本发明专利技术涉及一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在太阳能电池片的基体片上镀减反膜，镀膜装置包括炉体、前法兰壁、后法兰壁和供气装置，其中，镀膜装置上设置有连通外界和容纳腔的至少两组进气孔，供气装置能够同时通过各组进气孔向容纳腔内供气，其中第一组进气孔设置在后法兰壁上，其他进气孔设置在炉体上或前法兰壁上。根据本发明专利技术，镀膜装置在炉体的不同位置处设置有进气孔，在制造减反膜的工艺中，供气装置能够经由各个进气孔同时向炉体内供气，以使得炉体内的各处气体均匀地发生反应，从而在位于炉体内的不同位置处的硅片上形成厚度均匀的减反膜。
coating device
【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
本专利技术涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种镀膜装置。
技术介绍
随着全球煤炭、石油、天然气等常规化石能源消耗速度加快，生态环境不断恶化，特别是温室气体排放导致日益严峻的全球气候变化，人类社会的可持续发展已经受到严重威胁。世界各国纷纷制定各自的能源发展战略，以应对常规化石能源资源的有限性和开发利用带来的环境问题。太阳能凭借其可靠性、安全性、广泛性、长寿性、环保性、资源充足性的特点已成为最重要的可再生能源之一，有望成为未来全球电力供应的主要支柱。在新一轮能源变革过程中，我国光伏产业已成长为具有国际竞争优势的战略新兴产业。然而，光伏产业发展仍面临诸多问题与挑战，转换效率与可靠性是制约光伏产业发展的最大技术障碍，而成本控制与规模化又在经济上形成制约。太阳能电池片的生产工序中，镀膜是非常关键的一步。镀膜是为了在硅片表面均匀地镀上一层高效的氮化硅减反射膜，减少光的反射损失，增强电池片吸收光的能力，提高电池效率。同时，非晶形态的氮化硅中含有一定量的氢，在烧结过程中，氮化硅中的氢扩散到硅片内部，饱和悬挂键而产生钝化作用。在镀膜工艺中，通常通过石墨舟携带硅片进入炉管。当石墨舟平稳地放在管内后，在管内的环境满足镀膜工艺要求时，通过气管在炉管里释放一定比例的特定气体，气体发生反应形成氮化硅并附着于硅片的表面。在制程中由于流速的影响，气体到达每个位置的时间也不尽相同，并且在气体流动的同时气体也在发生反应、在消耗，所以靠近后炉门位置的气体开始反应产生氮化硅附着在硅片上时，靠近前炉门的硅片可能还没有气体到达或是气体的浓度还较低，则导致电池片的镀膜厚度达不到预定效果。如果将气孔释放气体的时间加长，靠近前炉门的位置虽然可以获得理想中的气体浓度，在硅片表面可以形成理想的镀膜厚度，但却造成靠近后炉门的硅片在反应环境中所停留的时间过长，随着气体不停地反应，导致附着在硅片表面的氮化硅过多，减反膜过厚。因而需要提供一种镀膜装置，以至少部分地解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种镀膜装置，其在炉体的不同位置处设置有进气孔，在制造减反膜的工艺中，供气装置能够经由各个进气孔同时向炉体内供气，以使得炉体内的各处气体均匀地发生反应，从而在位于炉体内的不同位置处的硅片上形成厚度均匀的减反膜。根据本专利技术的一个方面，提供了一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的基体片上镀减反膜，所述镀膜装置包括：炉体，所述炉体内设置有用于容纳所述基体片的容纳腔；前法兰壁和后法兰壁，所述前法兰壁和所述后法兰壁分别设置在所述炉体的前端和后端；以及供气装置，所述镀膜装置上设置有连通外界和所述容纳腔的至少两组进气孔，所述供气装置能够同时通过各组所述进气孔向所述容纳腔内供气，其中第一组所述进气孔设置在所述后法兰壁上，其他所述进气孔设置在所述炉体上或所述前法兰壁上。在一种实施方式中，所述炉体为圆柱形结构，所述圆柱形结构的轴线垂直于所述前法兰壁和所述后法兰壁并穿过所述前法兰壁和所述后法兰壁的中心，并且所述第一组进气孔在所述后法兰壁内并沿所述后法兰壁的壁面延伸。在一种实施方式中，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组进气孔和所述第一组进气孔之间的距离为所述炉体的长度的1/4-3/4。在一种实施方式中，每一组所述进气孔均为至少两个，每一组的各个所述进气孔的延伸方向彼此平行。在一种实施方式中，每一组所述进气孔均包括第一进气孔、第二进气孔和第三进气孔，并且各个组的所述第一进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第二进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第三进气孔的依次连线平行于所述轴线。在一种实施方式中，所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少三个，且每一组的各个进气孔的延伸方向均垂直于所述轴线。在一种实施方式中，每一组的每一对相邻的两个所述进气孔的延伸方向之间的夹角均相等。在一种实施方式中，每一组的所有所述进气孔在所述轴线方向上位于同一高度处，且各个组在所述轴线方向上依次等间隔排布。在一种实施方式中，每一组的所述进气孔围绕所述轴线在相对于所述轴线的周向方向上均匀排布。在一种实施方式中，在所述镀膜装置上，在任一平行于所述轴线的方向上都至多存在一个所述进气孔。在一种实施方式中，每一组中的各个所述进气孔的径向尺寸相等，但每一组中的所述进气孔的径向尺寸不同于其他组中的所述进气孔的径向尺寸；或者所述镀膜装置的所有所述进气孔均具有相同的径向尺寸。在一种实施方式中，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组的所述进气孔的径向尺寸大于所述第一组的所述进气孔的径向尺寸。在一种实施方式中，所述进气装置还包括泵管，所述炉体上还设置有抽气孔，所述泵管构造为能够通过所述抽气孔将所述容纳腔内的气体抽出。在一种实施方式中，每一组所述进气孔处设置有相对于其他组独立的流速调节装置，所述流量调节装置构造为用于调节排入气体的流速。在一种实施方式中，所述进气孔设置有孔门，所述孔门构造为能够被电控制以打开和闭合所述进气孔。在一种实施方式中，所述镀膜装置用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的硅片上镀氮化硅减反膜，所述供气装置用于通过所述进气孔向所述容纳腔输送硅烷和氨气。在一种实施方式中，所述镀膜装置用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的硅片上镀氮化硅减反膜，所述供气装置用于通过所述进气孔向所述容纳腔输送硅烷和氨气。本专利技术所提供的镀膜装置，在炉体的不同位置处设置有进气孔，在制造减反膜的工艺中，供气装置能够经由各个进气孔同时向炉体内供气，以使得炉体内的各处气体均匀地发生反应，从而在位于炉体内的不同位置处的硅片上形成厚度均匀的减反膜。附图说明为了更好地理解本专利技术的上述及其他目的、特征、优点和功能，可以参考附图中所示的优选实施方式。附图中相同的附图标记指代相同的部件。本领域技术人员应该理解，附图旨在示意性地阐明本专利技术的优选实施方式，对本专利技术的范围没有任何限制作用，图中各个部件并非按比例绘制。图1为根据本专利技术的一个优选实施方式的镀膜装置的示意图；图2为图1所示的镀膜装置的一种替代方案的示意图。具体实施方式现在参考附图，详细描述本专利技术的具体实施方式。这里所描述的仅仅是根据本专利技术的优选实施方式，本领域技术人员可以在所述优选实施方式的基础上想到能够实现本专利技术的其他方式，所述其他方式同样落入本专利技术的范围。本专利技术提供了一种用于制造太阳能电池片的镀膜装置，该镀膜装置具体地用于在制造太阳能电池片的基体片上镀减反膜。太阳能电池片的基体片例如为硅片，在其上生成的减反膜例如可以为氮化硅减反膜。图1示出了该镀膜装置的一种优选实施方式。结合附图，可以看到镀膜装置1包括炉体2、前法兰壁4和后法兰壁3以及供气装置(未示出)。其中，炉体2内设置有用于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的基体片上镀减反膜，所述镀膜装置包括：/n炉体，所述炉体内设置有用于容纳所述基体片的容纳腔；/n前法兰壁和后法兰壁，所述前法兰壁和所述后法兰壁分别设置在所述炉体的前端和后端；以及/n供气装置，/n其特征在于，所述镀膜装置上设置有连通外界和所述容纳腔的至少两组进气孔，所述供气装置能够同时通过各组所述进气孔向所述容纳腔内供气，其中第一组所述进气孔设置在所述后法兰壁上，其他所述进气孔设置在所述炉体上或所述前法兰壁上。/n
【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的基体片上镀减反膜，所述镀膜装置包括：
炉体，所述炉体内设置有用于容纳所述基体片的容纳腔；
前法兰壁和后法兰壁，所述前法兰壁和所述后法兰壁分别设置在所述炉体的前端和后端；以及
供气装置，
其特征在于，所述镀膜装置上设置有连通外界和所述容纳腔的至少两组进气孔，所述供气装置能够同时通过各组所述进气孔向所述容纳腔内供气，其中第一组所述进气孔设置在所述后法兰壁上，其他所述进气孔设置在所述炉体上或所述前法兰壁上。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述炉体为圆柱形结构，所述圆柱形结构的轴线垂直于所述前法兰壁和所述后法兰壁并穿过所述前法兰壁和所述后法兰壁的中心，并且所述第一组进气孔在所述后法兰壁内并沿所述后法兰壁的壁面延伸。
3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组进气孔和所述第一组进气孔之间的距离为所述炉体的长度的1/4-3/4。
4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少两个，每一组的各个所述进气孔的延伸方向彼此平行。
5.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均包括第一进气孔、第二进气孔和第三进气孔，并且各个组的所述第一进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第二进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第三进气孔的依次连线平行于所述轴线。
6.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少三个，且每一组的各个进气孔的延伸方向均垂直于所述轴线。
7.根据权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的每一对相邻的两个所述进气孔的延伸方向之间的夹角均相等。
8.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组...
【专利技术属性】
技术研发人员：王秀鹏，姚骞，刘世强，王斯海，张家峰，王亚楠，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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