下方向上不与测定部重合的位置，由此能够确保充足的作业空间，因此能够提高作业性。在上述基于本公开的表面分析装置中，优选的是，上述移动机构包括：支承体，其支承上述试样台保持部；滑动机构，其使上述支承体沿着上述试样台保持部进行滑动的方向的滑动方向进行滑动；以及升降机构，其使上述试样台保持部相对于上述支承体进行升降。在该情况下，优选的是，上述支承体被设置成能够在规定的滑动区间中移动，上述规定的滑动区间包括连续的第一区间和第二区间。并且，优选的是，与上述支承体在上述第一区间中的滑动连动地，上述试样台保持部通过上述升降机构而相对于上述支承体进行升降，伴随上述支承体在上述第二区间中的滑动，上述试样台保持部与上述支承体成一体地沿着上述滑动方向滑动。根据上述结构，能够根据支承体的滑动区间来对试样台保持部的升降移动和滑动进行切换。能够通过使支承体在规定的滑动区间连续地滑动来使试样台保持部适当地移动，因此能够容易地进行动作控制。在上述基于本公开的表面分析装置中，也可以是，上述升降机构包括：连结构件，其将上述支承体与上述试样台保持部连结；以及升降引导件，其引导上述试样台保持部在升降方向上的移动。在该情况下，优选的是，上述连结构件的一端侧被上述支承体以使上述连结构件能够绕第一转动轴进行转动的方式轴支承，上述第一转动轴与上述滑动方向及上述升降方向正交，上述连结构件的另一端侧被上述试样台保持部以使上述连结构件能够绕第二转动轴进行转动的方式轴支承，上述第二转动轴与上述第一转动轴平行。优选的是，上述升降引导件对上述支承体在上述第一区间中移动时上述试样台保持部向后退方向的移动进行限制，上述后退方向是从上述试样取出位置去向上述退避位置的方向。并且，优选的是，通过在由上述升降引导件对上述试样台保持部向上述后退方向的移动进行限制的限制状态下使上述支承体在上述第一区间中滑动，上述连结构件绕上述第一转动轴和上述第二转动轴转动，由此上述试样台保持部相对于上述支承体进行升降。根据上述结构，连结构件的一端侧被支承体以能够绕第一转动轴进行转动的方式轴支承，该第一转动轴与升降方向正交，连结构件的另一端侧被试样台保持部以能够绕第二转动轴进行转动的方式轴支承，该第二转动轴与上述第一转动轴平行。通过在由升降引导件对试样台保持部向后退方向的移动进行限制的同时使支承体滑动，连结构件绕第一转动轴和第二转动轴旋转，使得连结构件相对于支承体的倾斜角发生变更。由此，试样台保持部升降。这样，使用以能够变更姿势的方式被轴支承的连结构件来使试样台保持部升降，因此能够简化升降机构。在上述基于本公开的表面分析装置中，也可以是，上述升降引导件包括能够绕与上述第一转动轴平行的旋转轴进行旋转的辊。在该情况下，优选的是，通过上述试样台保持部与上述辊抵接而成为上述限制状态，通过在上述限制状态下上述辊进行旋转，上述试样台保持部的升降被引导。根据上述结构，通过在试样台保持部升降时辊旋转，能够减少升降引导件与试样台保持部之间的摩擦。在上述基于本公开的表面分析装置中，也可以是，上述升降机构具有板部，该板部以不干扰上述试样台的方式配置于上述试样台保持部的上方，上述支承体配置于上述试样台保持部的下方。在该情况下，优选的是，通过上述试样台保持部与上述板部抵接，上述试样台保持部的上升被限制。另外，优选的是，通过上述试样台保持部与上述支承体抵接，上述试样台保持部的下降被限制。根据上述结构，能够在利用支承体对试样台保持部的下降移动进行限制的同时，利用配置于试样台保持部的上方的板部对试样台保持部的上升移动进行限制。因此，能够在减少部件数量的同时以简单的结构来限制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面分析装置，对试样表面进行分析，所述表面分析装置具备：/n试样台，其载置试样；/n测定部，其包括以与所述试样台相向的方式配置的悬臂以及驱动所述悬臂的悬臂驱动部；以及/n驱动机构，其使所述测定部与所述试样台相对地进行位移，/n其中，所述驱动机构构成为：在取出所述试样台时，以使所述测定部与所述试样台在所述悬臂与所述试样台相向的第一方向上分离的方式使所述试样台相对于所述测定部相对地进行位移，之后使所述试样台在与所述第一方向交叉的第二方向上滑动。/n

【技术特征摘要】
20181016 JP 2018-1951541.一种表面分析装置，对试样表面进行分析，所述表面分析装置具备：
试样台，其载置试样；
测定部，其包括以与所述试样台相向的方式配置的悬臂以及驱动所述悬臂的悬臂驱动部；以及
驱动机构，其使所述测定部与所述试样台相对地进行位移，
其中，所述驱动机构构成为：在取出所述试样台时，以使所述测定部与所述试样台在所述悬臂与所述试样台相向的第一方向上分离的方式使所述试样台相对于所述测定部相对地进行位移，之后使所述试样台在与所述第一方向交叉的第二方向上滑动。


2.根据权利要求1所述的表面分析装置，其特征在于，
所述驱动机构包括：试样台保持部，其保持所述试样台；以及移动机构，其使所述试样台在测定位置与试样取出位置之间移动，
所述第一方向是上下方向，
所述移动机构构成为：以使所述试样台在所述测定位置与退避位置之间升降的方式使所述试样台保持部升降，以使所述试样台在所述试样取出位置与所述退避位置之间移动的方式使所述试样台保持部滑动，所述退避位置位于比所述测定位置靠下方的位置。


3.根据权利要求2所述的表面分析装置，其特征在于，
所述移动机构包括：支承体，其支承所述试样台保持部；滑动机构，其使所述支承体沿着所述试样台保持部进行滑动的方向的滑动方向进行滑动；以及升降机构，其使所述试样台保持部相对于所述支承体进行升降，
所述支承体被设置成能够在规定的滑动区间中移动，所述规定的滑动区间包括连续的第一区间和第二区间，
与所述支承体在所述第一区间中的滑动连动地，所述试样台保持部通过所述升降机构而相对于所述支承体进行升降，
伴随所述支承体在所述第二区间中的滑动，所述试样台保持部与所述支承体成一体地沿着所述滑动方向滑动。


4.根据权利要求3所述的表面分析装置，其特征在于，
所述升降机构包括：连结构件，其将所述支承体与所述试样台保持部连结；以及升降引导件，其引导所述试样台保持部在升降方向上的移动，
所述连结构件的一端侧被所述支承体以使所述连结构件能够绕第一转动轴进行转动的方式轴支承，所述第一转动轴与所述滑动方向及所述升降方向正交，
所述连结构件的另一端侧被所述试样台保持部以使所述连结构件能够绕第二转动轴进行转动的方式轴支承，所述第二转动轴与所述第一转动轴平行，
所述升降引导件...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林宽治，平出雅人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP